期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究 被引量:3
1
作者 田梦雅 张卫平 +2 位作者 谷留涛 刘朝阳 薛冰 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第1期54-58,共5页
由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中,不可避免地会引入馈通信号,而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性,不能有效地消除馈通信号。针对此问题,提出了一种基于反相信号的馈通取消方案,通过在驱动... 由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中,不可避免地会引入馈通信号,而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性,不能有效地消除馈通信号。针对此问题,提出了一种基于反相信号的馈通取消方案,通过在驱动和检测电极之间施加与馈通信号反相的信号,从而抵消馈通效应带来的干扰,该方法理论上可以在不降低驱动力的情况下将馈通信号完全取消。实验结果表明,该方法能有效消除馈通信号对电容检测的影响,谐振峰高度可提高约25倍。 展开更多
关键词 微多环陀螺仪 电容检测 馈通效应 电学模型 馈通取消
下载PDF
基于参数激励的MEMS环式陀螺驱动方法与实现 被引量:2
2
作者 钱磊 赵鹤鸣 +1 位作者 张晓峰 徐大诚 《计算机测量与控制》 2018年第11期293-296,302,共5页
MEMS环式陀螺仪是一种基于哥氏力效应设计出的测量角速度的惯性传感器,其性能与驱动模态直接相关;因此,在传统PLL-AGC驱动控制方法中引入参数激励信号,按照参数激励法驱动陀螺仪,陀螺仪的刚度产生周期性变化,降低驱动信号从而抑制因电... MEMS环式陀螺仪是一种基于哥氏力效应设计出的测量角速度的惯性传感器,其性能与驱动模态直接相关;因此,在传统PLL-AGC驱动控制方法中引入参数激励信号,按照参数激励法驱动陀螺仪,陀螺仪的刚度产生周期性变化,降低驱动信号从而抑制因电馈通导致的驱动端对敏感端产生的误差信号,提高陀螺仪灵敏度;对参数激励的效果进行研究,经实验表明,通过改变参数激励信号的参数,可在驱动响应稳定的前提下对驱动信号进行抑制,在实际测试中驱动信号的幅值下降22.75%。 展开更多
关键词 MEMS环式陀螺 驱动方法 参数激励 电馈通
下载PDF
基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法 被引量:2
3
作者 赵鹤鸣 郑奋 +2 位作者 程梦梦 徐大诚 郭述文 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期817-821,829,共6页
由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐... 由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐振频率激励信号,即参数激励信号。将此信号与驱动激励信号一同对驱动激励电极进行激励,达到了降低刚度系数来减小驱动对敏感电馈通干扰的目的。实验结果表明,参数激励法对陀螺仪进行激励,将陀螺仪敏感输出信号幅度从141.25 m V降至38.75 m V,Allan方差零偏不稳定性从6.864 (°)/h降至4.316 (°)/h。表明了参数激励法对陀螺仪性能具有一定的提升作用。 展开更多
关键词 硅微陀螺仪 参数激励法 刚度系数 电馈通干扰
下载PDF
基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法 被引量:1
4
作者 张晓峰 赵鹤鸣 +1 位作者 钱磊 徐大诚 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期20-22,共3页
针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位)... 针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位),可以以可控的方式显著地减少电馈通。 展开更多
关键词 参数激励法 微机电系统(MEMS)陀螺 电馈通 参数放大
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部