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电子束高频偏转扫描线圈的设计与仿真 被引量:10
1
作者 赵攀峰 刘方军 张伟 《航空制造技术》 2019年第3期75-80,共6页
为提高电子束高频偏转扫描的频率及磁场均匀性,基于Helmholtz线圈的工作原理,采用空心结构设计了一种高频偏转扫描线圈,并根据电子枪的结构和电子束偏转扫描的技术要求,计算了所需磁场强度及安匝数。采用三维软件Pro/e建立了几何模型和... 为提高电子束高频偏转扫描的频率及磁场均匀性,基于Helmholtz线圈的工作原理,采用空心结构设计了一种高频偏转扫描线圈,并根据电子枪的结构和电子束偏转扫描的技术要求,计算了所需磁场强度及安匝数。采用三维软件Pro/e建立了几何模型和有限元分析模型,并利用Maxwell进行电磁场仿真,分析了所设计高频偏转扫描线圈电磁场分布的均匀性,并制作实物进行测量,测量结果与仿真结果基本一致。所设计的偏转扫描线圈产生的磁场强度及磁场均匀性均满足电子束高频偏转扫描的技术要求,实际测试结果表明,电子束扫描范围可达到350mm×350mm,电子束偏转扫描速度可实现7000mm/s。 展开更多
关键词 电子束 高频偏转 扫描线圈 模拟仿真
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钢侧偏束电子束焊接纯铝/Q235异种金属接头试验 被引量:9
2
作者 王廷 张秉刚 +1 位作者 冯吉才 钟诗胜 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期69-72,116,共6页
采用钢侧偏束电子束焊接方法对铝/钢异种金属接头进行了连接,对接头组织和相组成进行了分析,并对接头抗拉强度进行了了测试.结果表明,钢侧结合良好,焊缝组织均匀,铝侧熔合区存在过渡层,其内有金属间化合物层存在.适当的钢侧偏束量能够... 采用钢侧偏束电子束焊接方法对铝/钢异种金属接头进行了连接,对接头组织和相组成进行了分析,并对接头抗拉强度进行了了测试.结果表明,钢侧结合良好,焊缝组织均匀,铝侧熔合区存在过渡层,其内有金属间化合物层存在.适当的钢侧偏束量能够提高接头强度,在文中试验范围内,在偏束量为0.5 mm时获得了相对最高的抗拉强度69 MPa.金属间化合层的存在弱化了接头强度,断裂呈脆性特征. 展开更多
关键词 纯铝 Q235钢 电子束焊接 束偏量 显微组织 力学性能
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控制电子束高频偏转扫描的电磁系统仿真及设计 被引量:8
3
作者 杨波 代建辉 +1 位作者 左从进 许海鹰 《航空制造技术》 2015年第S1期87-90,共4页
采用ANSYS模拟软件对多极靴偏转线圈结构及其参数进行了仿真,结果表明:极靴越多,线圈中间的空间磁场越均匀。综合考虑线圈的磁场分布、加工难度、制作成本等因素,设计了以铁氧体为磁芯材料的十二极靴偏转线圈,并检测了该偏转线圈的高频... 采用ANSYS模拟软件对多极靴偏转线圈结构及其参数进行了仿真,结果表明:极靴越多,线圈中间的空间磁场越均匀。综合考虑线圈的磁场分布、加工难度、制作成本等因素,设计了以铁氧体为磁芯材料的十二极靴偏转线圈,并检测了该偏转线圈的高频响应特性,试验结果表明,所研制线圈可以在100k Hz以上的高频工作。 展开更多
关键词 电子束 偏转扫描 电磁系统 仿真
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小型静态CT用多焦点X射线源电子束偏转系统研究 被引量:7
4
作者 周日峰 殷一帆 +3 位作者 李富坤 石立敏 刘俊标 郑磊 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期2072-2077,共6页
第5代全静态电子束CT(EBCT)能在被检测物体、射线源和探测器均处于静止状态下完成CT扫描成像。这种EBCT成像方式既可应用于粉体材料、生物活体样品等易形变物体的CT检测,又可应用于物流包裹、在役管线等的快速CT检测。高精度的电子束偏... 第5代全静态电子束CT(EBCT)能在被检测物体、射线源和探测器均处于静止状态下完成CT扫描成像。这种EBCT成像方式既可应用于粉体材料、生物活体样品等易形变物体的CT检测,又可应用于物流包裹、在役管线等的快速CT检测。高精度的电子束偏转系统是静态CT成像多焦点射线源的关键技术之一。本文基于麦克斯韦电磁场相互作用理论,探讨了电子束在均匀磁场、小偏转角、近轴区域内的散焦、畸变及灵敏度特性,研究了影响电子束扫描系统焦点位置重复精度的物理参数及电子束在靶平面上的扫描偏转量与偏转线圈电流的线性关系。并设计、加工制作了一种小型高精度多焦点X射线的电子束偏转扫描系统,实验采用直径0.1mm标准针规电子束扫描DR投影图像序列,验证了电子束偏转系统有良好的偏转线性,偏转量正比于O点的磁场强度,而与电子束的位置等初始条件无关。实验通过电子束偏转系统控制电子束偏转扫描,获得了熔断式保险管(100μm)的250个X射线视角投影,完成了第5代全静态三维CT重建图像。 展开更多
关键词 静态CT X射线源 电子束偏转 阵列式多焦点
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高精度电子束偏转系统优化建立与仿真研究
5
作者 贾子朝 郭志伟 高学林 《真空》 CAS 2024年第2期47-52,共6页
电子束的高精度传输控制对于确保电子枪在金属熔炼、蒸发镀膜及电子束焊接等领域的可靠应用具有重要意义。针对电子束在金属物料蒸发环境中的传输控制技术开展研究,基于CST粒子仿真分析软件建立了30 kV电子束偏转模型,分析了偏转装置结... 电子束的高精度传输控制对于确保电子枪在金属熔炼、蒸发镀膜及电子束焊接等领域的可靠应用具有重要意义。针对电子束在金属物料蒸发环境中的传输控制技术开展研究,基于CST粒子仿真分析软件建立了30 kV电子束偏转模型,分析了偏转装置结构及位置参数变化对电子束分布的影响规律,通过仿真设计优化得到了满足需求的电子束偏转控制参数与结构。试验验证表明该结构下的电子束传输轨迹可控,建立的30 kV电子束偏转系统满足要求。 展开更多
关键词 电子束传输 CST仿真 偏转装置优化
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基于轨道控制的FEL圆偏振辐射的产生与空间分离
6
作者 易怀千 王晓凡 张未卿 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期155-161,共7页
研究了在自由电子激光设施中产生高偏振度圆偏振辐射的技术方案。该方案将工作在反向渐变模式的平面波荡器和常规椭圆极化波荡器以前后连接的方式进行排布,并通过波荡器之间的矫正磁铁对电子束进行轨道控制。在平面波荡器部分利用偏转... 研究了在自由电子激光设施中产生高偏振度圆偏振辐射的技术方案。该方案将工作在反向渐变模式的平面波荡器和常规椭圆极化波荡器以前后连接的方式进行排布,并通过波荡器之间的矫正磁铁对电子束进行轨道控制。在平面波荡器部分利用偏转磁铁使电子束偏向传输,所产生线偏振辐射也将偏轴传播,脉冲能量为0.357μJ。在进入椭圆极化波荡器之前校正电子束的轨道和前进方向,使得带有微群聚结构的电子束沿轴线正向传输,其产生的圆偏振辐射能量为92.39μJ。圆偏振辐射将沿轴向传输,在一定距离后可实现其与线偏振辐射在空间上的分离。通过数值模拟分析了电子束偏转对辐射光性质所产生的影响。 展开更多
关键词 自由电子激光 圆偏振辐射 反向渐变波荡器 电子束偏转
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高压脉冲电子束在模具表面处理中的应用 被引量:5
7
作者 李登波 《重庆工学院学报》 2006年第8期32-33,146,共3页
模具的表面处理在模具加工中具有十分重要的地位,而电子束加工技术正是一种完全不同于传统机械加工的新的模具表面处理工艺.介绍了电子束技术在国内外的发展现状,概述了脉冲电子枪的加工特点及工作原理,以及该技术在模具表面精密加工中... 模具的表面处理在模具加工中具有十分重要的地位,而电子束加工技术正是一种完全不同于传统机械加工的新的模具表面处理工艺.介绍了电子束技术在国内外的发展现状,概述了脉冲电子枪的加工特点及工作原理,以及该技术在模具表面精密加工中的应用以及工作台的设计思路. 展开更多
关键词 高压脉冲 电子束 表面处理 偏转磁场 工作台
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电子束曝光机偏转系统及可动物镜分析 被引量:4
8
作者 尹明 张玉林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期423-426,共4页
电子束大扫描场偏转系统设计中 ,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础 ,以双通道扫描原理进行扫描 ,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件 ,并利用这一条件分析电子束最... 电子束大扫描场偏转系统设计中 ,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础 ,以双通道扫描原理进行扫描 ,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件 ,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法。并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由该电子束曝光机试验结果表明 ,复合系统结构简单紧凑 ,像差小而可以不用动态校正。采用矢量描写电子轨迹 ,以积分式表示像差。以 0 .0 0 5rad半张角 ,5× 10 -5的高压纹波 ,5 0mm的像距 ,10mm× 10mm扫描场的边脚处 ,使动态校正前的总像差为 0 .0 3μm。 展开更多
关键词 成像光学 电子束 偏转系统 可动物镜 扫描系统 像差 动态校正 光刻技术
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基于大角度偏转的增材制造设备性能的研究 被引量:3
9
作者 李曌 韦寿祺 薛展仁 《热加工工艺》 北大核心 2021年第17期126-131,共6页
通过研究电子束束斑在大角度偏转下的变化规律,进行了大角度偏转下增材制造设备性能的研究。实验结果表明,由于电子枪固有的聚焦和偏转工作方式的原因,电子束在大角度偏转下必然会出现严重的散焦现象,从而影响零件成型精度。通过修正设... 通过研究电子束束斑在大角度偏转下的变化规律,进行了大角度偏转下增材制造设备性能的研究。实验结果表明,由于电子枪固有的聚焦和偏转工作方式的原因,电子束在大角度偏转下必然会出现严重的散焦现象,从而影响零件成型精度。通过修正设备的聚焦电流可以减小这种散焦的程度,提高电子束大角度偏转下的零件成型精度。利用本文提出的修正策略,在原精度要求不变的情况下,改进的增材制造设备可以快速成型尺寸更大的零件。 展开更多
关键词 增材制造 电子束 大角度偏转 束斑散焦 散焦修正
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Fast Beam Deflection and Beam Quality- Keys to Economic High Quality Electron Beam Applications 被引量:3
10
作者 Uwe Clauβ James Bull 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期90-94,共5页
Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the ad... Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the advantages of the electron beam have further increased making it a truly software controlled thermal processing tool.Modern beam controllers enable multi-beam and multi-focus technologies,where the beam is split in up to 60 individual beams.These technologies can reduce the processing time by parallel processing or improve the quality by optimized thermal expansion of the part.Multi-process technologies,where several processes are performed in one run (e.g.welding and cosmetic treatment) further extend the application range of the electron beam process.Fast beam deflection in conjunction with electron-optical monitoring is the fundamental component for advanced seam tracking systems.They allow automating the EB application in order to optimize the process costs and improve the quality of the re-sults in a reproducible manner.Basis for a high quality of the EB process is the condition of the tool,the electron beam itself.By in-troducing the beam parameter product to the electron beam,reliable information about the quality of the beam can be derived.Im-plemented into automatic beam alignment systems repeatable results with high quality are achieved. 展开更多
关键词 electron beam control system FAST beam deflection MULTI-beam TECHNOLOGY multi-focus TECHNOLOGY electron-optical monitoring SEAM tracking systems beam parameter product beam quality automatic beam alignment
原文传递
基于Helmholtz线圈的电子束高速扫描系统设计 被引量:3
11
作者 张伟 蒋布辉 +2 位作者 陈晓 栗琪凯 孔令其 《电焊机》 2021年第6期7-12,I0003,共7页
针对国内电子束偏转扫描线圈的磁感应强度较低、均匀性较差,扫描速度较慢等不足,基于Helmholtz线圈的工作原理,采用空心结构设计了电子束偏转扫描线圈;提出一种双逆推主电路拓扑结构,使扫描线圈的驱动电压增加一倍,从而提高了扫描线圈... 针对国内电子束偏转扫描线圈的磁感应强度较低、均匀性较差,扫描速度较慢等不足,基于Helmholtz线圈的工作原理,采用空心结构设计了电子束偏转扫描线圈;提出一种双逆推主电路拓扑结构,使扫描线圈的驱动电压增加一倍,从而提高了扫描线圈驱动电流的变化速度;采用电流霍尔传感器和PID调节电路设计了驱动电流闭环控制电路,并利用Labview软件开发了电子束高速扫描控制程序。结果表明:该电子束高速扫描系统扫描线圈的磁感应强度和均匀性能够满足大角度电子束偏转扫描要求,并有效提高驱动电流的变化速率,可以实现电子束高速扫描。 展开更多
关键词 电子束 高速扫描 偏转线圈 驱动电路
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高能电子束电磁透镜的研究进展 被引量:2
12
作者 唐腾飞 刘海浪 +4 位作者 岳高 唐杰 宁蔚 刘坤明 骆玉城 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期719-725,共7页
在电子束加工设备中,聚焦系统和偏转系统是决定电子枪性能的关键因素。介绍了电子束聚焦、偏转技术的原理和特点,归纳整理了电磁透镜结构的优化结果、电子束聚焦规律以及减小束斑像差控制等方面所取得的研究进展。分析了目前电磁透镜控... 在电子束加工设备中,聚焦系统和偏转系统是决定电子枪性能的关键因素。介绍了电子束聚焦、偏转技术的原理和特点,归纳整理了电磁透镜结构的优化结果、电子束聚焦规律以及减小束斑像差控制等方面所取得的研究进展。分析了目前电磁透镜控制电子束加工中存在的不足,并对未来电子枪发展趋势做出了展望。 展开更多
关键词 电子束 聚焦系统 偏转系统 电磁透镜 束斑像差
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双坩埚大功率磁偏转电子束蒸发枪的研制 被引量:3
13
作者 缪鹏 严亚平 《微细加工技术》 1994年第2期77-80,共4页
由于硅材料的熔点较高(1420℃),难以用传统的电阻加热方式来蒸发硅材料,为产生高纯硅分子束流,特设计出这种能适应于超高真空环境的大功率电子枪,该枪对其它高熔点材料(钨、钼、钽等)同样具有良好的蒸发性能。本文对这种电... 由于硅材料的熔点较高(1420℃),难以用传统的电阻加热方式来蒸发硅材料,为产生高纯硅分子束流,特设计出这种能适应于超高真空环境的大功率电子枪,该枪对其它高熔点材料(钨、钼、钽等)同样具有良好的蒸发性能。本文对这种电子枪的原理及性能作一简单的介绍。 展开更多
关键词 电子束蒸发 磁偏转 电子枪
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多相绕组电子束偏转扫描装置仿真分析 被引量:3
14
作者 薛展仁 韦寿祺 李曌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期465-470,共6页
为了提高带电粒子束通道内磁感应强度均匀度,分析了磁偏转扫描装置的线圈匝数密度分布对磁场的影响,表明扫描绕组的匝数密度沿横截面圆周按正弦规律分布,那么横截面内磁感应强度呈均匀分布。工程实际中绕组分布不可能严格按照正弦分布,... 为了提高带电粒子束通道内磁感应强度均匀度,分析了磁偏转扫描装置的线圈匝数密度分布对磁场的影响,表明扫描绕组的匝数密度沿横截面圆周按正弦规律分布,那么横截面内磁感应强度呈均匀分布。工程实际中绕组分布不可能严格按照正弦分布,为弱化绕组量化分布效应,从而提出了采用大于两相的多相绕组结构,建立了几何模型和有限元模型,并利用Maxwell软件对不同绕组相数的磁偏转扫描装置进行电磁场仿真,并制作实物进行测量,测量结果与仿真结果基本一致,表明相数越多偏转扫描装置通道内的磁场强度均匀度越高。 展开更多
关键词 电子束 多相绕组 偏转扫描 模拟仿真
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基于电子束环状下束方式的研究 被引量:1
15
作者 李新凯 廖国富 +3 位作者 邹洋 辛喆 徐嘉宏 王冕 《热加工工艺》 北大核心 2022年第14期112-115,120,共5页
电子束表面改性是一种以高能电子轰击金属材料表面使其快速熔化的新型材料表面改性处理技术。通过对电子在偏转磁场中的数学建模,确定偏转线圈缠绕匝数、管颈外直径、磁路长度等关键参数,实现对电子束束流偏转角度及频率的控制,并定量... 电子束表面改性是一种以高能电子轰击金属材料表面使其快速熔化的新型材料表面改性处理技术。通过对电子在偏转磁场中的数学建模,确定偏转线圈缠绕匝数、管颈外直径、磁路长度等关键参数,实现对电子束束流偏转角度及频率的控制,并定量分析了环状下束方式下电子束扫描频率对45钢表面温度场的和形貌的影响规律。结果表明:环状下束方式可实现大面域电子束表面改性,且能量密度分布均匀,高频率电子束作用下的表层温度较高,移动方向前端束斑温度较高且熔融金属出现聚集。经电子束扫描处理后的试样表面铣削划痕完全消失,表面粗糙度降至0.487μm。 展开更多
关键词 电子束 环状 偏转线圈 粗糙度 扫描频率
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电子束高频偏转扫描电路基础研究 被引量:2
16
作者 许海鹰 左从进 付鹏飞 《焊接》 北大核心 2013年第8期26-29,70,共4页
设计了能实现阶梯波电流电子束高频偏转扫描电路,分析了电路的拓扑结构、驱动电路工作原理、基于DSP的控制系统。检测了电路输出的驱动波形、电流波形。试验结果表明:该电路能够输出多种驱动波形,均达到了高频,电流变化率小的正弦波驱... 设计了能实现阶梯波电流电子束高频偏转扫描电路,分析了电路的拓扑结构、驱动电路工作原理、基于DSP的控制系统。检测了电路输出的驱动波形、电流波形。试验结果表明:该电路能够输出多种驱动波形,均达到了高频,电流变化率小的正弦波驱动波形能够达到200 kHz;阶梯波电流由于需要较快的电流变化,工作频率在1 kHz以下保持了与扫描波形一致的波形输出;提高线圈的工作电压,有利于在高频状态下实现大的电流变化率。 展开更多
关键词 电子束 高频 偏转扫描
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单线横涡式电子束聚焦线圈聚点束斑试验研究 被引量:1
17
作者 蔡树立 张向东 +2 位作者 张建飞 陈磊豪 莫力林 《装备制造技术》 2019年第5期64-67,共4页
为了寻找电子束熔粉设备的单线横涡式线圈在不同高度上电子束聚焦电流和束斑直径的标定,结合观察法和铜膜截束法获得了聚焦电流与聚焦距离关系。使用动态偏转扫描的方法在不同的聚焦距离处使用0.2mm厚的紫铜带截采电子束,最后拟合分析... 为了寻找电子束熔粉设备的单线横涡式线圈在不同高度上电子束聚焦电流和束斑直径的标定,结合观察法和铜膜截束法获得了聚焦电流与聚焦距离关系。使用动态偏转扫描的方法在不同的聚焦距离处使用0.2mm厚的紫铜带截采电子束,最后拟合分析了获得的不同距离下的聚焦电流。结果发现,肉眼观察到的聚焦状态下的束斑并非最佳的聚焦状态;拟合发现随着聚焦距离的变小聚焦电流以幂函数的形式增长。对比不同聚焦距离下的最小束斑大小发现,随着聚焦距离的变小聚焦电流下的束斑直径也变小,但是束斑圆度变差,为本文提出的方法对选区熔粉成形工作距离的选择提供了指导性的依据。 展开更多
关键词 电子束 熔粉成形 聚焦电流 偏转扫描 增材制造
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用电子束电磁偏转原理测电阻值的研究 被引量:1
18
作者 袁晓梅 郑晓慧 展建超 《大学物理》 北大核心 2014年第5期22-25,共4页
传统的伏安法测电阻实验中无论采取电流表内接法还是外接法,都会由于电表内阻的存在,使得测量结果产生误差.本文尝试用电子束测试仪取代实验中的电压表位置实现完全断路,并设计实验步骤对电阻值进行测量,经过数据的比对,发现测量结果的... 传统的伏安法测电阻实验中无论采取电流表内接法还是外接法,都会由于电表内阻的存在,使得测量结果产生误差.本文尝试用电子束测试仪取代实验中的电压表位置实现完全断路,并设计实验步骤对电阻值进行测量,经过数据的比对,发现测量结果的相对误差较小,从而实现借助力学量来测电学量. 展开更多
关键词 电阻 电子束 电磁偏转
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电子束熔丝增材随行退火系统及均匀面热源扫描
19
作者 蒋布辉 张伟 +2 位作者 陈晓 栗琪凯 孔令其 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第4期115-120,共6页
在电子束熔丝沉积增材制造过程中,采用电子束对零件成形区域进行扫描并控制热输入,可以改善零件的温度分布,实现随行退火,达到减小应力和控制变形的目的。采用工控机、波形发生卡、扫描线圈及其驱动电路,以及动态聚焦线圈及其驱动电路... 在电子束熔丝沉积增材制造过程中,采用电子束对零件成形区域进行扫描并控制热输入,可以改善零件的温度分布,实现随行退火,达到减小应力和控制变形的目的。采用工控机、波形发生卡、扫描线圈及其驱动电路,以及动态聚焦线圈及其驱动电路搭建了电子束高速扫描系统,实现了电子束高速扫描及动态聚焦等功能。基于LabVIEW开发了随行退火扫描控制系统,提出了基于像素点阵定位和动态聚集的控制方法,实现了电子束扫描的精确定位和热输入控制;研究了不同扫描路径对面热源温度均匀性的影响,并采用多点同步测温电路对扫描区域的温度进行了测量。试验结果表明,该电子束随行退火系统可以实现扫描位置和热输入的精确控制,通过扫描路径优化显著提高了面热源温度分布的均匀性。 展开更多
关键词 电子束 熔丝增材 偏转扫描 随行退火 面热源
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电子束运动轨迹偏转控制技术研究 被引量:1
20
作者 张永和 王世伟 何俊 《航天制造技术》 2014年第4期67-69,72,共4页
对工件特定位置进行加工处理时,电子束直线运动存在可达性差或不可达的限制,利用带电粒子在磁场中受到洛伦兹力作用后运动方向发生改变的原理,采用自制的电磁偏转装置产生特定场强的磁场,对电子束的运动轨迹进行控制使其按照需要偏转一... 对工件特定位置进行加工处理时,电子束直线运动存在可达性差或不可达的限制,利用带电粒子在磁场中受到洛伦兹力作用后运动方向发生改变的原理,采用自制的电磁偏转装置产生特定场强的磁场,对电子束的运动轨迹进行控制使其按照需要偏转一定半径和角度,作用于工件的特定位置,突破局部位置电子束不可达的限制。研究结果显示,电子束圆形束斑偏转后会发生畸变演变为椭圆形束斑,对管件内壁进行多道搭接处理可以获得可控的过渡作用效果,满足使用要求。 展开更多
关键词 电子束 不可达性 轨迹控制 电磁偏转
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