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题名基于MEMS的微位移传感器及其应用研究
被引量：9
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作者
孙凤鸣
傅星
朱振宇
高赛
张超
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
中航工业北京长城计量测试技术研究所
物理技术研究院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期293-296,共4页
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文摘
对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。
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关键词
MEMS位移传感器
静电梳齿结构
微扫描探针测头
SPM应用
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Keywords
MEMS displacement sensor
electrostatic comb-drive structure
micro-SPM head
SPM application
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名静电梳齿驱动结构的稳定性分析
被引量：7
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作者
张峰
苑伟政
常洪龙
丁继亮
谢建兵
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机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1122-1125,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(60976087)
国家高技术研究发展计划项目(2009AA04Z320)
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文摘
静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证。结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好。
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关键词
静电梳齿驱动结构
稳定性
侧向吸合
刚度
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Keywords
electrostatic comb-drive structure
lateral stability
side pull-in
stiffness
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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