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Experimental study on CCl_4/CH)4/O_2/N_2 oxidation
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作者 WANG Bo1,2,CHI Yong2,YAN JianHua2 & NI MingJiang2 1 College of Energy and Power Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China 2 State Key Laboratory of Clean Energy Utilization,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2010年第4期1016-1022,共7页
Oxidation within the system CCl4/CH4/O2/N2 is studied at atmospheric pressure in a tubular flow reactor to investigate the influence of reaction temperature and chlorine content on chlorinated waste combustion and fin... Oxidation within the system CCl4/CH4/O2/N2 is studied at atmospheric pressure in a tubular flow reactor to investigate the influence of reaction temperature and chlorine content on chlorinated waste combustion and find incineration process optimization methods for pollution control.The reaction temperature varies from 700℃ to 1000℃ and the CCl4/CH4(or Cl/H) mole ratio of the inlet mixture varies from 0.21 to 0.84.Products profiles are measured with FT-IR.It is shown that at the same initial CCl4 concentration and reaction temperature adding CH4 favors CCl4 destruction and CO2 formation.But the destruction and removal efficiency(DRE) of CH4 decreases with lower Cl/H and higher concentrations of toxic products of incomplete combustion such as COCl2 and CH3Cl are formed at the same time.The chlorine in the system favors CH4 decomposition,but it also inhibits further oxidation of CO.Higher temperature assists in both CCl4 destruction and CH4 conversion,and the concentration of toxic combustion intermediates is reduced.Increasing the temperature is the most effective way to enhance CCl4 oxidation.The CO2 concentration increases with temperature.A CO concentration peak is observed around 800℃:with a certain Cl/H,the CO concentration first increases with temperature and then declines.The effect of increasing CH4 concentration on CCl4 destruction becomes mild above 900℃.Rather,it enhances the interaction between chlorine and carbonaceous radicals,which leads to higher concentration of toxic products. 展开更多
关键词 hazardous waste DESTRUCTION and removal efficiency(dre) OXIDATION carbon TETRACHLORIDE chlorinated compounds METHANE
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温室气体SF_(6)和CF_(4)的大气压微波等离子体降解技术 被引量:12
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作者 李寿哲 谢士辉 +1 位作者 吴悦 廖宏达 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期3012-3019,共8页
全氟化物气体(PFCs)中典型的温室气体SF_(6)和CF_(4)在环境中的排放从长远来看对大气温室效应的影响非常大。大气压微波等离子体炬的稳定放电状态提供了适合于气相化学反应的等离子体环境。为此利用大气压微波等离子体炬对SF_(6)和CF_(4... 全氟化物气体(PFCs)中典型的温室气体SF_(6)和CF_(4)在环境中的排放从长远来看对大气温室效应的影响非常大。大气压微波等离子体炬的稳定放电状态提供了适合于气相化学反应的等离子体环境。为此利用大气压微波等离子体炬对SF_(6)和CF_(4)的分解和转化进行了研究,考察了通过傅立叶红外吸收光谱(FTIR)定量测量的去除率(destruction and remove efficiency,DRE)随着微波功率、气体体积流量、混合体积分数、反应室的结构等外部控制参数的变化规律。实验表明:通过增加优化化学反应缓冲室的结构参数和设置合适的工作条件可以使两者的去除率接近100%。因此,利用大气压微波等离子体炬针对一些实际工况下SF_(6)和CF_(4)的排放是能够有效控制的,例如,基于大气压微波等离子体技术的车载移动式处理设备,对降解和处理电力工业排放的SF_(6)给出了一种解决方案;采用管线末端处理方式,大气压微波等离子体炬应用于降解半导体工业排放的CF_(4)等尾气是一种具有应用前景的技术。 展开更多
关键词 温室气体 大气压 微波等离子体 去除率(dre) 降解 全氟化物气体(PFCs)
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NH3对DBD降解SF6影响的试验研究 被引量:11
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作者 李亚龙 张晓星 +2 位作者 崔兆仑 肖焓艳 张国治 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第24期5262-5269,共8页
随着SF6在电力工业中的大量使用,气体绝缘设备产生的SF6废气急剧增加,未经处理的SF6废气会对环境产生严重影响,因此对SF6进行处理就显得尤为重要。本文基于介质阻挡放电(DBD)等离子体技术在NH3的协同作用下对SF6进行降解处理。研究表明:... 随着SF6在电力工业中的大量使用,气体绝缘设备产生的SF6废气急剧增加,未经处理的SF6废气会对环境产生严重影响,因此对SF6进行处理就显得尤为重要。本文基于介质阻挡放电(DBD)等离子体技术在NH3的协同作用下对SF6进行降解处理。研究表明:NH3能够促进SF6分解,提高SF6的降解率和降解效率。其中,NH3和SF6的体积分数比为1∶1时具有最好的协同促进作用,90W输入功率下可以使体积分数为2%的SF6在50mL/min的流速下降解率达到97.5%;同时NH3参与下也会使SF6分解更加彻底,析出固态S单质、[NH4]2SO4、NH4F和NH4HF2;气体产物主要有SiF4、SiH4、SO2F2、SO2、SOF4、SOF2、S2F10、SF4及氮氧化物(NOx)等。 展开更多
关键词 介质阻挡放电(DBD) NH3 SF6 降解率 降解产物
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一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法
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作者 熊艳玲 朱文心 +1 位作者 刘翔宇 姚佳人 《新技术新工艺》 2024年第7期38-45,共8页
在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)... 在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能。这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大。 展开更多
关键词 FTIR 尾气处理设备 分解移除效率 测试方法
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应注意垃圾焚烧产生的二嚙英污染 被引量:3
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作者 陈静 何祝英 徐衍美 《环境与开发》 1999年第3期38-39,共2页
在对二嚙英性质、危害和产生源简要阐述的基础上,分析了垃圾焚烧过程中产生的二嚙英。
关键词 二恶英 焚烧处理 破坏去除率 垃圾处理 污染控制
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