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衬底温度对Ga液滴在Al0.4Ga0.6As表面形成纳米结构的影响 被引量：1
1
作者 黄延彬 马明明 +6 位作者 郭祥 王一 罗子江 汤佳伟 李志宏 张振东 丁召 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2020年第3期378-384,共7页
本文研究了不同衬底温度对Ga液滴在Al0.4Ga0.6As表面形成纳米结构的影响,当300℃≤T≤380℃时,Ga液滴演化成纳米孔(Nanohole)和盘状结构(diffusion halo),纳米结构的尺寸随温度升高而增大.当T≥385℃时,盘状结构消失,形成一定平坦的AlxG... 本文研究了不同衬底温度对Ga液滴在Al0.4Ga0.6As表面形成纳米结构的影响,当300℃≤T≤380℃时,Ga液滴演化成纳米孔(Nanohole)和盘状结构(diffusion halo),纳米结构的尺寸随温度升高而增大.当T≥385℃时,盘状结构消失,形成一定平坦的AlxGa1-xAs薄膜,Ga液滴在界面处继续向下刻蚀直至耗尽,形成平均直径为75 nm,平均孔深为5.52 nm的纳米孔.本文还通过盘状结构测出平均扩散长度△R,并拟合出Ga原子在Al0.4Ga0.6As表面的激活能EA=0.78(±0.01)eV和扩散前因子D0=0.15(×4.1±1)10-2 cm2s-1. 展开更多
关键词 液滴外延 纳米孔 盘状结构 Al0.4Ga0.6As 激活能
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Ga沉积量对形成AlGaAs表面纳米结构的影响
2
作者 黄延彬 丁召 +4 位作者 马明明 王一 罗子江 李志宏 郭祥 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第11期2018-2024,共7页
利用液滴外延技术在Al0. 4Ga0. 6As表面制备了纳米结构并用原子力显微镜进行表征,发现纳米结构的密度随金属Ga沉积量的增加呈先增加后减小再增加的趋势。这种密度异常变化的现象,主要是由于液滴之间相互扩散并最终形成连续的平坦层,随... 利用液滴外延技术在Al0. 4Ga0. 6As表面制备了纳米结构并用原子力显微镜进行表征,发现纳米结构的密度随金属Ga沉积量的增加呈先增加后减小再增加的趋势。这种密度异常变化的现象,主要是由于液滴之间相互扩散并最终形成连续的平坦层,随着沉积量的继续增加,新吸附的Ga原子在平坦层上面形成新的Ga液滴,从而导致了密度的降低。此外,纳米结构的孔深、孔径、环高和盘径几何特征尺寸随着沉积量的增加而增加,且在表面[1-10]和[110]两个方向上纳米结构中的量子环以及盘状结构的形貌特征呈现各向异性。 展开更多
关键词 液滴外延 Al Ga As 量子环 盘状结构 纳米孔
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