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利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应
被引量：
3
1
作者
雷威
尹涵春
《计算物理》
CSCD
北大核心
1997年第6期787-795,共9页
在电子束印刷（ｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、聚焦离子束（ｆｏｃｕｓｉｏｎｂｅａｍ）以及阴极射线管（ｃａｔｈｏｄｅｒａｙｔｕｂｅ）等电子及离子束器件中，束中各粒子之间存在相互作用，产生空间电荷效应...
在电子束印刷（ｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、聚焦离子束（ｆｏｃｕｓｉｏｎｂｅａｍ）以及阴极射线管（ｃａｔｈｏｄｅｒａｙｔｕｂｅ）等电子及离子束器件中，束中各粒子之间存在相互作用，产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到目前为止，通常采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法计算粒子输运过程中的离散的空间电荷效应。在此主要研究在束形成区利用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法计算空间电荷效应，并讨论在计算过程中出现的边缘效应，在此基础上提出一些新的处理方法以减小边缘效应，提高计算效率。
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关键词
边缘效应
粒子传输
蒙特卡洛法
空间电荷效应
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职称材料
题名
利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应
被引量：
3
1
作者
雷威
尹涵春
机构
东南大学电子工程系
出处
《计算物理》
CSCD
北大核心
1997年第6期787-795,共9页
文摘
在电子束印刷（ｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、聚焦离子束（ｆｏｃｕｓｉｏｎｂｅａｍ）以及阴极射线管（ｃａｔｈｏｄｅｒａｙｔｕｂｅ）等电子及离子束器件中，束中各粒子之间存在相互作用，产生空间电荷效应。人们对电子及离子束器件中的空间电荷效应已经做了大量的研究。到目前为止，通常采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法计算粒子输运过程中的离散的空间电荷效应。在此主要研究在束形成区利用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法计算空间电荷效应，并讨论在计算过程中出现的边缘效应，在此基础上提出一些新的处理方法以减小边缘效应，提高计算效率。
关键词
边缘效应
粒子传输
蒙特卡洛法
空间电荷效应
Keywords
Monte
Carlo
method
beam
form
region
edge
effect
effeciency
of
calculation
.
分类号
O46 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用Monte Carlo法计算粒子传输中的空间电荷效应
雷威
尹涵春
《计算物理》
CSCD
北大核心
1997
3
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