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低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究 被引量：5
1
作者 翟雷应 徐静 +1 位作者 李四华 吴亚明 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期965-971,共7页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐... 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐范围为40 nm和驱动电压低于30 V的MEMS F-P可调滤波器。测试结果表明,其3 dB带宽为0.5 nm,单模光纤准直器封装的插入损耗低于8 dB,为研制实用的F-P可调滤波器奠定了良好的实验基础。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) Fabry-Pérot(F-P)腔 可调光滤波器 静电驱动
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基于介观压光效应的MEMS陀螺研究 被引量：3
2
作者 朱京 温廷敦 +1 位作者 许丽萍 陈磊 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期15-17,20,共4页
依据介观压光效应原理,设计出了一种新型高灵敏谐振式MEMS陀螺,其利用镜像异质三周期光子晶体的介观压光效应代替传统压阻式微陀螺中的力敏电阻器,当光子晶体受轴向应力作用时,其透射率随之发生变化,因此,通过检测透射光强可解算出输入... 依据介观压光效应原理,设计出了一种新型高灵敏谐振式MEMS陀螺,其利用镜像异质三周期光子晶体的介观压光效应代替传统压阻式微陀螺中的力敏电阻器,当光子晶体受轴向应力作用时,其透射率随之发生变化,因此,通过检测透射光强可解算出输入角速度的大小。陀螺结构采用4对梳齿电容驱动,驱动模块与检测模块相互独立,其具有耦合效应小,机械灵敏度高的特点。经数值计算与仿真分析,得到该微陀螺频率匹配率为0.6%,透射率灵敏度达到73μcd/(°)/s,证明了其频率匹配良好,可实现高灵敏度的角速度的测量。 展开更多
关键词 介观压光效应 光子晶体 MEMS陀螺 静电驱动
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静电驱动MEMS柔性结构的变形分析与试验验证 被引量：1
3
作者 刘庆玲 王梓翰 于常娟 《机械设计》 CSCD 北大核心 2018年第2期77-81,共5页
针对静电驱动MEMS柔性梁的变形特性进行分析,依据静电场理论及伪刚体理论,考虑静电力非均匀分布载荷的基本特征、静电力与柔性梁变形之间的耦合作用及可能存在的边缘电场对静电力的影响,建立不同电压下求解柔性梁变形的数学模型,同时给... 针对静电驱动MEMS柔性梁的变形特性进行分析,依据静电场理论及伪刚体理论,考虑静电力非均匀分布载荷的基本特征、静电力与柔性梁变形之间的耦合作用及可能存在的边缘电场对静电力的影响,建立不同电压下求解柔性梁变形的数学模型,同时给出静电吸合电压的计算式。设计并加工了MEMS柔性梁,采用文中所建模型计算了柔性梁的变形,同时搭建试验测试系统测试柔性梁的变形及静电吸合电压,与理论计算结果具有较好的一致性,验证了文中建立的数学模型的正确性。 展开更多
关键词 静电驱动 柔性梁 变形 静电吸合 测试
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静电驱动组合柔性结构的变形分析与实验验证
4
作者 刘庆玲 孙丽波 +1 位作者 王兴新 于常娟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第2期122-126,共5页
针对静电驱动组合柔性结构的变形进行分析,考虑静电力分布载荷的基本特征、静电力与组合柔性结构变形之间的耦合作用,依据静电场理论、伪刚体理论以及非线性柔性模型,给出分析不同电压下求解组合柔性结构变形的一般方法,同时给出静电吸... 针对静电驱动组合柔性结构的变形进行分析,考虑静电力分布载荷的基本特征、静电力与组合柔性结构变形之间的耦合作用,依据静电场理论、伪刚体理论以及非线性柔性模型,给出分析不同电压下求解组合柔性结构变形的一般方法,同时给出静电吸合电压的计算式。设计加工了MEMS组合柔性结构,采用文中方法分析静电驱动中组合柔性结构的变形,同时搭建实验测试系统,确定电压加载范围,完成组合柔性结构的变形测试。将实验测试结果与理论计算结果进行对比分析,验证文中分析方法的正确性。 展开更多
关键词 静电驱动 组合柔性结构 变形 静电吸合 实验测试
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ZnO梁谐振仿真与分析研究
5
作者 李经国 徐鹏飞 +2 位作者 张二帅 李沛然 王大志 《机电工程技术》 2021年第9期19-21,178,共4页
基于ZnO材料的半导体特性,制备了一款敏感元件为纳米尺度的谐振器。阐明了一维半导体材料静电激励场效应拾振的检测原理,利用COMSOL Mutiphysics耦合仿真分析软件,建立了ZnO谐振梁仿真模型。仿真分析了ZnO梁静电激振参数的对谐振特性的... 基于ZnO材料的半导体特性,制备了一款敏感元件为纳米尺度的谐振器。阐明了一维半导体材料静电激励场效应拾振的检测原理,利用COMSOL Mutiphysics耦合仿真分析软件,建立了ZnO谐振梁仿真模型。仿真分析了ZnO梁静电激振参数的对谐振特性的影响,优化得到最佳激振参数:交流0.01 V,沟道深度1.2μm。采用MEMS工艺制备了谐振器基底,利用转移工艺形成了长度50μm,直径550 nm的ZnO谐振梁元件,并通过FIB沉积技术形成欧姆接触。基于混频锁相原理,测量了ZnO谐振梁静电激振场效应拾振的幅频特性,结果表明该谐振梁特征频率为1.018 MHz,与仿真结果吻合。 展开更多
关键词 ZnO梁 谐振器 COMSOL 静电激振
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微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究 被引量：10
6
作者 王亚强 王跃林 +1 位作者 丁纯 喻浩 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期351-355,共5页
本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性，在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则，研制出闭环恒幅驱动电路，并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。
关键词 微机械 闭环恒幅驱动 传感器 微谐振式
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静电驱动悬臂梁式微开关的动态特性分析 被引量：1
7
作者 丁芳 李艳芳 《中国民航大学学报》 CAS 2008年第3期26-29,共4页
通过建立静电驱动悬臂梁式微开关的非线性动力学简化模型,利用数值方法求解出系统的动态响应特性,得到了动态吸合电压和开关吸合时间的关系,并详细分析了其动态响应中的非线性现象以及动态特性和静态特性的不同。计算结果表明,动态吸合... 通过建立静电驱动悬臂梁式微开关的非线性动力学简化模型,利用数值方法求解出系统的动态响应特性,得到了动态吸合电压和开关吸合时间的关系,并详细分析了其动态响应中的非线性现象以及动态特性和静态特性的不同。计算结果表明,动态吸合电压并不是唯一的;随着动态吸合电压的增大,吸合时间逐渐变小;微悬臂梁的动态响应周期随着驱动电压的增大而增大;动态临界电压低于静态临界电压,这些动态特性与静态特性有着明显的不同。 展开更多
关键词 微开关 悬臂梁 静电驱动 动态特性
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