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采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜
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作者 张新宇 陈胜斌 +1 位作者 季安 谢长生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1625-1629,共5页
采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组... 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能. 展开更多
关键词 高性能衍射微透镜 衍射积分算法 单步光刻 湿法腐蚀工艺 DVD物镜
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