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InGaZnO薄膜晶体管背板的栅极驱动电路静电释放失效研究 被引量：5
1
作者 马群刚 周刘飞 +2 位作者 喻玥 马国永 张盛东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期290-296,共7页
本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiN_x/SiO_2栅极绝缘层;源... 本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiN_x/SiO_2栅极绝缘层;源漏极金属层成膜前就发生了ESD破坏;距离ESD破坏区域越近的IGZO TFT,电流开关比越小,直到源漏极与栅极完全短路.本文综合IGZO TFT器件工艺、GOA区与显示区金属密度比、栅极金属层与绝缘层厚度非均匀性分布等因素,采用ESD器件级分析与系统级分析相结合的方法,提出栅极Cu:SiN_x/SiO_2界面缺陷以及这三层薄膜的厚度非均匀分布是导致GOA电路中沟道宽长比大的IGZO TFT发生ESD失效的关键因素,并针对性地提出了改善方案. 展开更多
关键词 CU互连 InGaZnO薄膜晶体管 阵列基板栅极驱动 静电释放
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机载设备自动测试车间静电的产生与防护 被引量：2
2
作者 王玉峰 邵旭东 刘锦涛 《装备制造技术》 2011年第5期187-189,共3页
在分析了静电产生、传播的途径以及危害等内容的基础上,针对机载设备自动测试车间(ATE车间)的特点,提出了ATE车间防止静电危害的有效措施及方法。
关键词 静电 静电放电 防护 机载设备 自动测试设备
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InGaZnO薄膜晶体管背板的层间Cu互连静电保护研究 被引量：2
3
作者 马群刚 王海宏 +2 位作者 张盛东 陈旭 王婷婷 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第15期331-339,共9页
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor,IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge,ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背板低将近一个数量级电压,数据线和扫描线层间Mo/Cu互连抗击穿电... InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor,IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge,ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背板低将近一个数量级电压,数据线和扫描线层间Mo/Cu互连抗击穿电压只有传统a-Si TFT背板层间Mo/Al/Mo互连的60%左右.层间Cu互连的ESD破坏成为影响IGZO TFT超高清面板正常显示的一个重要因素.本文建立了扫描线层Cu金属扩散进入SiNx/SiO2绝缘层和数据线层Cu金属在爬坡拐角处扩散进入SiO2绝缘层,诱发层间Cu互连ESD破坏的机理模型.提出了Cu互连周边ESD保护电路架构三种基本结构的选型条件,以及保证层间Cu互连抗ESD击穿能力的ESD保护电路设计方法.利用本文提出的方法,有效降低了IGZO TFT背板的层间Cu互连ESD破坏风险. 展开更多
关键词 InGaZnO薄膜晶体管 CU互连 SiO2绝缘层 静电放电
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静电及其研究进展 被引量：48
4
作者 刘尚合 宋学君 《自然杂志》 北大核心 2007年第2期63-68,F0002,共7页
本文综述了古代人对静电现象的观察、研究及静电学理论体系的形成,阐明了由传统意义上的静电到现代静电问题研究的发展,讨论了人体静电、静电放电及其电磁辐射相关联的以静电起电原理、静电放电模型、静电危害及防护、静电测试技术为主... 本文综述了古代人对静电现象的观察、研究及静电学理论体系的形成,阐明了由传统意义上的静电到现代静电问题研究的发展,讨论了人体静电、静电放电及其电磁辐射相关联的以静电起电原理、静电放电模型、静电危害及防护、静电测试技术为主要研究内容的静电防护工程问题。 展开更多
关键词 静电学 静电放电 人体静电 静电危害
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空间材料表面充放电性能试验评估方法研究 被引量：25
5
作者 王立 秦晓刚 《真空与低温》 2002年第2期83-87,共5页
空间材料的表面充放电可导致材料表面污染加速、热控性能和其他物理性能改变并产生电磁干拢 ,通过材料选择可以减少表面带电及其产生的危害 ,其中对材料进行充放电特性测试与评价是材料选择的重要依据。介绍了用于空间材料表面充放电特... 空间材料的表面充放电可导致材料表面污染加速、热控性能和其他物理性能改变并产生电磁干拢 ,通过材料选择可以减少表面带电及其产生的危害 ,其中对材料进行充放电特性测试与评价是材料选择的重要依据。介绍了用于空间材料表面充放电特性试验评价的主要设备及其工作原理 ,重点介绍了试验的方法。试验结果及数据应用表明 。 展开更多
关键词 表面放电性能 航天器 空间材料 表面电位 评估试验 表面带电
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航天器内部充电效应及典型事例分析 被引量：25
6
作者 黄建国 韩建伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期2907-2913,共7页
航天器内部充电效应是由空间高能电子诱发的,通常发生在航天器内部以及表面绝缘材料深层,所产生的放电击穿及静电放电脉冲干扰较表面充电更为严重.对内部充放电的一般规律进行了总结,并就一次典型的航天器异常事件,从异常的时空表现特... 航天器内部充电效应是由空间高能电子诱发的,通常发生在航天器内部以及表面绝缘材料深层,所产生的放电击穿及静电放电脉冲干扰较表面充电更为严重.对内部充放电的一般规律进行了总结,并就一次典型的航天器异常事件,从异常的时空表现特征及其与高能电子环境扰动的相关性角度进行了深入分析和定量计算,得出了高能电子产生的内部充电引起的卫星异常的结论,为卫星异常诊断提供了范例. 展开更多
关键词 高能电子 内部充电 静电放电 空间环境
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静电放电及其防护设计 被引量：21
7
作者 李秀峰 邱扬 丁高 《国外电子测量技术》 2006年第2期9-12,共4页
随着电子技术的发展和产品复杂程度的提高,静电放电对产品的危害也越来越严重。对静电放电产生的原因、干扰机理及破坏机制进行了介绍,提出了静电放电的防护措施,具有很高的实用价值。
关键词 静电放电 瞬态保护 静电防护
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地球同步轨道高压太阳电池阵充放电效应研究 被引量：20
8
作者 李凯 王立 +3 位作者 秦晓刚 柳青 孙彦铮 崔新宇 《航天器环境工程》 2008年第2期125-128,97-98,共4页
地球同步轨道(GEO)高压太阳电池阵表面静电放电(ESD)引起二次放电可能导致太阳电池阵永久性短路损坏。文章主要针对GEO高压太阳电池阵充放电效应问题,重点分析了高压太阳电池阵表面ESD和二次放电产生的物理过程,并利用负高压偏置方法开... 地球同步轨道(GEO)高压太阳电池阵表面静电放电(ESD)引起二次放电可能导致太阳电池阵永久性短路损坏。文章主要针对GEO高压太阳电池阵充放电效应问题,重点分析了高压太阳电池阵表面ESD和二次放电产生的物理过程,并利用负高压偏置方法开展了GEO高压太阳电池阵表面ESD和二次放电地面模拟试验。试验验证了反转电位梯度电场是导致GEO高压太阳电池阵表面产生ESD的触发因素之一,同时得到了GaAs高压太阳电池阵样品表面产生ESD和二次放电的电压阈值。 展开更多
关键词 高压太阳电池阵 充放电效应 静电放电 二次放电 地球同步轨道
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静电放电电磁脉冲能量耦合的系统辨识建模 被引量：20
9
作者 魏明 杨楠 +1 位作者 王向东 陈翔 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2017-2022,共6页
为解决工程应用中电磁脉冲响应仿真计算过于复杂的问题,提出一种基于系统辨识的ESDEMP能量耦合建模方法,选择人体模型和人体-金属模型作为模拟器电路,设计了不同ESDEMP对半圆环天线的耦合实验,将能量耦合通道作为黑箱系统,ESD放电电流... 为解决工程应用中电磁脉冲响应仿真计算过于复杂的问题,提出一种基于系统辨识的ESDEMP能量耦合建模方法,选择人体模型和人体-金属模型作为模拟器电路,设计了不同ESDEMP对半圆环天线的耦合实验,将能量耦合通道作为黑箱系统,ESD放电电流和半圆环天线耦合电压作为系统的输入和输出信号,针对人体-金属模型放电测试数据,基于输出误差模型辨识方法,得到了9阶能量耦合传递函数。通过人体模型实验数据对该模型进行验证,结果表明理论预测结果与实测数据拟合度为79.53%。该方法计算简便,也适用于其它电磁脉冲效应仿真研究。 展开更多
关键词 静电放电 电磁脉冲 耦合 传递函数 系统辨识 预测
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静电放电参数对电极速度的相关性与机理分析 被引量：16
10
作者 阮方鸣 高攸纲 +2 位作者 石丹 汪柳平 周峰 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第5期977-981,共5页
同步测量了带电人体手握金属小棒电极放电电流的参数和电极运动速度。金属小棒电极与靶电极相撞时的速度对放电电流参数(放电电流峰值、放电电流时间变化率的峰值、火花放电的弧长)的影响,用统计软件SPSS进行了考察,获得了在不同人体电... 同步测量了带电人体手握金属小棒电极放电电流的参数和电极运动速度。金属小棒电极与靶电极相撞时的速度对放电电流参数(放电电流峰值、放电电流时间变化率的峰值、火花放电的弧长)的影响,用统计软件SPSS进行了考察,获得了在不同人体电压情况下小棒电极运动速度与放电参数的相关系数。结果表明:充电电压为0.3kV时,放电参数与电极运动速度无关。充电电压为0.5kV及其以上电压时,电极运动速度与放电电流峰值、电流最大上升斜率有极强的正相关性;与放电火花弧长有极强的负相关性。电极向靶的快速接近改变放电间隙的空气压强,改变间隙两端的电场强度,从而引起放电参数的显著变化。 展开更多
关键词 静电放电 金属小棒 放电电流 碰撞速度 统计相关
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电子产品防静电包装设计 被引量：14
11
作者 丁毅 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期80-81,共2页
　论述了静电放电(ESD)的危害及静电产生原因,电子产品包装过程中静电的来源,如何去解决电子产品生产、装配、包装环节中的静电,以及防静电包装设计。
关键词 电子产品 静电放电 ESD 防静电包装设计 包装材料
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MOS集成电路ESD保护技术研究 被引量：10
12
作者 王颖 《微电子技术》 2002年第1期24-28,共5页
重点论述了ESD失效模式失效机理和MOS集成电路ESD保护电路
关键词 MOS集成电路 ESD保扩技术 失效模式 失效机理
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静电放电电磁脉冲理论建模与作用机理研究进展 被引量：11
13
作者 刘尚合 周万珍 孙秋红 《河北科技大学学报》 CAS 2005年第2期87-92,共6页
通过静电放电效应实验和理论分析,研究了IEC6100042标准规定的实验方法与实验平台的局限性,提出了改进的ESD电磁场理论模型,探讨了静电放电电磁脉冲对微电子器件作用机理,提出了相应防护对策。
关键词 作用机理 电磁脉冲 静电放电 研究进展 理论建模 微电子器件 实验平台 实验方法 标准规定 理论模型 防护对策 电效应 局限性 电磁场 ESD
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静电放电辐射场模拟及干扰预测 被引量：10
14
作者 汪项伟 万发雨 +1 位作者 冯超超 范盼 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期3396-3402,共7页
为了深入研究静电放电(ESD)过程及其辐射场情况,解决实验测量数据重复性差、近场辐射场特性难以观测等问题。通过电磁仿真与实验相结合的方法建立ESD模拟器3维电磁模型,验证分析对水平耦合板放电的辐射场特性和受试设备(EUT)的耦合电压... 为了深入研究静电放电(ESD)过程及其辐射场情况,解决实验测量数据重复性差、近场辐射场特性难以观测等问题。通过电磁仿真与实验相结合的方法建立ESD模拟器3维电磁模型,验证分析对水平耦合板放电的辐射场特性和受试设备(EUT)的耦合电压特性。研究发现:对水平耦合板放电的辐射场在放电点有最大电场强度,且电场强度随着与放电点距离的增加而呈现先快后慢的衰减。3维电磁仿真结果表明:ESD辐射场主要通过EUT壳体表面的缝隙和接口耦合到设备内部,耦合电压与测试结果一致。因此在电子设备设计阶段可利用该3维电磁模型对其内部抗扰度进行验证,从而降低电子设备抗干扰研发成本,提高设备ESD抗扰度测试过关率。 展开更多
关键词 静电放电 电磁场测试 电场分布 静电防护 静电放电抗扰度测试 静电放电枪
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空间环境下航天器材料表面带电性能试验方法 被引量：12
15
作者 原青云 孙永卫 刘存礼 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1644-1649,共6页
采用合适的航天器材料（SM）可以减少空间环境下其表面带电产生的危害,而对其表面带电特性进行测试和评估是进行材料选择的重要依据。为此,对空间环境下航天器材料表面带电特性的试验方法和评估手段进行了研究。设计了一种航天器材料表... 采用合适的航天器材料（SM）可以减少空间环境下其表面带电产生的危害,而对其表面带电特性进行测试和评估是进行材料选择的重要依据。为此,对空间环境下航天器材料表面带电特性的试验方法和评估手段进行了研究。设计了一种航天器材料表面带电地面试验室模拟装置,其真空度可达5×10-5 Pa,电子源能量在0～50 keV范围内可调,束流密度在0.5～10 nA/cm2范围内可调,等离子体密度可达1011 cm-3;研制了一套空间环境下航天器材料表面电位动态测试系统和一种静电放电（ESD）脉冲测试微型探头,对典型空间材料的表面充放电特性进行试验研究。结果表明,空间材料表面带电地面模拟装置能够真实模拟空间材料表面带电的环境;研制的航天器材料表面电位动态测试系统可以对空间环境下的航天器材料表面电位进行多点、实时测量;静电放电脉冲测试微型探头具有良好的宽带特性和较高的灵敏度,通过将几Hz至数GHz的静电放电脉冲电场信号转换为强度调制的激光波输出,实现了空间环境下航天器材料表面静电放电脉冲信号的测量。 展开更多
关键词 空间环境 航天器材料 表面电位 静电放电 充放电效应 真空度
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飞行器表面静电放电抑制的研究 被引量：12
16
作者 杨真一 张少卿 吴群 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S2期6-9,共4页
飞行器在飞行中产生的静电放电(ESD),可使飞机燃油箱起火爆炸并干扰飞行器通讯和导航系统。文中针对飞行器上的静电放电展开研究,讨论飞行器上静电放电的抑制。由放电状态下飞行器表面电流密度分布验证了放电刷可以有效地抑制机体的静... 飞行器在飞行中产生的静电放电(ESD),可使飞机燃油箱起火爆炸并干扰飞行器通讯和导航系统。文中针对飞行器上的静电放电展开研究,讨论飞行器上静电放电的抑制。由放电状态下飞行器表面电流密度分布验证了放电刷可以有效地抑制机体的静电放电,然后对放电刷的各个参数进行了比较得出较为有效的放电刷模型。其次讨论了静电荷在飞行器上所产生的辐射电场对机载天线的影响。对飞机ESD辐射电场进行仿真研究,有助于飞行器外形的优化设计,能够很好地预测静电辐射带来的危害。 展开更多
关键词 飞行器 静电放电 表面电流密度 辐射电场
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舰载电子产品静电危害及其防护 被引量：11
17
作者 陈军 《雷达与对抗》 2001年第1期30-34,共5页
静电放电 (ESD)对于电路引起的干扰是电子抗干扰技术中十分重要的一项。目前 ,电子产品的静电放电敏感度测试已作为电子兼容性测试的一项重要内容。而舰载电子产品中的静电问题尤为重要。本文就静电产生的机理。
关键词 静电放电 静电干扰 静电危害 静电防护 舰载电子产品
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电装车间的静电危害及静电防护 被引量：10
18
作者 田智会 《电子工艺技术》 2007年第2期97-99,共3页
静电放电是一种常见的自然现象,它对电子产品生产、装配的危害所造成的损失是不可估测的。电装车间承担着电子产品装配任务,需要进行元器件焊接、组装、调试、包装等工序,由于接触分离、磨擦、感应等作用产生静电,可随时对产品造成静电... 静电放电是一种常见的自然现象,它对电子产品生产、装配的危害所造成的损失是不可估测的。电装车间承担着电子产品装配任务,需要进行元器件焊接、组装、调试、包装等工序,由于接触分离、磨擦、感应等作用产生静电,可随时对产品造成静电危害。分析了电装车间主要静电产生源和静电放电产生的原因、机理及破坏机制,提出了在接地系统、人员、设备以及环境等方面有效的防静电措施。 展开更多
关键词 静电放电 静电防护 电装车间
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静电防护系统理论的探讨及其实际应用 被引量：10
19
作者 刘成文 宋振宇 《电子工艺技术》 2002年第5期222-225,228,共5页
静电放电是一种常见的自然现象 ,它对电子元器件、产品生产制造、组装的危害所造成损失是不可估测的。针对静电放电对电子产品影响这一特点 ,依据国内现行静电防护标准和同行业的静电防护的实践经验 ,对公司的电子车间进行了全方位静电... 静电放电是一种常见的自然现象 ,它对电子元器件、产品生产制造、组装的危害所造成损失是不可估测的。针对静电放电对电子产品影响这一特点 ,依据国内现行静电防护标准和同行业的静电防护的实践经验 ,对公司的电子车间进行了全方位静电防护设计。在探讨静电防护系统理论的同时也详细地介绍了的静电防护设计及应用。 展开更多
关键词 静电防护 静电放电 防护设计 集成电路
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低轨道高压太阳电池阵充放电效应试验 被引量：10
20
作者 陈益峰 柳青 +2 位作者 杨生胜 秦晓刚 李得天 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期550-554,共5页
针对我国空间站采用的高压太阳电池,开展低轨道等离子体环境下高压太阳阵样品充放电效应试验,在实验室复现了高压太阳电池阵静电放电和二次放电现象。结果表明,高压太阳电池偏置电压为-70 V时开始出现静电放电,且静电放电次数随着偏置... 针对我国空间站采用的高压太阳电池,开展低轨道等离子体环境下高压太阳阵样品充放电效应试验,在实验室复现了高压太阳电池阵静电放电和二次放电现象。结果表明,高压太阳电池偏置电压为-70 V时开始出现静电放电,且静电放电次数随着偏置电压的减小而增大,并在高密度的等离子体环境下更容易发生静电放电。当偏置电压为-100 V,串间电压为80 V时观测到了二次放电。 展开更多
关键词 低轨道等离子体 高压太阳电池 静电放电 偏置电压 二次放电
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