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凸二次曲面的工艺球面补偿检测
被引量：
1
1
作者
陈泽
胡明勇
+1 位作者
赵奇
范二荣
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期56-61,共6页
在非球面的检测中,工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性,本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据,推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件,并...
在非球面的检测中,工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性,本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据,推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件,并采用有限距离正面补偿检测的方法,对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定,所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测,而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度?PV=0.159 8λ优于λ/6(λ=632.8 nm),满足技术指标。
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关键词
光学检测
瑞利判据
凸二次曲面
像差理论
下载PDF
职称材料
题名
凸二次曲面的工艺球面补偿检测
被引量：
1
1
作者
陈泽
胡明勇
赵奇
范二荣
机构
中国科学院南京天文仪器研制中心
中国科学院大学
合肥工业大学光电技术研究院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期56-61,共6页
文摘
在非球面的检测中,工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性,本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据,推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件,并采用有限距离正面补偿检测的方法,对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定,所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测,而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度?PV=0.159 8λ优于λ/6(λ=632.8 nm),满足技术指标。
关键词
光学检测
瑞利判据
凸二次曲面
像差理论
Keywords
optical
test
Rayleigh
criterion
convex
quadric
surface
aberration
theory
分类号
O435.2 [机械工程—光学工程]
TN247 [理学—光学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
凸二次曲面的工艺球面补偿检测
陈泽
胡明勇
赵奇
范二荣
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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职称材料
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