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微机械微波/射频开关的制备和功能测量研究 被引量：6
1
作者 茅惠兵 忻佩胜 +1 位作者 胡梅丽 赖宗声 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期11-14,共4页
讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层。功能测试表明,该工艺制... 讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层。功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性。 展开更多
关键词 功能测量 微机械 微波/射频开关 悬臂梁 共平面波导 无线通信设备
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一种新型超宽频带魔T的优化与设计 被引量：1
2
作者 刘涓 吕善伟 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2004年第3期317-320,共4页
介绍了由槽线、共面波导和气桥构成的超宽频带共面魔T。采用有限元法在10GHz对魔T作优化分析计算;结合给出的新型槽线与标准同轴连接器之间的转换形式,最终得到实际魔T。测试和分析计算结果显示,这种共面魔T具备超宽频带特性;魔T在1GHz... 介绍了由槽线、共面波导和气桥构成的超宽频带共面魔T。采用有限元法在10GHz对魔T作优化分析计算;结合给出的新型槽线与标准同轴连接器之间的转换形式,最终得到实际魔T。测试和分析计算结果显示,这种共面魔T具备超宽频带特性;魔T在1GHz～11GHz(18GHz)频带内,匹配、耦合度及隔离度具有良好性能。 展开更多
关键词 共面波导 槽线 超宽频带 共面魔T
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共面波导馈电圆极化微带天线研究 被引量：1
3
作者 张前悦 王光明 任卫华 《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2007年第3期33-35,共3页
对一种结构新颖的共面波导馈电圆极化微带天线进行了研究。天线的辐射单元采用两个方形贴片,简并分离单元分别附加在两个方形贴片的不同边沿,共面波导开路终端通过耦合对两个方形贴片进行馈电。整个天线具有对称的结构,抑制了共面波导... 对一种结构新颖的共面波导馈电圆极化微带天线进行了研究。天线的辐射单元采用两个方形贴片,简并分离单元分别附加在两个方形贴片的不同边沿,共面波导开路终端通过耦合对两个方形贴片进行馈电。整个天线具有对称的结构,抑制了共面波导中的偶模分量,产生了两个同旋向的圆极化辐射波。分析并设计了这种天线单元,天线的实测-10 dB回波损耗带宽达到11.6%,圆极化带宽达到1.86%,在前、后两个方向上均辐射左旋圆极化(LHCP)波。理论设计结果与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 双定向天线 圆极化 共面波导
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