期刊文献+
共找到35篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
静电陀螺仪实心球转子变形分析 被引量:8
1
作者 程雷 李德才 +1 位作者 昝春燕 李立勇 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2003年第6期75-79,共5页
介绍了静电陀螺仪实心球转子的两种典型结构,并利用有限元仿真工具根据工作环境对这两种结构分别进行了离心变形、温度变形、压力变形以及这三种载荷的耦合变形的仿真分析。得出了实心球转子的变形规律及变形量,为转子的设计和静电陀螺... 介绍了静电陀螺仪实心球转子的两种典型结构,并利用有限元仿真工具根据工作环境对这两种结构分别进行了离心变形、温度变形、压力变形以及这三种载荷的耦合变形的仿真分析。得出了实心球转子的变形规律及变形量,为转子的设计和静电陀螺的建模提供了重要的参考依据。 展开更多
关键词 静电陀螺仪 转子 变形分析 有限元仿真 离心变形 温度变形 压力变形 耦合变形
下载PDF
基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计 被引量:4
2
作者 万明亮 张卫平 +1 位作者 黄晓刚 陈文元 《电测与仪表》 北大核心 2007年第11期59-61,58,共4页
接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一。本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型,并结合Sigma-Delta技术的优点提出了一种新颖的闭环检测电路。该检测电路能够直接输出数字信号,系统稳定性好,对陀螺失效具... 接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一。本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型,并结合Sigma-Delta技术的优点提出了一种新颖的闭环检测电路。该检测电路能够直接输出数字信号,系统稳定性好,对陀螺失效具有自检特性并且能够有效避免陀螺的锁住。与通常采用的调制解调方法相比,该检测电路大大节省了器件,因此非常适用于对微陀螺原型进行测试评估。对该检测电路的仿真结果表明,其灵敏度为2V/g,动态范围约为1g。 展开更多
关键词 SIGMA-DELTA MEMS 静电悬浮 微陀螺 闭环检测
下载PDF
静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真 被引量:3
3
作者 肖奇军 李胜勇 +4 位作者 陈文元 刘超英 崔峰 黄伟 崔海宁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期397-401,共5页
给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的... 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的大小。针对转子结构,提出了一种基于模拟PID技术的非集中控制策略来实现悬浮控制,建立了一种基于Coventorware的机电混合仿真模型,对结构、电路和控制进行通盘考虑。通过起支仿真和加速度输入仿真可以看出,系统级仿真结果表明了其具有仿真速度快、仿真结果准确等优点,在与实验结果的比较中证实仿真结果的准确性和有效性。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 悬浮控制 系统级仿真
下载PDF
Deformation Analysis and Optimization on Hollow Spherical Rotor in Electrostactically Suspended Gyroscope
4
作者 LIU Rui-ge SONG Feng LIU Rui-ying 《International Journal of Plant Engineering and Management》 2012年第1期58-64,共7页
Non-spherical of rotor was described with solution method. Electrostatically suspended gyroscope's hollow spherical rotor's structure was presented. The simulative analysis of static deformation, dynamic deformation... Non-spherical of rotor was described with solution method. Electrostatically suspended gyroscope's hollow spherical rotor's structure was presented. The simulative analysis of static deformation, dynamic deformation and synthesize deformation of rotor under different working conditions using the finite element software were carried out. Its deformation law and volume were obtained. The structural parameters of the rotor were optimized. The value of pressure required when the rotor was machined was calculated. The analysis has important theoretical reference value to the design for hollow spherical rotor in electrostatically suspended gyroscope. 展开更多
关键词 electrostatically suspended gyroscope hollow spherical rotor deformation analysis OPTIMIZATION
下载PDF
Complete decoupling rebalance loop design of a micromachined electrostatically suspended gyroscope
5
作者 肖奇军 陈文元 +3 位作者 崔峰 李胜勇 刘超英 张卫平 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2010年第5期672-678,共7页
A micromachined electrostatically suspended gyroscope(MESG)based on UV-LIGA microfabrication process was introduced.By close-loop control,the suspended rotor is kept in null position and through the torque rebalance l... A micromachined electrostatically suspended gyroscope(MESG)based on UV-LIGA microfabrication process was introduced.By close-loop control,the suspended rotor is kept in null position and through the torque rebalance loop,in which the output control voltages reflects the input angular velocity,a dual-axis input angular velocity can be measured simultaneously.First,the system model of MESG was established by dynamic analysis based on the torque analysis.Then,the rebalance loop under ideal condition is designed using modern control technique.The performance of the designed decoupling rebalance loop was compared with that of conventional proportional integral differential(PID)rebalance loop combined with the compensation loop.In order to realize the decoupling of the output voltages,a compensated decoupling matrix and its difference equation were presented and realized by a digital decoupling method employing digital signal processor(DSP).It was confirmed that the controller could realize the complete decoupling and improve the performance of the gyroscope,which includes merits of fast response speed,low overshoot and good dynamic performance,as the simulation results shown.At last,the circuit and digital realization scheme were given. 展开更多
关键词 electrostatically suspended MICRO-gyroscope rebalance loop complete decoupling
下载PDF
静电陀螺仪空心球转子变形分析 被引量:1
6
作者 刘瑞歌 宋锋 孙新民 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2007年第1期101-103,共3页
介绍了静电陀螺仪空心球转子的结构。并利用有限元分析软件根据工作环境的不同对转子进行了静态变形、动态变形和综合变形的仿真分析,得出了球转子的变形规律及变形量。为转子的设计、静电陀螺仪的建模提供了重要的理论参考依据。
关键词 静电陀螺仪 空心球转子
下载PDF
静电陀螺仪空心球转子变形分析及优化设计 被引量:2
7
作者 刘瑞歌 宋锋 +1 位作者 刘瑞英 孙新民 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2011年第2期242-245,共4页
用解析法描述了转子的非球形。介绍了静电陀螺仪空心球转子的结构,并利用有限元分析软件根据工作环境的不同对转子进行了静态变形、动态变形和综合变形的仿真分析,得出了球转子的变形规律及变形量。对转子的结构参数进行了优化,得出了... 用解析法描述了转子的非球形。介绍了静电陀螺仪空心球转子的结构,并利用有限元分析软件根据工作环境的不同对转子进行了静态变形、动态变形和综合变形的仿真分析,得出了球转子的变形规律及变形量。对转子的结构参数进行了优化,得出了球形转子加工所需的压力值。 展开更多
关键词 静电陀螺仪 空心球转子 变形分析 优化
下载PDF
静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计 被引量:1
8
作者 肖奇军 陈文元 +2 位作者 崔峰 李胜勇 张卫平 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第5期576-579,共4页
给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度,采用力平衡原理测量壳体输入的角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入角速度的大小。在分析转子所受力矩的基础上,... 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度,采用力平衡原理测量壳体输入的角速度,即对转子实行闭环控制使转子保持在零位,输出控制电压反映壳体输入角速度的大小。在分析转子所受力矩的基础上,建立了转子的力矩平衡方程。当陀螺工作在理想状态下,提出了两种再平衡回路设计,即只采用校正环节和采用解耦网络的自平衡回路设计。通过系统仿真表明了采用解耦网络设计的再平衡回路的优越性。当壳体输入阶跃角速度时,解耦控制具有响应速度快、超调小、动态性能好等优点。最后给出了采用积分电路和加法运算电路实现解耦控制的电路实现方案。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 再平衡回路 解耦控制
下载PDF
静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究 被引量:1
9
作者 肖奇军 崔峰 +2 位作者 李胜勇 陈文元 张卫平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期346-349,共4页
针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数... 针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数决定动态刚度,通过仿真结果可以看出,采用反馈线性化可补偿系统的负刚度特性,结合变预载控制实现转子的快速准确定位,为后续的旋转和加矩控制提供良好的条件。 展开更多
关键词 静电悬浮控制 微陀螺 反馈线性化 变预载控制
下载PDF
模糊控制在静电悬浮转子微陀螺起支中的应用
10
作者 肖奇军 陈文元 +2 位作者 崔峰 李胜勇 张卫平 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第6期735-739,共5页
给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,为了实现转子的起支控制和稳定悬浮,模糊控制被应用于该系统中,首先,对轴向压膜阻尼和滑膜阻尼进行有限元分析,并用解析法进行分析,计算结果表明两种方法的一致... 给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,为了实现转子的起支控制和稳定悬浮,模糊控制被应用于该系统中,首先,对轴向压膜阻尼和滑膜阻尼进行有限元分析,并用解析法进行分析,计算结果表明两种方法的一致性,从而得到阻尼的解析表达式。然后,建立了带偏置电压的双边支承下的数学模型,并对数学模型进行模糊控制仿真研究,仿真结果表明,相对于PID控制,模糊控制具有较强的鲁棒性,具有响应速度快,自适应能力强的优点。最后,设计了悬浮控制系统,给出了硬件和软件组成。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 模糊控制 起支
下载PDF
静电悬浮转子微陀螺五自由度位置检测研究
11
作者 肖奇军 李胜勇 +1 位作者 刘超英 黄伟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第4期524-527,共4页
给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位... 给出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的静电悬浮转子微陀螺,为了实现对静电悬浮转子微陀螺转子的五自由度(5-DOF)悬浮控制,需要对转子进行五自由度位置检测,首先介绍了微位移检测原理,提出了一种基于频分复用技术和开关解调技术的微位移检测方法,设计了基于直接数字频率合成(DDS)技术的多频率信号发生器、前置放大器及锁相放大器组成的位置测试系统,位移检测电路的各项性能指标能满足静电悬浮转子微陀螺的五自由度控制需要。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 五自由度 位置检测
下载PDF
USB数据采集系统在电流比较仪性能测试中的应用
12
作者 李健 钱峰 +1 位作者 金志华 田蔚风 《信息技术》 2008年第9期13-16,共4页
电流比较仪电桥是静电陀螺仪实现质量不平衡调制(MUM)读取的重要组成部分。为实现高精度的MUM读取,有必要对其性能进行验证,因此提出了基于USB的多通道数据采集系统,同时介绍了该系统的整体设计,重点描述了系统的实现方法以及软硬件构成。
关键词 静电陀螺仪 数据采集 USB CY7C68013
下载PDF
静电悬浮转子微陀螺宏模型的提取和分析
13
作者 肖奇军 崔峰 +2 位作者 陈文元 李胜勇 张卫平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第1期34-37,共4页
静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺,通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中,利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考虑边缘效应的情况下,提取电容和位移的解析表达式。建立静电力方程,为系统级仿真模型提供阻尼和静电宏... 静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺,通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中,利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考虑边缘效应的情况下,提取电容和位移的解析表达式。建立静电力方程,为系统级仿真模型提供阻尼和静电宏模型,以获得不同条件下微陀螺的控制分析结果。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 宏模型 阻尼系数
下载PDF
小型静电陀螺仪电极面积及电极装配误差研究
14
作者 程雷 李景森 +1 位作者 李立勇 谷健 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第3期50-54,共5页
介绍了小型静电陀螺仪的电极支承结构和电极面积误差引起的干扰力矩的计算公式,并根据影响电极面积的各种因素推导出了电极面积的误差范围。根据装配误差产生干扰力矩的情况确定了最终的装配精度,为电极的设计提供了重要的参考依据。
关键词 静电陀螺仪 电极面积 电极装配 误差分析 电容 干扰力矩
下载PDF
电流比较仪电桥在静电陀螺转子位移测量中的应用 被引量:2
15
作者 郭晋峰 糜长军 +1 位作者 田蔚风 金志华 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2006年第5期51-54,共4页
用耦合电感原理研究了电流比较仪电桥非平衡测量的原理及特性,导出了在不同激励信号(电压或电流)和不同输出信号(电压或电流)情况下电桥测量输出的表达式,并据此提出了现有静电陀螺转子位移测量电路的改进措施。研究表明,采用电流输出... 用耦合电感原理研究了电流比较仪电桥非平衡测量的原理及特性,导出了在不同激励信号(电压或电流)和不同输出信号(电压或电流)情况下电桥测量输出的表达式,并据此提出了现有静电陀螺转子位移测量电路的改进措施。研究表明,采用电流输出模式时,变压器的电感大小对检测结果没有影响,且能消除后续电路输入端寄生电容的影响;电流激励、电流输出模式具有最好的综合性能,但高精度交流恒流源的实现较为困难:电压激励、电流输出模式兼具两者的优点,是比较仪电桥较为理想的工作模式。 展开更多
关键词 静电陀螺仪(ESG electrostatically suspended gyroscope) 电流比较仪电桥 位移测量
下载PDF
微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现 被引量:1
16
作者 王嫘 韩丰田 +1 位作者 董景新 刘云峰 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第3期265-269,共5页
为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、... 为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min. 展开更多
关键词 微静电陀螺 体硅工艺 铝牺牲层 静电键合
下载PDF
静电陀螺转子偏心摆动造成的静电干扰力矩 被引量:1
17
作者 郭晋峰 糜长军 +1 位作者 田蔚风 金志华 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期673-676,共4页
针对质量不平衡调制(MUM)信号读取静电陀螺仪中转子径向偏摆运动引入的静电干扰力矩,推导了该干扰力矩的表达式,进行了计算和仿真,并讨论了其对陀螺精确度的影响.研究结果表明,转子径向偏摆运动造成的静电力矩是电极电位和转子自转轴相... 针对质量不平衡调制(MUM)信号读取静电陀螺仪中转子径向偏摆运动引入的静电干扰力矩,推导了该干扰力矩的表达式,进行了计算和仿真,并讨论了其对陀螺精确度的影响.研究结果表明,转子径向偏摆运动造成的静电力矩是电极电位和转子自转轴相对壳体角位置的函数,在高精确度应用中,陀螺必须工作在该静电干扰力矩为零的位置.研究结果对MUM读取静电陀螺仪有参考价值,对光电读取静电陀螺仪也有借鉴作用. 展开更多
关键词 静电陀螺仪 质量不平衡调制读取 静电干扰力矩
下载PDF
减小静电陀螺的漂移率与调整方法 被引量:1
18
作者 滕云鹤 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第1期14-19,共6页
本文分析了静电陀螺干扰力矩和支承系统一些参数的关系,提出了几种减小陀螺漂移的方法,实验结果表明通过最优精调,可以使静电陀螺的常值漂移减少,甚至到零。 在加速度作用下转子位移引起的干扰力矩是极为重要的一方面,必须增加支承系统... 本文分析了静电陀螺干扰力矩和支承系统一些参数的关系,提出了几种减小陀螺漂移的方法,实验结果表明通过最优精调,可以使静电陀螺的常值漂移减少,甚至到零。 在加速度作用下转子位移引起的干扰力矩是极为重要的一方面,必须增加支承系统的刚度。本文提出并应用Robust调节器使静电支承系统的刚度增加到无穷大,因此所有由于加速度使转子产生位移而形成的干扰力矩都将被消除。 展开更多
关键词 电浮陀螺仪 静电支承系统 陀螺漂移
下载PDF
静电陀螺静态漂移误差模型系数的UKF标定方法 被引量:1
19
作者 张克志 田蔚风 +2 位作者 钱峰 王俊璞 边姜 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1387-1391,共5页
针对静电陀螺漂移误差特性,采用一种新的非线性建模方法UKF(Unscented Kalman Filter)对ESG漂移系数进行了标定.该方法基于UT(Unscented Transformation)原理,在保持陀螺漂移模型非线性基础上,使高斯随机变量在非线性方程中传播,实现非... 针对静电陀螺漂移误差特性,采用一种新的非线性建模方法UKF(Unscented Kalman Filter)对ESG漂移系数进行了标定.该方法基于UT(Unscented Transformation)原理,在保持陀螺漂移模型非线性基础上,使高斯随机变量在非线性方程中传播,实现非线性模型参数的估计.试验结果表明,与最小二乘法和扩展Kalman滤波比较,这种非线性建模方法能够对ESG漂移误差模型进行准确的标定. 展开更多
关键词 静电陀螺漂移 无香型卡尔曼滤波器 标定
下载PDF
模糊-PID控制器在静电悬浮转子微陀螺起支控制中的应用
20
作者 肖奇军 李胜勇 +3 位作者 陈文元 刘超英 崔峰 黄伟 《机械与电子》 2013年第8期54-58,共5页
针对起支控制的非线性特性,提出了模糊-PID控制器。当转子远离平衡位置时,采用模糊控制提高快速响应特性,在平衡位置附近采用PID控制器以消除系统的稳态误差。实验结果表明,采用模糊-PID控制,超调量从27%减小到20%,调节时间为25ms,显示... 针对起支控制的非线性特性,提出了模糊-PID控制器。当转子远离平衡位置时,采用模糊控制提高快速响应特性,在平衡位置附近采用PID控制器以消除系统的稳态误差。实验结果表明,采用模糊-PID控制,超调量从27%减小到20%,调节时间为25ms,显示了良好的动态性能和全局稳定性。 展开更多
关键词 静电悬浮 微陀螺 起支控制 模糊-PID控制
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部