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基于不完全匹配的掩膜版进行芯片套刻的校准方案
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作者 张文靖 张恺馨 +7 位作者 杨天溪 孙捷 严群 林畅 蒋冰鑫 李洋 兰金华 陈辉 《光电子技术》 CAS 2024年第2期116-120,共5页
提出一种校准方案,在套刻曝光一般步骤的基础上进行适当调整,用不完全匹配的掩膜版同样能够实现准确的套刻曝光。研究为提高芯片制备效率、保证对准精度提供了新思路。
关键词 光刻工艺 套刻曝光 校准 集成电路
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工频电流比例标准互校线路分析及5A/5A档位不确定度评定 被引量：6
2
作者 刘罡 刘晨 +2 位作者 尚莹 刘璐 王江波 《东北电力技术》 2017年第10期47-49,共3页
互校线路是工频电流比例标准装置的基础,文中对工频电流比例标准互校线路进行了分析和试验,对5A/5A档位的不确定度进行了评定,并对5A/5A档位的最佳估计值以及置信区间进行了判断,最佳估计值和置信区间对加法线路、β线路、乘法线路和除... 互校线路是工频电流比例标准装置的基础,文中对工频电流比例标准互校线路进行了分析和试验,对5A/5A档位的不确定度进行了评定,并对5A/5A档位的最佳估计值以及置信区间进行了判断,最佳估计值和置信区间对加法线路、β线路、乘法线路和除法线路提供了判断依据。 展开更多
关键词 互校线路 工频电流比例标准 不确定度 最佳估计值
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