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集成电路核心工艺装备技术的现状与展望
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作者 赵晋荣 韦刚 +4 位作者 侯珏 曹永友 董金卫 卢夕生 孙伟 《前瞻科技》 2022年第3期61-72,共12页
集成电路装备产业是集成电路产业链的重要组成部分,拥有极高的技术门槛。文章从分析国内外集成电路装备产业的发展现状、核心工艺装备技术的发展趋势及配套关键部件技术面临的挑战等方面入手,剖析中国集成电路装备产业的问题与痛点,探... 集成电路装备产业是集成电路产业链的重要组成部分,拥有极高的技术门槛。文章从分析国内外集成电路装备产业的发展现状、核心工艺装备技术的发展趋势及配套关键部件技术面临的挑战等方面入手,剖析中国集成电路装备产业的问题与痛点,探求产业和技术的发展趋势,进而对中国集成电路装备产业在此背景下的发展提出对策与建议。 展开更多
关键词 集成电路 装备制造业 核心工艺装备
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