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半导体激光器线性调频光纤位移测量仪的研究 被引量:11
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作者 田芊 李达成 章恩耀 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第9期668-670,共3页
半导体激光器线性调频光纤位移测量仪是将半导体激光器线性调频技术与光纤传感技术相结合制成的一种新型外差干涉仪,它结构简单,实用性强,位移测量范围为1mm;精度优于0.05μm。
关键词 半导体 激光器 光纤 位移 测量仪
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