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毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统
被引量：
13
1
作者
施玉书
张树
+4 位作者
连笑怡
李伟
李琪
黄鹭
高思田
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020年第7期769-774,共6页
准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度...
准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源。实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级。
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关键词
计量学
纳米几何特征尺寸
多自由度激光干涉系统
激光干涉仪修正
计量标准装置
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职称材料
题名
毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统
被引量：
13
1
作者
施玉书
张树
连笑怡
李伟
李琪
黄鹭
高思田
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020年第7期769-774,共6页
基金
国家重点研发计划(2018YFF0212302,2016YFF0200602)
中国计量科学研究院基本科研业务费项目(31-AKY1605)。
文摘
准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源。实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级。
关键词
计量学
纳米几何特征尺寸
多自由度激光干涉系统
激光干涉仪修正
计量标准装置
Keywords
metrology
nano-geometrical
characteristic
size
multi-DOF
laser
interferometry
system
correction
of
laser
interferometer
metrological
standard
device
分类号
TB921 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统
施玉书
张树
连笑怡
李伟
李琪
黄鹭
高思田
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020
13
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职称材料
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