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Comparison of radiation degradation induced by x-ray and 3-MeV protons in 65-nm CMOS transistors
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作者 丁李利 Simone Gerardin +3 位作者 Marta Bagatin Dario Bisello Serena Mattiazzo Alessandro Paccagnella 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期468-473,共6页
The total ionizing dose(TID) response of 65-nm CMOS transistors is studied by 10-ke V x-ray and 3-Me V protons up to 1 Grad(SiO_2) total dose.The degradation levels induced by the two radiation sources are differe... The total ionizing dose(TID) response of 65-nm CMOS transistors is studied by 10-ke V x-ray and 3-Me V protons up to 1 Grad(SiO_2) total dose.The degradation levels induced by the two radiation sources are different to some extent.The main reason is the interface dose enhancement due to the thin gate oxide and the low energy photons.The holes' recombination also contributes to the difference.Compared to these two mechanisms,the influence of the dose rate is negligible. 展开更多
关键词 total ionizing dosetid effects grad dose x-ray and protons 65-nm CMOS transistors
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Influence of characteristics' measurement sequence on total ionizing dose effect in PDSOI nMOSFET
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作者 Xin Xie Da-Wei Bi +4 位作者 Zhi-Yuan Hu Hui-Long Zhu Meng-Ying Zhang Zheng-Xuan Zhang Shi-Chang Zou 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期551-558,共8页
The influence of characteristics’ measurement sequence on total ionizing dose effect in partially-depleted SOI nMOSFET is comprehensively studied. We find that measuring the front-gate curves has no influence on tota... The influence of characteristics’ measurement sequence on total ionizing dose effect in partially-depleted SOI nMOSFET is comprehensively studied. We find that measuring the front-gate curves has no influence on total ionizing dose effect.However, the back-gate curves’ measurement has a great influence on total ionizing dose effect due to high electric field in the buried oxide during measuring. In this paper, we analyze their mechanisms and we find that there are three kinds of electrons tunneling mechanisms at the bottom corner of the shallow trench isolation and in the buried oxide during the backgate curves’ measurement, which are: Fowler–Nordheim tunneling, trap-assisted tunneling, and charge-assisted tunneling.The tunneling electrons neutralize the radiation-induced positive trapped charges, which weakens the total ionizing dose effect. As the total ionizing dose level increases, the charge-assisted tunneling is enhanced by the radiation-induced positive trapped charges. Hence, the influence of the back-gate curves’ measurement is enhanced as the total ionizing dose level increases. Different irradiation biases are compared with each other. An appropriate measurement sequence and voltage bias are proposed to eliminate the influence of measurement. 展开更多
关键词 total ionizing dose(tid) silicon-on-insulator(SOI) measurement sequence tunneling effect
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Synergistic effect of total ionizing dose on single-event gate rupture in SiC power MOSFETs
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作者 曹荣幸 汪柯佳 +9 位作者 孟洋 李林欢 赵琳 韩丹 刘洋 郑澍 李红霞 蒋煜琪 曾祥华 薛玉雄 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期666-672,共7页
The synergistic effect of total ionizing dose(TID) and single event gate rupture(SEGR) in SiC power metal–oxide–semiconductor field effect transistors(MOSFETs) is investigated via simulation. The device is found to ... The synergistic effect of total ionizing dose(TID) and single event gate rupture(SEGR) in SiC power metal–oxide–semiconductor field effect transistors(MOSFETs) is investigated via simulation. The device is found to be more sensitive to SEGR with TID increasing, especially at higher temperature. The microscopic mechanism is revealed to be the increased trapped charges induced by TID and subsequent enhancement of electric field intensity inside the oxide layer. 展开更多
关键词 SiC power MOSFET total ionizing dose(tid) single event gate rupture(SEGR) synergistic effect TCAD simulation
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Total ionizing dose radiation effects on NMOS parasitic transistors in advanced bulk CMOS technology devices 被引量:4
4
作者 何宝平 王祖军 +1 位作者 盛江坤 黄绍艳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第12期45-50,共6页
In this paper, total ionizing dose effect of NMOS transistors in advanced CMOS technology are exam- ined. The radiation tests are performed at 60Co sources at the dose rate of 50 rad (Si)/s. The investigation's res... In this paper, total ionizing dose effect of NMOS transistors in advanced CMOS technology are exam- ined. The radiation tests are performed at 60Co sources at the dose rate of 50 rad (Si)/s. The investigation's results show that the radiation-induced charge buildup in the gate oxide can be ignored, and the field oxide isolation struc- ture is the main total dose problem. The total ionizing dose (TID) radiation effects of field oxide parasitic transistors are studied in detail. An analytical model of radiation defect charge induced by TID damage in field oxide is estab- lished. The I-V characteristics of the NMOS parasitic transistors at different doses are modeled by using a surface potential method. The modeling method is verified by the experimental I V characteristics of 180 nm commer- cial NMOS device induced by TID radiation at different doses. The model results are in good agreement with the radiation experimental results, which shows the analytical model can accurately predict the radiation response characteristics of advanced bulk CMOS technology device. 展开更多
关键词 total ionizing dose tid bulk CMOS shallow trench isolation (STI) oxide trapped charge interfacetraps
原文传递
体硅nFinFET总剂量效应三维TCAD仿真研究 被引量:4
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作者 黄云波 李博 +3 位作者 杨玲 郑中山 李彬鸿 罗家俊 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2018年第8期42-47,共6页
本文利用Sentaurus TCAD仿真软件对体硅鳍形场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应(TID)进行了详细的数值模拟研究.基于良好校准后的器件模型,仿真结果表明:高沟道阻挡层掺杂浓度,大鳍宽,锥形鳍截面形状的FinFET器件对总剂量效应有良好的抑... 本文利用Sentaurus TCAD仿真软件对体硅鳍形场效应晶体管(FinFET)的总剂量效应(TID)进行了详细的数值模拟研究.基于良好校准后的器件模型,仿真结果表明:高沟道阻挡层掺杂浓度,大鳍宽,锥形鳍截面形状的FinFET器件对总剂量效应有良好的抑制作用.进一步的Gamma总剂量辐射仿真展示了辐照过程中浅槽隔离(STI)氧化层中陷阱空穴的形成.最后,利用Sentaurus TCAD软件混合仿真模式对电路级别的总剂量响应进行了模拟分析,结果表明电路的性能和可靠性在总剂量辐照之后均受到了极大的影响. 展开更多
关键词 鳍形场效应晶体管 总剂量效应(tid) 浅槽隔离(STI) TCAD
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本征基区尺寸对双极器件总电离剂量辐射效应的影响
6
作者 葛超洋 杨强 +2 位作者 李燕妃 孙家林 谢儒彬 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第11期1036-1042,共7页
基于标准0.18μm BCD工艺,对双极器件总电离剂量(TID)辐射效应进行了研究,提出了一种提高双极器件抗总电离剂量辐射能力的方法。理论分析表明,在标准0.18μm BCD工艺中,双极器件总电离剂量辐射的敏感区域位于浅沟槽隔离结构下方、基极... 基于标准0.18μm BCD工艺,对双极器件总电离剂量(TID)辐射效应进行了研究,提出了一种提高双极器件抗总电离剂量辐射能力的方法。理论分析表明,在标准0.18μm BCD工艺中,双极器件总电离剂量辐射的敏感区域位于浅沟槽隔离结构下方、基极接触区和发射极边缘之间的本征基区。对不同本征基区尺寸的双极器件进行了总电离剂量辐射实验,研究了本征基区尺寸对双极器件电流增益随总电离剂量退化的影响。实验结果表明,在相同总电离剂量下,双极器件本征基区尺寸越小,增益衰减比例越小,辐射敏感性越低。将10 V纵向npn(VNPN)器件的本征基区尺寸由1.4μm减小至0.6μm,可将150 krad(Si)总电离剂量辐射后的归一化电流增益由0.6132增大到0.7081。因此,减小本征基区尺寸是一种有效的双极器件总电离剂量辐射加固技术。 展开更多
关键词 双极器件 总电离剂量(tid)辐射 本征基区 0.18μm BCD工艺
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SOI高压LDMOS器件氧化层抗总电离剂量辐射效应研究
7
作者 王永维 黄柯月 +4 位作者 王芳 温恒娟 陈浪涛 周锌 赵永瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期758-766,共9页
绝缘体上硅(SOI)高压横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件是高压集成电路的核心器件,对其进行了总电离剂量(TID)辐射效应研究。利用仿真软件研究了器件栅氧化层、场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷对电场和载流子分布的调制作用,栅氧化... 绝缘体上硅(SOI)高压横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件是高压集成电路的核心器件,对其进行了总电离剂量(TID)辐射效应研究。利用仿真软件研究了器件栅氧化层、场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷对电场和载流子分布的调制作用,栅氧化层辐射陷阱电荷主要作用于器件沟道区,而场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷则主要作用于器件漂移区;辐射陷阱电荷在器件内部感生出的镜像电荷改变了器件原有的电场和载流子分布,从而导致器件阈值电压、击穿电压和导通电阻等参数的退化。对80 V SOI高压LDMOS器件进行了总电离剂量辐射实验,结果表明在ON态和OFF态下随着辐射剂量的增加器件性能逐步衰退,当累积辐射剂量为200 krad(Si)时,器件的击穿电压大于80 V,阈值电压漂移为0.3 V,器件抗总电离剂量辐射能力大于200 krad(Si)。 展开更多
关键词 辐射电荷 总电离剂量(tid)辐射效应 绝缘体上硅(SOI) 横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS) 击穿电压 导通电流
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Trench型N-Channel MOSFET低剂量率效应研究
8
作者 徐海铭 唐新宇 +4 位作者 徐政 廖远宝 张庆东 谢儒彬 洪根深 《微电子学与计算机》 2024年第5期134-139,共6页
基于抗辐射100V Trench型N-Channel MOSFET开展了不同剂量率的总剂量辐射实验并进行了分析,创新性提出了器件随低剂量率累积以及不同偏置状态下的变化趋势和机理,给出了器件实验前后的转移曲线和直流参数,进行了二维数值仿真比较,证明... 基于抗辐射100V Trench型N-Channel MOSFET开展了不同剂量率的总剂量辐射实验并进行了分析,创新性提出了器件随低剂量率累积以及不同偏置状态下的变化趋势和机理,给出了器件实验前后的转移曲线和直流参数,进行了二维数值仿真比较,证明了实验和仿真的一致性。研究表明:随高剂量率的剂量增加,器件阈值电压(V_(TH))发生了明显负向漂移现象,导通电阻(R_(DSON))出现5%左右的降低,击穿电压(BV_(DS))保持基本不变;低剂量率下总剂量效应与高剂量率有明显不同,阈值电压漂移量减小,同时出现正向漂移现象;此时导通电阻(R_(DSON))和击穿电压(BV_(DS))较高剂量率变化量进一步下降。研究认为,低剂量率下器件界面缺陷电荷增加变多,使得阈值电压的漂移方向发生改变,同时低剂量率实验周期是高剂量率的500倍,退火效应也较高剂量率的明显,导致器件参数辐射前后差异性减小。 展开更多
关键词 槽型场效应管 总剂量电离效应 阈值漂移 低剂量率
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超深亚微米SOI总剂量效应泄漏电流模型 被引量:3
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作者 席善学 郑齐文 +5 位作者 崔江维 魏莹 姚帅 何承发 郭旗 陆妩 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2019年第6期1107-1111,共5页
总剂量辐射效应会导致绝缘体上硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SOIMOSFET)器件的阈值电压漂移、泄漏电流增大等退化特性。浅沟槽隔离(STI)漏电是器件退化的主要因素,会形成漏极到源极的寄生晶体管。针对130nm部分耗尽(PD)SOINMOSFET器... 总剂量辐射效应会导致绝缘体上硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SOIMOSFET)器件的阈值电压漂移、泄漏电流增大等退化特性。浅沟槽隔离(STI)漏电是器件退化的主要因素,会形成漏极到源极的寄生晶体管。针对130nm部分耗尽(PD)SOINMOSFET器件的总剂量辐射退化特性,建立了一个包含总剂量辐射效应的通用模拟电路仿真器(SPICE)模型。在BSIMSOI标准工艺集约模型的基础上,增加了STI寄生晶体管泄漏电流模型,并考虑了辐射陷阱电荷引起寄生晶体管的等效栅宽和栅氧厚度的变化。通过与不同漏压下、不同宽长比的器件退化特性的实验结果对比,该模型能够准确反映器件辐射前后的漏电流特性变化,为器件的抗辐射设计提供参考依据。 展开更多
关键词 总辐照剂量 绝缘体上硅 模型 浅沟槽隔离
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Total ionizing dose induced single transistor latchup in 130-nm PDSOI input/output NMOSFETs 被引量:1
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作者 樊双 胡志远 +5 位作者 张正选 宁冰旭 毕大炜 戴丽华 张梦映 张乐情 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期388-394,共7页
Total ionizing dose induced single transistor latchup effects for 130 nm partially depleted silicon-on-insulator (PDSOI) NMOSFETs with the bodies floating were studied in this work. The latchup phenomenon strongly c... Total ionizing dose induced single transistor latchup effects for 130 nm partially depleted silicon-on-insulator (PDSOI) NMOSFETs with the bodies floating were studied in this work. The latchup phenomenon strongly correlates with the bias configuration during irradiation. It is found that the high body doping concentration can make the devices less sensitive to the single transistor latchup effect, and the onset drain voltage at which latchup occurs can degrade as the total dose level rises. The mechanism of band-to-band tunneling (BBT) has been discussed. Two-dimensional simulations were conducted to evaluate the BBT effect. It is demonstrated that BBT combined with the positive trapped charge in the buried oxide (BOX) contributes a lot to the latchup effect. 展开更多
关键词 total ionizing dose tid single transistor latchup (STL) band-to-band tunneling (BBT) partiallydepleted silicon-on-insulator (PDSOI)
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nMOSFET低能X射线辐照特性研究 被引量:2
11
作者 恩云飞 罗宏伟 《电子产品可靠性与环境试验》 2005年第6期25-28,共4页
讨论了 MOSFET 的辐照损伤机理,通过低能(10keV)X 射线辐照试验,分析了不同 X 射线辐照总剂量、不同剂量率对 nMOSFET 单管的转移特性以及阈值电压的影响,结果表明 X 射线辐照对 nMOSFET 的阈值电压变化的影响与^(60)Co 辐照影响的规律... 讨论了 MOSFET 的辐照损伤机理,通过低能(10keV)X 射线辐照试验,分析了不同 X 射线辐照总剂量、不同剂量率对 nMOSFET 单管的转移特性以及阈值电压的影响,结果表明 X 射线辐照对 nMOSFET 的阈值电压变化的影响与^(60)Co 辐照影响的规律基本一致。 展开更多
关键词 低能X射线 总剂量 剂量率 转移特性 阈值电压
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一种抗辐射的低功耗14 bit 20MS/s流水线型ADC 被引量:1
12
作者 周晓丹 刘涛 +3 位作者 付东兵 李强 刘杰 郭刚 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第7期570-576,共7页
基于0.35μm CMOS工艺设计实现了一款抗辐射模数转换器(ADC)。通过分析每级流水线分辨率对整体性能和功耗的影响,确定了2 bit/级的流水线结构;同时,针对宇航应用环境,分析了主要的辐射机理,并对ADC进行了抗辐射加固设计。测试结果显示,... 基于0.35μm CMOS工艺设计实现了一款抗辐射模数转换器(ADC)。通过分析每级流水线分辨率对整体性能和功耗的影响,确定了2 bit/级的流水线结构;同时,针对宇航应用环境,分析了主要的辐射机理,并对ADC进行了抗辐射加固设计。测试结果显示,在2.5 V电源电压、20 MS/s转换速率以及奈奎斯特输入频率条件下,该ADC信噪比(SNR)达到69.9 dB,无杂散动态范围(SFDR)达到84.9 dBc,功耗为60.2 mW,面积为1.988 mm^(2)。在抗辐射性能方面,该ADC的抗稳态总剂量(TID)能力达到100 krad(Si),单粒子闩锁(SEL)阈值达到75 MeV·cm^(2)/mg,非常适用于轨道辐射环境中。 展开更多
关键词 模数转换器(ADC) 流水线 低功耗 总剂量(tid) 单粒子闩锁(SEL)
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星用功率MOSFET器件总剂量效应试验研究 被引量:2
13
作者 薛玉雄 曹洲 +2 位作者 郭祖佑 杨世宇 田恺 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期538-542,共5页
本文针对星用功率MOSFET器件JANTXV 2N7261和SR7262V,进行了钴-60γ射线辐照试验研究。在γ射线辐照过程中,采用JT?1型晶体管特性图示仪和计算机控制的摄像机,实时监测器件电参数随辐照剂量变化的特征,通过试验研究获得了被试器件阈值... 本文针对星用功率MOSFET器件JANTXV 2N7261和SR7262V,进行了钴-60γ射线辐照试验研究。在γ射线辐照过程中,采用JT?1型晶体管特性图示仪和计算机控制的摄像机,实时监测器件电参数随辐照剂量变化的特征,通过试验研究获得了被试器件阈值电压、漏电流和击穿电压随总剂量变化的特征照片和曲线,得出被试器件的抗总剂量水平。 展开更多
关键词 辐射效应 功率MOSFET器件 总剂量效应 Γ射线
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40nm NMOS器件沟道热载流子效应和电离总剂量效应关联分析 被引量:2
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作者 何宝平 马武英 +2 位作者 王祖军 姚志斌 缑石龙 《现代应用物理》 2022年第1期180-185,共6页
通过理论模拟和辐照试验,对40 nm NMOS器件在电离总剂量(total ionization dose,TID)效应和沟道热载流子(channel hot carrier,CHC)效应综合作用下二者的相关性进行了研究。研究结果表明,CHC效应和TID效应单独作用都会对纳米NMOS器件产... 通过理论模拟和辐照试验,对40 nm NMOS器件在电离总剂量(total ionization dose,TID)效应和沟道热载流子(channel hot carrier,CHC)效应综合作用下二者的相关性进行了研究。研究结果表明,CHC效应和TID效应单独作用都会对纳米NMOS器件产生影响,而在综合作用下是否相关依赖于二者的先后试验顺序。器件在先TID效应后CHC效应的综合作用下,损伤程度要大于CHC效应单独作用的结果,2种效应具有相关性;器件在先CHC效应后TID效应的综合作用下,损伤程度小于TID效应和CHC效应单独作用的结果,2种效应没有相关性。 展开更多
关键词 电离总剂量效应 沟道热载流子效应 浅槽隔离 超薄栅氧化层
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Push-Pull型pFLASH开关单元结构设计及特性
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作者 刘国柱 洪根深 +5 位作者 于宗光 赵文彬 曹利超 吴素贞 李燕妃 李冰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期652-658,663,共8页
基于90 nm eFLASH工艺设计并制备了一种新型抗辐照Push-Pull型pFLASH开关单元,并对其特性进行了研究。该结构由2个2T-FLASH管(T1/T2)和1个信号传输PMOS管(T3)组成,采用带带隧穿(BTBT)编程方式和福勒-诺德海姆(FN)擦除方式实现... 基于90 nm eFLASH工艺设计并制备了一种新型抗辐照Push-Pull型pFLASH开关单元,并对其特性进行了研究。该结构由2个2T-FLASH管(T1/T2)和1个信号传输PMOS管(T3)组成,采用带带隧穿(BTBT)编程方式和福勒-诺德海姆(FN)擦除方式实现其"开/关"态功能。同时,对其"开/关"态特性进行表征,研究其耐久性和电荷保持特性,最后,对其抗总剂量(TID)能力进行评估。实验结果表明:该器件的"T1编程-T2擦除"与"T1擦除-T2编程"态均可以实现信号传输管的"开/关"态功能,其阈值窗口的均值约为10.5 V;在工作电压为-1.2 V条件下,T3管的"开"态驱动电流均值约为0.92 mA,"关"态漏电流低于40 pA,且均表现出了良好的一致性。同时,该器件的循环擦/写次数可达10 000次,在25℃的"开/关"态应力条件下寿命大于10年,抗总剂量能力可达150 krad(Si)以上。 展开更多
关键词 Push-Pull型pFLASH开关单元 “开/关”态 阈值窗口 电荷保持性 总剂量(tid)
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Modeling operation amplifier based on VHDL-AMS for TID effect
16
作者 Jin-hui Liu Quan Wang +2 位作者 Ying Zhang Gang Liu Bo Wan 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2016年第2期64-72,共9页
A model of the operational amplifier based on VHDL-AMS is proposed. According to needs of simulating the total ionizing dose(TID) radiation effect, parameters of operational amplifier are taken into account when the p... A model of the operational amplifier based on VHDL-AMS is proposed. According to needs of simulating the total ionizing dose(TID) radiation effect, parameters of operational amplifier are taken into account when the performance is specified. The operational amplifier model used for the TID radiation effect simulation is completed after verifying each modeled parameter. And a parameter for describing the external environment is introduced to make the model combined with TID. Finally, an example is used to illustrate the TID effect on the operational amplifier of MC14573, proving the validity of the model. 展开更多
关键词 VHDL-AMS 运算放大器 总剂量效应 操作 建模 辐射效应 电离总剂量 tid
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金属氧化物半导体场效应晶体管中总剂量效应导致的阈值电压漂移研究现状
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作者 刘一宁 王任泽 +5 位作者 杨亚鹏 王宁 冯宗洋 贾林胜 张建岗 李国强 《辐射防护》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期663-670,共8页
为了研发可用于核与辐射应急响应与准备的机器人,对比了多种具有不同结构和生产工艺的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)由于总剂量效应(TID)导致的阈值电压漂移(ΔVth)。注意到了栅宽和栅长对器件耐辐射能力的影响在体CMOS器件和... 为了研发可用于核与辐射应急响应与准备的机器人,对比了多种具有不同结构和生产工艺的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)由于总剂量效应(TID)导致的阈值电压漂移(ΔVth)。注意到了栅宽和栅长对器件耐辐射能力的影响在体CMOS器件和纳米线(NW)MOSFET器件之间、高的和低的工艺节点之间的不同,并从辐射诱导的窄通道效应(RINCE)和辐射诱导的短通道效应(RISCE)两方面解释了这种区别的原因。发现近年来前沿的一些研究在考虑辐射效应时,修正了负偏压不稳定性(NBTI)的影响。并讨论了几种新型器件包括锗沟道、氮化镓沟道管和具有特殊几何布局的晶体管。此外,介绍了计算机辅助设计技术(TCAD)在几种新型场效应管的机理研究和建模验证中的应用。 展开更多
关键词 总剂量效应(tid) 阈值电压漂移 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET) TCAD
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基于Planar工艺的NAND辐射总剂量效应研究进展 被引量:1
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作者 曾庆锴 卢健 +2 位作者 李彩 张冬冬 张勇 《环境技术》 2019年第4期104-109,共6页
Flash存储器因其高存储容量、低功率以及非易失性等特点而被广泛应用于航天系统中。本文对NAND器件中各功能模块的辐射总剂量效应试验结果进行了分析和讨论。结论是浮栅结构是总剂量效应最为敏感的模块。
关键词 NAND 总剂量 浮栅
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H_(2)和H_(2)O对双极器件抗辐射性能的影响规律和机制 被引量:1
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作者 马武英 缑石龙 +4 位作者 郭红霞 姚志斌 何宝平 王祖军 盛江坤 《太赫兹科学与电子信息学报》 2022年第9期897-902,共6页
为了深入研究H_(2)和H_(2)O进入氧化层后对双极器件辐射效应的影响机制,以栅控双极晶体管为研究载体,分别开展了不同浓度H_(2)浸泡中的辐照试验和温湿度试验后的总剂量辐照试验。试验结果表明,随着氢气浸泡浓度的增加,器件的抗辐射能力... 为了深入研究H_(2)和H_(2)O进入氧化层后对双极器件辐射效应的影响机制,以栅控双极晶体管为研究载体,分别开展了不同浓度H_(2)浸泡中的辐照试验和温湿度试验后的总剂量辐照试验。试验结果表明,随着氢气浸泡浓度的增加,器件的抗辐射能力逐渐降低;而温湿度试验后,由于水汽的进入,器件在随后的辐照试验过程中辐射损伤呈增大趋势。在此基础上,利用栅控栅扫描法进行氧化层辐射感生缺陷的定量分离,发现H_(2)和H_(2)O进入器件氧化层后,均会造成辐射感生界面陷阱电荷Nit的增加,并在一定程度上降低辐射感生氧化物陷阱电荷Not的量,结合理论分析进一步给出了H_(2)和H_(2)O造成器件损伤增强的潜在机制。研究成果对于辐射环境用电子系统的抗辐射性能评价和应用具有参考意义。 展开更多
关键词 双极器件 电离总剂量 湿度 Γ射线
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基于FDSOI的TFET和MOSFET总剂量效应仿真
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作者 陈治西 刘强 +4 位作者 任青华 刘晨鹤 赵兰天 俞文杰 闵嘉华 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期464-470,487,共8页
对基于全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)的隧穿场效应晶体管(TFET)器件和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件进行了总剂量(TID)效应仿真,基于两种器件不同的工作原理,研究了总剂量效应对两种器件造成的电学影响,分析了辐照前后TFET和MOS... 对基于全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)的隧穿场效应晶体管(TFET)器件和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件进行了总剂量(TID)效应仿真,基于两种器件不同的工作原理,研究了总剂量效应对两种器件造成的电学影响,分析了辐照前后TFET和MOSFET的能带结构、载流子密度等关键因素的变化。仿真结果表明:两种器件在受到较大辐射剂量时(1 Mrad (Si)),TFET受辐射引起的固定电荷影响较小,仍能保持较好的开关特性、稳定的阈值电压;而MOSFET则受固定电荷的影响较大,出现了背部导电沟道,其关态电流增加了几个数量级,开关特性发生了严重退化,阈值电压也严重地向负电压偏移。此外,TFET的开态电流会随着辐照剂量的增加而减小,这与MOSFET的表现恰好相反。因此TFET比MOSFET有更好的抗总剂量效应能力。 展开更多
关键词 隧穿场效应晶体管(TFET) 总剂量(tid)效应 开关特性 能带结构 阈值电压
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