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题名晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅
被引量：5
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作者
金星
孔剑
王敬强
邢鹏飞
高波
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机构
东北大学材料科学与工程学院
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出处
《应用化学》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1364-1371,共8页
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基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)(51334004)项目资助~~
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文摘
以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响。结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si_2N_2O和Si_3N_4,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si_3N_4。氮化产物中Si_2N_2O的形成与切割废料中SiO_2的质量分数有关,降低原料中SiO_2的质量分数是切割废料经过高温氮化制得氮化硅的前提。
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关键词
金刚线切割废料
酸洗除杂
氮化硅
回收利用
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Keywords
diamond-wire cutting waste
acid leaching
silicon nitride
recycle
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分类号
O613.7
[理学—无机化学]
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题名金刚线切割硅片废料制备高模数硅酸钾的研究
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作者
张奶玲
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机构
长治医学院药学院
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出处
《广州化工》
CAS
2024年第8期173-175,193,共4页
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文摘
近年来,我国光伏能源飞速发展,对晶体硅片的需求量逐年大幅增加。但在生产太阳能硅片过程中,会产生大量的切割废料,有效地回收利用该废料已成为亟待解决的问题。本研究以金刚线切割硅片废料为原料,考察不同反应条件对制备4.8模数硅酸钾的影响。试验确定最佳的反应条件为:采用分批缓慢将前处理后的回收硅粉加入到预热好的碱液中反应的加料方式,控制反应温度为50~60℃,反应时间为4~5 h。区别于传统的硅酸钾生产方法,本方法在常压下,即可生产出模数高达4.8、稳定性良好的无色透明硅酸钾,为金刚线切割硅片废料的回收利用,提供了一个新的处理方法。
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关键词
高模数硅酸钾
硅酸钾
金刚线切割硅片废料
回收硅粉
回收利用技术
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Keywords
high modulus potassium silicate
potassium silicate
diamond wire silicon wafer cutting waste
recycling silicon powder
recycling technology
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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