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利用飞秒激光双光子技术制备微电极的研究
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作者 张满霞 顾银炜 +2 位作者 胡雪芳 董建峰 陶卫东 《宁波大学学报（理工版）》 CAS 2018年第3期112-116,共5页
基于飞秒激光双光子聚合微加工技术,利用负光刻胶刻蚀方法制备了内部镂空特殊结构的微电极光刻胶样品,并结合剥离法成功制备了一种镀银的金属微电极,最后利用直通管将微电极进行封装,测试了当直通管填充不同的介质(空气、丙酮、水)时微... 基于飞秒激光双光子聚合微加工技术,利用负光刻胶刻蚀方法制备了内部镂空特殊结构的微电极光刻胶样品,并结合剥离法成功制备了一种镀银的金属微电极,最后利用直通管将微电极进行封装,测试了当直通管填充不同的介质(空气、丙酮、水)时微电极的电容变化值.实验结果表明,所制备微电极样品的电容值与介质的介电常数成正相关,实测值与理论计算值的变化趋势一致. 展开更多
关键词 飞秒激光双光子微加工 微电极 介电常数
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