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双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究
被引量：
2
1
作者
陈首部
韦世良
+1 位作者
何翔
孙奉娄
《中南民族大学学报（自然科学版）》
CAS
2012年第1期66-70,共5页
采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛(TiN)薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响.实验结果表明:所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距...
采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛(TiN)薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响.实验结果表明:所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距、晶格常数和微观硬度等都与基体温度密切相关.当基体温度为650～780℃时,TiN薄膜具有最小的晶粒尺寸(26.9 nm)和最大的显微硬度(2204 HV).
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关键词
双层辉光离子渗金属技术
氮化钛薄膜
微观结构
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职称材料
题名
双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究
被引量：
2
1
作者
陈首部
韦世良
何翔
孙奉娄
机构
中南民族大学电子信息工程学院
出处
《中南民族大学学报（自然科学版）》
CAS
2012年第1期66-70,共5页
基金
湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418)
中南民族大学学术团队基金资助项目(XTZ09003)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZZ11001)
文摘
采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛(TiN)薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响.实验结果表明:所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距、晶格常数和微观硬度等都与基体温度密切相关.当基体温度为650～780℃时,TiN薄膜具有最小的晶粒尺寸(26.9 nm)和最大的显微硬度(2204 HV).
关键词
双层辉光离子渗金属技术
氮化钛薄膜
微观结构
Keywords
double
-
glow
discharge
plasma
surface
alloying
technique
titanium
nitride
films
microstruture
分类号
TG156.8 [金属学及工艺—热处理]
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作者
出处
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被引量
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1
双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究
陈首部
韦世良
何翔
孙奉娄
《中南民族大学学报（自然科学版）》
CAS
2012
2
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