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不同化学镀液中p-Si上激光诱导局部沉积铜 被引量:2
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作者 姜贵凤 郁祖湛 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期18-21,共4页
在化学镀铜浴液中,p-Si片在彼长为514.5nm的激光束的照射下,得到了选择性的铜镀层.采用AEs、SEM、RBS和电学技术对比了在3种含不同还原剂的镀液中得到的镀层的形貌、组成、界面扩散及电学性质;探讨了液相激光... 在化学镀铜浴液中,p-Si片在彼长为514.5nm的激光束的照射下,得到了选择性的铜镀层.采用AEs、SEM、RBS和电学技术对比了在3种含不同还原剂的镀液中得到的镀层的形貌、组成、界面扩散及电学性质;探讨了液相激光诱导化学沉积铜的机理. 展开更多
关键词 化学镀铜 激光诱导沉积 化学沉积 镀铜
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以氮化铝陶瓷为基板的倒装式封装工艺研究 被引量:1
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作者 胡向洋 汪荣昌 +3 位作者 顾志光 戎瑞芬 邵丙铣 宗祥福 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期29-32,共4页
详细比较了氮化铝的各种金属化工艺。分别研究化学镀镍与激光诱导淀积实现金属化的方法。测量表明,两种方法制备的金属层与氮化铝的粘附力均大于10MPa。同时对这两钟方法的特点与适用范围进行概述。
关键词 氮化铝 倒装式封装 陶瓷 基板
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涤纶织物上激光诱导沉积银粒子活化种用于化学镀铜的研究 被引量:7
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作者 宋春雨 延亚峰 +1 位作者 李晓强 葛明桥 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2015年第24期1400-1404,1449,共5页
用激光辐射预先经聚乙烯吡咯烷酮(PVP)–AgNO_3胶体溶液处理的涤纶织物,在涤纶织物表面制备出银纳米粒子,再以银纳米粒子为活化点成功地催化织物进行化学镀铜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对涤纶织... 用激光辐射预先经聚乙烯吡咯烷酮(PVP)–AgNO_3胶体溶液处理的涤纶织物,在涤纶织物表面制备出银纳米粒子,再以银纳米粒子为活化点成功地催化织物进行化学镀铜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对涤纶织物表面上银粒子的形态、结构和粒径分布进行了表征,探讨了PVP在激光诱导银粒子沉积过程中的保护作用。激光辐射能有效地将涤纶织物表面的Ag^+还原成金属Ag纳米粒子。在激光辐射过程中,PVP能保护银粒子并起到辅助还原作用。适宜的PVP与AgNO_3的质量比为2∶1。在银粒子的催化作用下,涤纶织物表面能够顺利进行化学镀铜而得到均匀分布的铜沉积层。 展开更多
关键词 化学镀铜 涤纶织物 聚乙烯吡咯烷酮 纳米银颗粒 激光诱导沉积 活化种
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以氮化铝陶瓷为基板的倒扣封装工艺研究 被引量:2
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作者 胡向洋 汪荣昌 +3 位作者 顾志光 戎瑞芬 邵丙铣 宗祥福 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期211-215,共5页
研究了以氮化铝为基板的倒扣封装的工艺。详细比较了氮化铝的各种金属化工艺。分别研究化学镀与激光诱导淀积实现金属化的方法。测量表明两种方法制备的金属层与氮化铝的粘附力均大于 10 MPa。
关键词 氮化铝 倒扣封装 化学镀 激光诱导淀积 陶瓷 基板
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