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半导体器件的温度测量 被引量：2
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作者 马志凌 郑学仁 《科学技术与工程》 2007年第8期1695-1700,1706,共7页
测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法。这些方法大概可以分为三类:电学方法、光学方法和物理接触方法。介绍了各种方法的物理基础,并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论。
关键词 电学测量方法 光学测量法 半导体 温度
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