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椭圆缺陷轮廓的成品率估计 被引量：2
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作者 王俊平 郝跃 +3 位作者 张卓奎 任春丽 李康 方建平 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期433-437,共5页
现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引... 现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确. 展开更多
关键词 真实缺陷 椭圆缺陷模型 关键面积 成品率模型
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