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半导体远红外反射镜中反射率和相位研究 被引量:1
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作者 徐敏 张月蘅 沈文忠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期2415-2421,共7页
以GaAs材料为例,研究了半导体远红外反射镜中的反射率和相位.通过拟合不同掺杂浓度下样品的远红外反射谱,得到了自由载流子的弛豫时间随掺杂浓度变化的经验公式,并把该规律应用到数值计算中.详细讨论了反射镜的结构和材料参数对反射率R... 以GaAs材料为例,研究了半导体远红外反射镜中的反射率和相位.通过拟合不同掺杂浓度下样品的远红外反射谱,得到了自由载流子的弛豫时间随掺杂浓度变化的经验公式,并把该规律应用到数值计算中.详细讨论了反射镜的结构和材料参数对反射率R和相位φ的影响.根据腔体内吸收率最高的判据得到了最优的反射镜的参数,并计算了这种优化后的反射镜的波长选择特性.最后,通过远红外反射光谱的测量,从实验上验证了这种反射镜的实际效果.所得结论为半导体远红外器件中的反射镜设计提供了参考. 展开更多
关键词 远红外反射镜 反射率 相位
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