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TiO_(2)薄膜的相结构调控与表征 被引量：2
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作者 李祥 姚婷婷 +3 位作者 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期111-116,共6页
本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO;(001)衬底上生长了单晶锐钛矿和双相TiO_(2)薄膜,并利用X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征。单晶锐钛矿薄膜在LaAlO;(001)衬底上实现了外延生长,双相TiO_(2)薄膜以单晶锐钛矿Ti... 本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO;(001)衬底上生长了单晶锐钛矿和双相TiO_(2)薄膜,并利用X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征。单晶锐钛矿薄膜在LaAlO;(001)衬底上实现了外延生长,双相TiO_(2)薄膜以单晶锐钛矿TiO_(2)为基体,在其中夹杂着金红石TiO_(2)颗粒。TiO_(2)薄膜的相结构可通过调整靶材与衬底的间距来调控,远靶基距(150 mm)利于单晶锐钛矿薄膜生长,近靶基距(50 mm)易获得双相TiO_(2)薄膜。锐钛矿TiO_(2)电镜样品在离子减薄过程中易发生表面还原,导致电镜观察中出现莫尔条纹。研究表明30%H_(2)O_(2)浸泡可有效去除离子减薄样品表面的损伤层,防止莫尔条纹的出现。 展开更多
关键词 TiO_(2) 单晶薄膜 双相薄膜 莫尔条纹 脉冲激光沉积
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