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高温静电除尘技术研究进展及应用前景 被引量:26
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作者 方梦祥 柳佳佳 +2 位作者 岑建孟 陈泉霖 夏芝香 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1108-1117,共10页
高温静电除尘技术能实现高温气体高效除尘,利于气体的显热、潜热及其中有用资源的有效利用。因而分析了温度、气氛、放电极形式及材料、粉尘特性对高温静电除尘的影响。分析结果表明:随着温度升高,放电电流增大,可操作电压区间减小,粉... 高温静电除尘技术能实现高温气体高效除尘,利于气体的显热、潜热及其中有用资源的有效利用。因而分析了温度、气氛、放电极形式及材料、粉尘特性对高温静电除尘的影响。分析结果表明:随着温度升高,放电电流增大,可操作电压区间减小,粉尘比电阻先增大后减小(最大值约为100~200℃),除尘效率有所下降;电负性气氛下除尘效果取决于离子迁移率,非电负性气体不吸附电子形成负离子从而影响粉尘荷电;不同放电极形式及材料有不同的适用情况,阴极的选择需综合考虑温度等多种因素;粉尘中碱金属、C、S等成分均会对除尘效果造成影响,在一定范围内除尘效率随粉尘浓度的增大而升高。此外,还介绍了高温静电除尘在制磷炉气净化、玻璃窑炉烟气净化及煤或生物质热解气化生成的高温气体净化中的应用。目前,高温静电除尘仍存在一些问题,还需进一步研究除尘过程的微观机理,开发适用于高温环境的新形式阴极或材料,探索复杂气氛下的放电及除尘特性,解决高温下除尘效率下降、绝缘子性能下降等问题。 展开更多
关键词 高温电除尘 温度 放电气氛 放电极 粉尘特性 气体净化
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建筑能量系统对都市热岛形成的影响 被引量:6
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作者 张伟捷 靳松 +1 位作者 孙建平 张永强 《河北建筑科技学院学报》 2002年第4期15-17,共3页
对都市热岛的形成机理、建筑物能量的使用情况做了概括分析 ,对建筑能量系统 ,尤其是建筑物中的暖通空调系统的使用与都市热岛的形成的关系 ,进行了初步的探讨。着重对五种常规空调系统的“一次能源”消耗量及夏季由此而产生的向都市大... 对都市热岛的形成机理、建筑物能量的使用情况做了概括分析 ,对建筑能量系统 ,尤其是建筑物中的暖通空调系统的使用与都市热岛的形成的关系 ,进行了初步的探讨。着重对五种常规空调系统的“一次能源”消耗量及夏季由此而产生的向都市大气环境的显热排放量、温室气体排放量等进行了对比统计分析 。 展开更多
关键词 建筑能耗 热岛 排放量 大气环境 温室气体
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Simulation of transition from Townsend mode to glow discharge mode in a helium dielectric barrier discharge at atmospheric pressure 被引量:1
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作者 李雪辰 牛东莹 +2 位作者 许龙飞 贾鹏英 常媛媛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第7期391-395,共5页
The dielectric barrier discharge characteristics in helium at atmospheric pressure are simulated based on a one- dimensional fluid model. Under some discharge conditions, the results show that one discharge pulse per ... The dielectric barrier discharge characteristics in helium at atmospheric pressure are simulated based on a one- dimensional fluid model. Under some discharge conditions, the results show that one discharge pulse per half voltage cycle usually appears when the amplitude of external voltage is low, while a glow-like discharge occurs at high voltage. For the one discharge pulse per half voltage cycle, the maximum of electron density appears near the anode at the beginning of the discharge, which corresponds to a Townsend discharge mode. The maxima of the electron density and the intensity of electric field appear in the vicinity of the cathode when the discharge current increases to some extent, which indicates the formation of a cathode-fall region. Therefore, the discharge has a transition from the Townsend mode to the glow discharge mode during one discharge pulse, which is consistent with previous experimental results. 展开更多
关键词 dielectric barrier discharge atmosphere pressure glow discharge discharge mode Townsend discharge
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电弧放电法制备碳纳米管研究进展 被引量:5
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作者 阮超 陈名海 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期11129-11136,共8页
碳纳米管作为一种一维纳米材料具有独一无二的力学、光学、电子、热稳定及化学稳定特性,主要被应用于锂离子电池电极材料、金属、树脂、塑料、橡胶的改性增强领域。但碳纳米管也存在缺点,尤其是其合成结构的不可控性,严重阻碍了它的进... 碳纳米管作为一种一维纳米材料具有独一无二的力学、光学、电子、热稳定及化学稳定特性,主要被应用于锂离子电池电极材料、金属、树脂、塑料、橡胶的改性增强领域。但碳纳米管也存在缺点,尤其是其合成结构的不可控性,严重阻碍了它的进一步应用。因此,探索出制备高品质大规模碳纳米管的生产技术迫在眉睫。目前,碳纳米管常用的合成方法有化学气相沉积、电弧放电和激光烧蚀,相比于其他两种方法,电弧放电法更为经济、高效。采用电弧法合成的碳纳米管纯度高达90%,石墨化程度远胜化学气相沉积法。同时,单次电弧实验时间在1~30 min之间,电源输出功率在750~3000 W之间,且单次碳纳米管产量高达15 g,复合石墨电极的转化率高于75%。根据引弧介质的不同,电弧法可分为真空电弧放电与溶液电弧放电。溶液中碳纳米管的产量很低,因此溶液电弧放电法未得到推广;目前真空介质的研究则非常成熟,真空电弧放电法具有合成设备简单、操作便捷、产物品质高等优势,但其生长机理存在较大争议。电弧法的影响参数主要包括电源类型、引弧气体类型与压力以及催化剂体系。其中,最为成熟的工艺是采用直流电源、氦气引弧、钇镍两相催化进行放电实验。本文归纳了电弧放电法制备碳纳米管的研究进展,分别介绍了电弧放电法生长碳纳米管的装置构造与反应机理、对电弧放电法产生影响的参数,分析了电弧放电法合成碳纳米管面临的难题以及可改善空间,以期为制备高品质、高石墨化程度、规模化的碳纳米管提供借鉴。 展开更多
关键词 电弧放电 碳纳米管 电源 气氛 气压 催化剂
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SWAT Modeling of Nitrogen Dynamics Considering Atmospheric Deposition and Nitrogen Fixation in a Watershed Scale 被引量:3
5
作者 Chung-Gil Jung Seong-Joon Kim 《Agricultural Sciences》 2017年第4期326-340,共15页
The Soil and Water Assessment Tool (SWAT) nitrogen (N) water quality model considers the artificial inputs associated with human activities, including point and nonpoint source pollution loads. Although SWAT has the a... The Soil and Water Assessment Tool (SWAT) nitrogen (N) water quality model considers the artificial inputs associated with human activities, including point and nonpoint source pollution loads. Although SWAT has the ability to simulate atmospheric N deposition and fixation, they were not considered in the modeling research. N deposition from the air is an important and considerable pathway for the input of N species into watersheds and water bodies, causing soil and water body acidification and the leaching of N into surface and groundwater, resulting in eutrophication and degraded water quality. The goal of this study is to assess the effects of atmospheric and agricultural N loads on stream water quality at the watershed scale. For a 6642 km2 Chungju dam watershed, SWAT was calibrated for 4 years (2003-2006) and validated for another 4 years (2007-2010) using daily anthropogenic N data (sewage discharge pollutants and fertilizer) and monthly measured atmospheric deposition data for NO3ˉ, NH4+, and dissolved organic N (DON). At the watershed outlet, the Nash-Sutcliffe (1970) efficiency (NSE) of daily streamflow during the validation period was 0.74. The coefficient of determination (R2) of total N was 0.69 considering atmospheric deposition, whereas it was 0.33 when removing the deposition effect. The results of this study demonstrate the potential for using the N dynamics between the atmosphere and land for SWAT assessments of nonpoint source pollution and for modeling stream water quality. 展开更多
关键词 SWAT ANTHROPOGENIC NITROGEN atmosphere Deposition Fixation FERTILIZER MANURE SEWAGE discharge NITROGEN
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荧光灯阴极中毒过程中的螺旋放电研究 被引量:3
6
作者 乔更新 龚建忠 +1 位作者 陈望雄 魏青 《中国照明电器》 2008年第8期1-3,10,共4页
本文从阴极中毒的角度全面地分析了荧光灯螺旋放电的发生机理。因在实验中首次发现了固汞的吸气与解析放气性能,从而全面揭示了引起这种异常放电的工艺技术缺陷。
关键词 螺旋放电 阴极中毒 气体吸附 临界压强 固汞释气
原文传递
射流等离子体放电气氛对木塑复合材料表面性质的影响 被引量:2
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作者 岳春坡 余志凌 +3 位作者 于千惠 王涛 王鹏搏 邸明伟 《生物质化学工程》 CAS 北大核心 2020年第5期8-14,共7页
利用空气、氮气、氧气3种不同气氛的射流等离子体放电对聚乙烯木塑复合材料(PE-WPC)表面进行处理以改善其胶接性能,其中空气、氮气、氧气气氛处理后的试样分别记为PE-WPC-A、PE-WPC-N和PE-WPC-O。通过对剪切强度、表面接触角、表面形貌... 利用空气、氮气、氧气3种不同气氛的射流等离子体放电对聚乙烯木塑复合材料(PE-WPC)表面进行处理以改善其胶接性能,其中空气、氮气、氧气气氛处理后的试样分别记为PE-WPC-A、PE-WPC-N和PE-WPC-O。通过对剪切强度、表面接触角、表面形貌、表面官能团以及表面元素含量的测试与表征,研究了不同气氛射流等离子体处理对PE-WPC表面物理化学性质的影响。研究结果表明:射流等离子体处理可以通过改变PE-WPC的表面性质,进而大幅度提高材料的胶接剪切强度,由未处理样品的0.62 MPa提高到处理后试样的11.32~13.79 MPa。对于胶接性能来说,不同气氛的射流等离子体处理效果差别不大;而对于处理后材料表面的微观结构,不同气氛射流等离子体的处理效果存在差别,氮气气氛处理以表面化学改性为主,在材料表面引入更多的含氮基团;氧气气氛处理以表面氧化刻蚀为主,在材料表面引入更多含氧基团;空气气氛处理则是以上2种作用的综合体现。 展开更多
关键词 聚乙烯木塑复合材料 表面处理 表面性质 射流等离子体放电 放电气氛
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低噪声气冷罗茨真空泵ZJQ600/400的研制 被引量:2
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作者 张宝夫 王于祥 +2 位作者 巫修海 柯建汝 王玲玲 《真空》 CAS 2013年第3期20-22,共3页
本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在Pro/engineer环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及两侧返冷气口的高压气体对基元容积内低压气体敞开冲击速度的扭叶转子,降低常用前级泵ZJQ600/400气冷罗... 本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在Pro/engineer环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及两侧返冷气口的高压气体对基元容积内低压气体敞开冲击速度的扭叶转子,降低常用前级泵ZJQ600/400气冷罗茨真空泵的主要噪声。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 直排大气 噪声 扭叶
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采用高温氮气氛直流电弧放电法制备大直径碳管 被引量:2
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作者 关磊 崔屾 +3 位作者 崔兰 王艳艳 陈小平 林奎 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第5期403-407,共5页
在高温氮气氛以及铁、钴、镍的氧化物混合催化剂作用下,采用直流电弧放电法制备了具有不同形貌特征的外径超过100 nm的大直径碳管(LDCTs).透射电子显微镜(TEM)表征结果表明,LDCTs的外径为90~160 nm,内径为70~150 nm,管壁厚度为9~24 nm.... 在高温氮气氛以及铁、钴、镍的氧化物混合催化剂作用下,采用直流电弧放电法制备了具有不同形貌特征的外径超过100 nm的大直径碳管(LDCTs).透射电子显微镜(TEM)表征结果表明,LDCTs的外径为90~160 nm,内径为70~150 nm,管壁厚度为9~24 nm.高分辨透射电子显微镜(HRTEM)表征结果表明,LDCT的管壁内层为石墨层结构(平均厚度约为4~7 nm),外层为无定形碳结构(平均厚度约为4 nm),管壁间的隔层亦为石墨层结构.能量色散X射线(EDX)谱图和选区电子衍射(SAED)表征结果表明,LDCTs中掺杂有氮和过渡金属元素.初步探讨了LDCTs的生长机理. 展开更多
关键词 大直径碳管 电弧放电 氮气氛 过渡金属催化剂
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常压均匀辉光放电等离子体的杀菌作用
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作者 钱维莹 陈健 《物理与工程》 2005年第1期38-41,44,共5页
讨论了常压均匀辉光放电等离子体的形成和杀菌机理,提出了等离子体杀菌技术,并 通过实例介绍了常压均匀辉光放电等离子体在空气过滤杀菌中的效果和实际使用价 值.
关键词 放电等离子体 杀菌作用 辉光 均匀 常压 杀菌机理 杀菌技术 使用价值 空气过滤
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Ar/N2/CH4 Glow Discharge at Low Pressures
11
作者 Leomar Salazar-Flores Horacio Martinez-Valencia +1 位作者 Alfonso Guerrero-Tapia Pedro Guillermo Reyes-Romero 《Journal of Physical Science and Application》 2012年第8期283-288,共6页
Ar/N2/CH4 glow discharge at low-pressure are studied in a closed system. The plasma was produced in 79.6% N2-15.4% Ar- 5.0% CH4 ternary mixture at pressures between 0.5 and 10.0 Torr. The diagnostic has been made by o... Ar/N2/CH4 glow discharge at low-pressure are studied in a closed system. The plasma was produced in 79.6% N2-15.4% Ar- 5.0% CH4 ternary mixture at pressures between 0.5 and 10.0 Torr. The diagnostic has been made by optical emission spectroscopy (OES). The principal species observed were: N2, N2+, CH+, CN, C2, C3, HI3, Ha, C+ and At. It presents the behaviour of the bands and lines intensities as a function of the pressure. Also, it displays the ratios of intensities of N+2 (391.44 nm), CN (392.08 nm), and H (486.13 nm) to that of the N2 (337.13 rim) as function of pressure. The ratios show a slow decreasing behavior as a function of the pressure. Being the CH/N2 ratio more highest and H/N2 ratio the lowest one. The variations of excited species at different pressures may change the subsequent chemical reactions in the gas phase significantly. The present results suggest that the ion-molecule and molecule-molecule reactions in the gas phase are likely to play a dominant role in the present pressures. 展开更多
关键词 Glow discharge optical emission spectroscopy low pressure discharge titan's atmosphere.
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Electrical Discharges in Planetary Atmospheres: Review and Selected Experiments
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作者 A. Robledo-Martinez 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2089-2094,共6页
Beyond Earth,electrical discharges have also been observed,or postulated to exist,on other bodies of the Solar System.In this work the state of the art of research on electrical discharges in the atmosphere of several... Beyond Earth,electrical discharges have also been observed,or postulated to exist,on other bodies of the Solar System.In this work the state of the art of research on electrical discharges in the atmosphere of several planets and one moon is reported.The main charging mechanisms as well as the discharge characteristics and its effect on the atmosphere are discussed.Some of the current research activities being carried out by the author’s team are also reported.The lab simulations can achieve realistic plasma parameters;for example:the arc temperature in the lab was found to be 33 000 K which compares favourably with field observations reporting temperatures~30 000K.The lab work with a synthetic Mars atmosphere allow us to predict that the conjunction of electrostatic discharges and the presence of water ice could lead to the production of methane with an efficiency of up to 1021molecules per joule of applied energy. 展开更多
关键词 实验室模拟 行星大气 放电特性 等离子体参数 实验室工作 状态报告 研究活动 观测报告
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微波放电研究大气中NO^+和H_3O^+(H_2O)_n离子的形成过程
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作者 程平 王鸿梅 +3 位作者 李建权 张为俊 曹德兆 储焰南 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期287-291,共5页
利用微波放电电离质谱装置,分别通过N_2与O_2、水蒸气与空气的微波放电,产生了大气中存在的NO^+和H_3O^+(H_2O)_n离子,动力学过程的分析和讨论表明这几种离子是由大气中的初始反应离子N_2^+、N^+、O_2^+、O^+与周围环境中的原子、分子... 利用微波放电电离质谱装置,分别通过N_2与O_2、水蒸气与空气的微波放电,产生了大气中存在的NO^+和H_3O^+(H_2O)_n离子,动力学过程的分析和讨论表明这几种离子是由大气中的初始反应离子N_2^+、N^+、O_2^+、O^+与周围环境中的原子、分子经过一系列的离子-分子反应产生的。这一结论也同时模拟了大气中NO^+和H_3O^+(H_2O)_n的形成过程。 展开更多
关键词 微波放电 大气 离子化学 NO^+ H3O^+(H2O)n离子
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气体渗碳排气过程浅析
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作者 潘一凡 王宝平 +1 位作者 赵茂程 於明亮 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2001年第3期30-32,共3页
根据温度、氧电势实测数据及化学平衡原理 ,对气体渗碳排气过程进行了分析讨论。认为排气阶段的主要作用是零件表面氧化物的还原及消耗降低炉内氧化性气氛的含量 ,而且升温速度对缩短排气时间有重要影响。
关键词 渗碳 排气 还原 气氛 氧电势
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高温热解煤气放电性能的影响因素
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作者 赵一飞 方梦祥 +2 位作者 史勇敏 夏芝香 岑建孟 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期2115-2124,共10页
为了提高电除尘器净化高温热解煤气时的除尘效率及稳定性,采用实验室高温放电系统研究电除尘器中温度、气氛、气体调质以及电源极性等因素对热解煤气放电性能的影响.研究结果表明:提高温度,热解煤气的放电电流上升,起晕电压、击穿电压下... 为了提高电除尘器净化高温热解煤气时的除尘效率及稳定性,采用实验室高温放电系统研究电除尘器中温度、气氛、气体调质以及电源极性等因素对热解煤气放电性能的影响.研究结果表明:提高温度,热解煤气的放电电流上升,起晕电压、击穿电压下降,不利于颗粒脱除.对于高温热解煤气,降低CH4的体积分数、提高H2、CO2的体积分数,使放电电流减小,起晕电压和击穿电压升高,更利于颗粒脱除.添加水蒸气,起晕电压升高,放电电流减小,电晕放电区间更宽,伏安特性曲线向右偏移,优化了放电性能.在高温下通过正极性电源施加电压,标准煤气及添加水蒸气调质后的热解煤气都具有较高的击穿电压及正电晕放电区域,性能优于负极性电源. 展开更多
关键词 高温热解煤气 放电 气氛 水蒸气 电源极性
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TREATMENT OF METALS, POLYMER FILMS, AND FABRICS WITHA ONE ATMOSPHERE UNIFORM GLOW DISCHARGE PLASMA(OAUGDP) FOR INCREASED SURFACE ENERGY AND DIRECTIONAL ETCHING 被引量:18
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作者 J. Reece Roth and Z. Y Chen (Plasma Sciences Laboratory, Department of Electrical and Computer Engineering, University of Tennessee, Knoxville, TN 37996-2100, USA) Peter P.- Y Tsai (Textiles and Nonwovens Development Center (TANDEC), University of Tenness 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第6期391-407,共17页
Direct exposure of samples to the active species of air generated by a One Atmosphere Uniform Glow Discharge Plasma (OAUGDP) has been used to etch and to increase the surface energy of metallic surfaces, photoresist, ... Direct exposure of samples to the active species of air generated by a One Atmosphere Uniform Glow Discharge Plasma (OAUGDP) has been used to etch and to increase the surface energy of metallic surfaces, photoresist, polymer films, and nonwoven fab- rics. The OAUGDP is a non-thermal plasma with the classical characteristics of a DC normal glow discharge that operates in air (and other gases) at atmospheric pres- sure. Neither a vacuum system nor batch processing is necessary. A wide range of applications to metals, photoresist, films, fabrics, and polymeric webs can be accom- modated by direct exposure of the workpiece to the plasma in parallel-plate reactors. This technolopy is simple, it produces effects that can be obtained in no other way at one atmosphere; it generates minimal pollutants or unwanted by-products; and it is suitable for individual sample or online treatment of metallic surfaces, wafers, films, and fabrics. Early exposures of solid materials to the OAUGDP required minutes to produce rela- tively small increases of surface energy. These durations appeared too long for com- mercial application to fast-moving webs. Recent improvements in OAUGDP gas com- position, power density, plasma quality, recireulating gas flow, and impedance match- ing of the power supply to the parallel plate plasma reactor have made it possible to raise the surface energy of a variety of polymeric webs (PP, PET PE etc.) to levels of 60 to 70 dynes/cm with one second of exposure. In air plasmas, the high surface ener- gies are not durable, and fall to 50 dynes/cm after periods of weeks to months. Here, we report the exposure of metallic surfaces, photoresist, polymeric films, and nonwo- ven fabrics made of PP and PET to an impedance matched parallel plate OAUGDP for durations ranging from one second to several tens of seconds. Data will be re- ported on the surface energy, wettability, wickability, and aging effect of polymeric films and fabrics as functions of time of exposure, and time after exposure; the rate and uniform 展开更多
关键词 atmosphere glow discharge plasma surface energy etching of material surface
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高真空直排大气干泵的最新进展 被引量:17
17
作者 刘坤 巴德纯 +3 位作者 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期21-25,共5页
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大... 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。 展开更多
关键词 干式真空泵 高真空 直排大气研究进展
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羟基自由基氧化降解对羟基苯甲酸的研究 被引量:13
18
作者 白敏冬 马彬 +3 位作者 邵秘华 程超 李嘉欣 成建国 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期2156-2161,共6页
为了研究大气压强电场放电产生的羟基自由基(?OH)对水中难降解的酚类有机物—对羟基苯甲酸(4-HBA)的氧化降解,同时研究羟基自由基对4-HBA去除率和投加过氧化氢(H2O2)的质量浓度及投加方式的影响,以浓度为1 000μmol/L的4-HBA水溶液作为... 为了研究大气压强电场放电产生的羟基自由基(?OH)对水中难降解的酚类有机物—对羟基苯甲酸(4-HBA)的氧化降解,同时研究羟基自由基对4-HBA去除率和投加过氧化氢(H2O2)的质量浓度及投加方式的影响,以浓度为1 000μmol/L的4-HBA水溶液作为研究水体,通过大气压强电场放电协同气液混溶装置对该溶液进行处理,并通过高效液相色谱来测定4-HBA的浓度。实验结果表明:在处理时间为1 s、总氧化剂(total radical oxidant,TRO)的质量浓度从10 mg/L升至30 mg/L的条件下,水体中4-HBA的浓度从525.72μmol/L降至180.89μmol/L;在投加H2O2的质量浓度为1 mg/L、2 mg/L、5 mg/L的条件下,水体中4-HBA的去除率从50.13%升高到64.15%,反应前投加H2O2时的4-HBA去除率比反应后投加H2O2时的4-HBA去除率高。因此,增加水中的TRO有助于4-HBA的降解,反应前投加一定量的H2O2有助于4-HBA的氧化降解。 展开更多
关键词 大气压强电场放电 高级氧化技术 羟基自由基 对羟基苯甲酸 3 4-二羟基苯甲酸 去除率
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一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构 被引量:5
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作者 刘坤 巴德纯 +3 位作者 张振厚 王光玉 常学森 杨乃恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期446-449,共4页
IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本... IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论:(1)改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;(2)转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 型线设计 啮合原理 直排大气 容积利用系数 啮合间隙分布
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大气压氩气条件低载气流量DBD放电特性 被引量:7
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作者 刘仕维 姜楠 +3 位作者 王世强 郭亚逢 李杰 吴彦 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1988-1995,共8页
为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电(DBD)的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影... 为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电(DBD)的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影响。实验结果表明:提高外加电压幅值和频率可以显著增强放电功率。提高电压幅值会产生更多的高能电子,提高放电频率可以改变高能电子的分布,使得高能量电子数密度升高,低能量电子数密度下降。气隙间距的减小可以明显提高放电均匀性。载气流量增大时,放电强度下降,但放电均匀性会得到提高。 展开更多
关键词 介质阻挡放电 等离子体 放电特性 大气压氩气 气体放电 低载气流量
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