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等离子体浸没离子注入(P)技术在现代材料表面改性中的应用及发展 被引量：11
1
作者 赵青 耿漫 《真空》 CAS 北大核心 2000年第1期40-43,共4页
本文综述了近几十年才研制发展的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术——等离子体浸没离子注入 (P ) ,待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CB )技术的主要特点 ,还具有需多独特的特点。... 本文综述了近几十年才研制发展的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术——等离子体浸没离子注入 (P ) ,待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CB )技术的主要特点 ,还具有需多独特的特点。将系统介绍该技术在现代材料表面改性中的各方面应用及发展。 展开更多
关键词 表面改性 材料性能 等离子体注入
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