期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于电共轭液的人工肌肉及微手指研究
被引量：
3
1
作者
朱平
薛晨阳
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第2期100-105,117,共7页
总结了几种传统人工肌肉的工作原理、特点及其在机器人驱动中的应用现状,分析了面向机器人驱动的传统人工肌肉技术的不足。在描述电共轭液的性能特性基础上,指出基于电共轭液的人工肌肉及微手指不仅在电能到机械能的转化过程中表现出显...
总结了几种传统人工肌肉的工作原理、特点及其在机器人驱动中的应用现状,分析了面向机器人驱动的传统人工肌肉技术的不足。在描述电共轭液的性能特性基础上,指出基于电共轭液的人工肌肉及微手指不仅在电能到机械能的转化过程中表现出显著的能量转换效率和高灵敏度等性能优点,而且与天然肌肉的驱动原理极其相似,在智能化的机器人驱动方面更具发展潜力。在此基础上,回顾了基于电共轭液的人工肌肉和微手指的研究进展,提出材料研究、作用机理和驱动电压低压化是基于电共轭液的仿生器件研究亟需解决的问题,以及未来的发展趋势及应用前景。
展开更多
关键词
机器人技术
仿生
电共轭液
微手指
人工肌肉
下载PDF
职称材料
电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
被引量：
1
2
作者
王海波
张如照
+1 位作者
邹海龙
金俊完
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期151-154,共4页
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改...
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。
展开更多
关键词
微型泵
MEMS
电共轭流体
三角柱-缝隙电极对
下载PDF
职称材料
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
3
作者
王海波
张如照
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期1155-1160,共6页
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的...
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、UV-LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器,并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题,并借此来提高其输出能力的可行性。
展开更多
关键词
电共轭流体
射流发生器
旁路微流道
MEMS
对比试验
下载PDF
职称材料
题名
基于电共轭液的人工肌肉及微手指研究
被引量：
3
1
作者
朱平
薛晨阳
机构
中北大学微米纳米技术研究中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第2期100-105,117,共7页
基金
山西省自然科学基金资助项目(2012011010-2)
文摘
总结了几种传统人工肌肉的工作原理、特点及其在机器人驱动中的应用现状,分析了面向机器人驱动的传统人工肌肉技术的不足。在描述电共轭液的性能特性基础上,指出基于电共轭液的人工肌肉及微手指不仅在电能到机械能的转化过程中表现出显著的能量转换效率和高灵敏度等性能优点,而且与天然肌肉的驱动原理极其相似,在智能化的机器人驱动方面更具发展潜力。在此基础上,回顾了基于电共轭液的人工肌肉和微手指的研究进展,提出材料研究、作用机理和驱动电压低压化是基于电共轭液的仿生器件研究亟需解决的问题,以及未来的发展趋势及应用前景。
关键词
机器人技术
仿生
电共轭液
微手指
人工肌肉
Keywords
robot
technology
bionic
electro
-
conjugate
fluid
micro-finger
artificial
muscle
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
被引量：
1
2
作者
王海波
张如照
邹海龙
金俊完
机构
西南交通大学机械工程学院
东京工业大学精密工学研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期151-154,共4页
基金
supported by National Natural Science Foundation of China(51205329)
文摘
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。
关键词
微型泵
MEMS
电共轭流体
三角柱-缝隙电极对
Keywords
micropump
MEMS
electro
-
conjugate
fluid
triangular
prism
slit
electro
de
pair
分类号
TH-39 [机械工程]
TH38
下载PDF
职称材料
题名
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
3
作者
王海波
张如照
机构
西南交通大学机械工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期1155-1160,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51205329)资助
文摘
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、UV-LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器,并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题,并借此来提高其输出能力的可行性。
关键词
电共轭流体
射流发生器
旁路微流道
MEMS
对比试验
Keywords
electro
-
conjugate
fluid
jet
generator
structural
optimization
MEMS
experiments
分类号
TH38 [机械工程—机械制造及自动化]
TK05 [动力工程及工程热物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于电共轭液的人工肌肉及微手指研究
朱平
薛晨阳
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
3
下载PDF
职称材料
2
电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
王海波
张如照
邹海龙
金俊完
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
3
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
王海波
张如照
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
