-
题名轻小型空间遥感相机精密调焦机构设计与试验
被引量：7
- 1
-
-
作者
王凯
闫勇
徐明林
左玉弟
金光
陶淑苹
-
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
-
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第12期235-241,共7页
-
基金
吉林省自然科学基金(20170101164JC)
吉林省优秀青年人才基金(20180520193JH)
吉林省重点科技攻关项目(20170204049GX)
-
文摘
空间遥感相机在发射过程中及其在轨运行时,由于大气压力、温度、力学环境等的变化,导致焦面离焦。为了满足成像质量要求,相机在空间投入使用之前必须对偏离的焦面进行校正。针对轻小型空间相机的使用特性及要求,设计了一套调焦范围±3 mm的像面移动式调焦机构,质量仅为3.25 kg。利用蜗杆传动的自锁性,防止焦面组件在外力作用下发生窜动。选用微型精密级直线滚动导轨保证CMOS靶面的直线性精度。同时利用光电编码器(16位)实时反馈靶面的位置信息,以保证其定位精度。对调焦机构进行了理论分析、动力学分析及试验验证、精度测试及分析、焦面标定试验等。试验结果表明:调焦机构的一阶固有频率为182.7 Hz,可以有效地避免共振现象;CMOS靶面的直线性精度优于20″,定位精度优于±4.2μm,满足调焦精度要求;焦面标定试验验证了调焦机构设计的有效性,满足了空间遥感相机的成像质量要求。
-
关键词
空间相机
调焦机构
焦面离焦
动力学
精度分析
-
Keywords
space camera
focusing mechanism
deviation of focal plane
dynamics
precision analysis
-
分类号
TH12
[机械工程—机械设计及理论]
V443.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
-
-
题名紫外光刻物镜被动热补偿方法研究和消热差设计
- 2
-
-
作者
郭银章
-
机构
上海微电子装备(集团)股份有限公司
-
出处
《电子技术（上海）》
2020年第1期32-35,共4页
-
基金
上海市科技企业技术创新课题项目
-
文摘
为了降低紫外光刻投影物镜受环境温度稳定性引起的性能恶化(主要是焦面偏移等),借鉴空间红外光学的无热化的研究成果,并结合投影物镜的热特性和应用场景特点,提出优化改进后的紫外光刻物镜被动热补偿方法和步骤。主要思路为利用热折变(光学材料的温度折射率系数导致的热像差)的特异性,在镜头光路中热折变灵敏度高位置的透镜材料用较低或相反的折射率温度系数的材料替换,使镜头总的热折变抵消热变形(光学材料的线膨胀系数导致的热像差)甚至总的热像差,从而实现了紫外光刻物镜消热差设计。实例验证了该消热差方法应用在光刻物镜上,可降低90%左右的热像差影响,对于消除或降低热像差有非常好的效果,说明该方法能大幅提高投影物镜的环境温度适应能力,提升性能稳定性。
-
关键词
集成电路制造
光刻物镜
消热差
焦面偏移
热像差
-
Keywords
IC manufacturing
lithography projection object(PO)
athermalization
deviation of focal plane
thermal aberration
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
