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金属多层膜超晶格结构研究
1
作者
梁家昌
怀玉民
石玉山
《中国民航学院学报》
2003年第3期10-13,共4页
用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱。用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析。结果表明,该金属多层膜在其生长方向具有超晶格结构。在两层金属膜之...
用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱。用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析。结果表明,该金属多层膜在其生长方向具有超晶格结构。在两层金属膜之间的界面上,由于内扩散,形成了界面交混层,它使X-射线小角反射所产生的高阶Bragg峰的强度减弱。由于两种金属膜的晶格不匹配,使高阶Bragg峰加宽。界面的粗糙度可用来模拟X-射线小角反射曲线的阻尼振荡效应。
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关键词
人工金属多层膜的超晶格结构
x—射线小角反射
扩展了的光学模型
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职称材料
题名
金属多层膜超晶格结构研究
1
作者
梁家昌
怀玉民
石玉山
机构
中国民航学院理学院
麦吉尔大学材料物理中心
出处
《中国民航学院学报》
2003年第3期10-13,共4页
基金
加拿大蒙德利尔基金资助项目.
文摘
用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱。用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析。结果表明,该金属多层膜在其生长方向具有超晶格结构。在两层金属膜之间的界面上,由于内扩散,形成了界面交混层,它使X-射线小角反射所产生的高阶Bragg峰的强度减弱。由于两种金属膜的晶格不匹配,使高阶Bragg峰加宽。界面的粗糙度可用来模拟X-射线小角反射曲线的阻尼振荡效应。
关键词
人工金属多层膜的超晶格结构
x—射线小角反射
扩展了的光学模型
Keywords
superlattice
structure
of
artificially
metallic
multiplayer
film
X-ray
reflectivity
at
low-angle
expanded
optical
model
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属多层膜超晶格结构研究
梁家昌
怀玉民
石玉山
《中国民航学院学报》
2003
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