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基于符号回归的静电电压测试补偿算法
1
作者
冯亚辉
满梦华
魏明
《现代电子技术》
2023年第8期15-20,共6页
为解决非接触式静电电位传感器测量数据的补偿问题,文中提出一种基于符号回归的波形补偿算法。设计一种非接触式静电电位传感器校准实验平台,通过遍历测试距离、校准电压和校准频率的参数组合,获得测试结果的样本训练数据;再利用符号回...
为解决非接触式静电电位传感器测量数据的补偿问题,文中提出一种基于符号回归的波形补偿算法。设计一种非接触式静电电位传感器校准实验平台,通过遍历测试距离、校准电压和校准频率的参数组合,获得测试结果的样本训练数据;再利用符号回归方法建立从测试结果到校准电压的补偿函数模型,以降低测量距离对测量结果的影响。实验结果表明,基于符号回归的波形补偿算法可行、有效,能够为提高非接触式电位测量的准确性提供一种新手段。另外,基于模型参数与补偿结果,提出一种符号回归的改善方法,即引入损失函数用来减小函数模型的复杂度,利用神经网络卷积学习的方法发现种群与原始数据中的隐藏特征,从而明确演化方向,并针对特定的问题设定特定的评价指标,进一步优化符号回归模型的准确性。
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关键词
符号回归
静电电位传感器
电位测量
波形补偿
距离校准
非接触式
样本训练
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职称材料
一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
2
作者
王子龙
刘向明
+5 位作者
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期1-5,共5页
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关...
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台。测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11%,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致。
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关键词
静电压传感器
MEMS
模态局域化
三自由度
静电弱耦合
高灵敏度
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职称材料
题名
基于符号回归的静电电压测试补偿算法
1
作者
冯亚辉
满梦华
魏明
机构
陆军工程大学石家庄校区电磁环境效应重点实验室
出处
《现代电子技术》
2023年第8期15-20,共6页
基金
国防科技重点实验室基金(6142205190101)。
文摘
为解决非接触式静电电位传感器测量数据的补偿问题,文中提出一种基于符号回归的波形补偿算法。设计一种非接触式静电电位传感器校准实验平台,通过遍历测试距离、校准电压和校准频率的参数组合,获得测试结果的样本训练数据;再利用符号回归方法建立从测试结果到校准电压的补偿函数模型,以降低测量距离对测量结果的影响。实验结果表明,基于符号回归的波形补偿算法可行、有效,能够为提高非接触式电位测量的准确性提供一种新手段。另外,基于模型参数与补偿结果,提出一种符号回归的改善方法,即引入损失函数用来减小函数模型的复杂度,利用神经网络卷积学习的方法发现种群与原始数据中的隐藏特征,从而明确演化方向,并针对特定的问题设定特定的评价指标,进一步优化符号回归模型的准确性。
关键词
符号回归
静电电位传感器
电位测量
波形补偿
距离校准
非接触式
样本训练
Keywords
symbol
regression
electrostatic
potential
sensor
potential
measurement
waveform
compensation
distance
calibration
contactless
type
sample
training
分类号
TN911.23-34 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
2
作者
王子龙
刘向明
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
北京信息科技大学理学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第10期1-5,共5页
基金
国家自然科学基金(62031025,61971398)
国家重点研发计划资助(2018YFF01010800)
中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。
文摘
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器。传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量。通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台。测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11%,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致。
关键词
静电压传感器
MEMS
模态局域化
三自由度
静电弱耦合
高灵敏度
Keywords
electrostatic
potential
sensor
MEMS
mode
localization
three
degree-of-freedom
electrostatic
weak
coupling
high
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于符号回归的静电电压测试补偿算法
冯亚辉
满梦华
魏明
《现代电子技术》
2023
0
下载PDF
职称材料
2
一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器
王子龙
刘向明
高雅浩
彭思敏
修日
杨鹏飞
毋正伟
彭春荣
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021
0
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职称材料
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