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题名基于改进椭圆偏振显微镜的纳米润滑薄膜动态观测
被引量：2
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作者
刘卿卿
严飞
郭颖
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机构
南京信息工程大学信息与控制学院
江苏省大气环境与装备技术协同创新中心
江苏省气象能源利用与控制工程技术研究中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第8期168-176,共9页
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基金
国家自然科学基金(61605083)
江苏省自然科学基金(BK20130989)
南京信息工程大学大学引进人才科研启动项目(2013R106)
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文摘
随着硬盘(HDDs)面记录密度的增加,读写数据时磁头的飞行高度不断降低。磁头与磁片表面液体润滑膜的接触,会在表面形成半月板,或润滑剂回升,造成润滑剂转移。观测液体润滑膜的转移过程以及其在磁头上的动态变化特性,是研究润滑剂性能的重要方面。改进基于垂直物镜的椭圆偏振显微镜(VEM),提出一种旋转起偏器的方法获得膜厚与被测光强的线性关系,实现磁头表面润滑膜动态观察,并对现有显微镜尤其是照明系统进行改进。实验以非极性全氟聚醚(PFPE)润滑剂Z03覆盖的磁头为样品对椭圆偏振显微镜进行标定。以极性PFPE润滑剂Zdol4000作为样品,对其在磁头表面的去湿现象进行观察。结果证明显微镜横向分辨力约0.36μm。该方法可用于纳米级液体薄膜的可视化观测。
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关键词
测量
显微镜
观测
椭圆偏振显微镜
润滑剂膜厚测量
分辨力
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Keywords
measurement
microscopy
observation
ellipsometric microscope
thickness measurement of lubricant film
resolution
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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题名基于椭圆偏振显微镜的纳米级磁头润滑膜观测方法
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作者
刘卿卿
苏杨
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机构
南京信息工程大学信息与控制学院
南京信息工程大学大气环境与装备技术协同创新中心
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期434-437,共4页
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基金
江苏省自然科学基金(BK20130989)
南京信息工程大学引进人才启动基金(2013R106)
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文摘
针对磁头飞行导致液体润滑膜的转移研究以及润滑膜在磁头上的动态变化特性观测问题,基于改进的垂直物镜的椭圆偏振显微镜,提出起偏器相移方法的磁头表面润滑膜厚度计算模型,实现了润滑膜厚度的测量。实验以非极性润滑剂Z03覆盖的磁头为样品对椭圆偏振显微镜进行标定,以极性润滑剂Zdol4000作为样品,对其在磁头表面的去湿现象进行观察。该方法测量精度可达0.37nm,分辨力约0.36μm,可为其他纳米级薄膜观测提供一定的技术参考。
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关键词
光学测量
润滑膜观测
椭圆偏振显微镜
起偏器相移
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Keywords
optical measurement
visualization of lubricant films
ellipsometric microscope
phase shift method
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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