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极紫外光学表面污染控制技术的研究进展 被引量:4
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作者 雷敏 李小平 苗怀坤 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期37-43,共7页
极紫外(EUV)光刻机中光学元件的污染和采用的污染控制策略是影响光刻机性能的重要因素,其中污染主要包括光学表面碳沉积和光学表面氧化,污染控制技术包括智能气体混合技术、保护层技术和污染物清洁技术。着重论述了上述两种主要污染形... 极紫外(EUV)光刻机中光学元件的污染和采用的污染控制策略是影响光刻机性能的重要因素,其中污染主要包括光学表面碳沉积和光学表面氧化,污染控制技术包括智能气体混合技术、保护层技术和污染物清洁技术。着重论述了上述两种主要污染形式和三种污染控制技术的研究进展,对EUV光刻机中污染研究的前景进行了展望,并指出其发展面临的挑战及有待解决的关键技术。 展开更多
关键词 光学制造 极紫外光刻 光学表面污染 污染控制 氧化 碳沉积
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关于天然气重整制备富氢还原气体过程中析碳问题的调控--H-C-O体系质量及化学平衡衡算图的应用例 被引量:1
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作者 沈峰满 章苇玲 +3 位作者 郑艾军 郑海燕 丁智敏 李季 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期9-16,共8页
采用天然气重整或焦炉煤气重整工艺制备富氢还原气体时,若操作参数控制不当将会出现碳的析出问题,影响制备富氢气体工序的稳定顺行,因此研究控制制备富氢还原气体过程中的析碳非常必要。应用“H-C-O体系质量及化学平衡衡算图”和化学平... 采用天然气重整或焦炉煤气重整工艺制备富氢还原气体时,若操作参数控制不当将会出现碳的析出问题,影响制备富氢气体工序的稳定顺行,因此研究控制制备富氢还原气体过程中的析碳非常必要。应用“H-C-O体系质量及化学平衡衡算图”和化学平衡原理,探讨了天然气重整或焦炉煤气重整工艺制备富氢还原气体过程中的“析碳”问题。在假设天然气重整或焦炉煤气重整体系处于临界析碳状态的前提下,确定了析碳曲线与还原气体n_(H_(2))/n_(CO)、重整温度和体系总压等因素的对应关系,从热力学角度给出了天然气重整或焦炉煤气重整制备富氢还原气体工艺中的临界析碳曲线、“析碳区”与“非析碳区”以及控制析碳且能满足直接还原铁要求的给定n_(H_(2))/n_(CO)值富氢还原气体制备时的重整温度与体系总压等工艺参数。结果表明,为了确保n_(H_(2))/n_(CO)和有效成分φ(H_(2))+φ(CO)合量同时满足直接还原气体组成要求,在体系总压P_(tot)=0.1 MPa条件下重整温度须高于800℃;随着体系总压的升高,CH4的转化率呈下降趋势;对于低n_(H_(2))/n_(CO)(=2),随着体系总压的升高析碳区域将增大;但对于n_(H_(2))/n_(CO)(=5),随着体系总压的升高析碳区域反而变小,这是因为当n_(H_(2))/n_(CO)较低时,碳的气化反应为主流反应,提高压力将增强析碳,而当n_(H_(2))/n_(CO)较高时,甲烷分解反应为主流反应,压力升高将妨碍甲烷分解,抑制了析碳的缘故;另外,体系总压过高将无法获得有效成分φ(H_(2))+φ(CO)合量满足直接还原铁工艺要求的还原气体。 展开更多
关键词 富氢直接还原铁 富氢还原气体 天然气重整或焦炉煤气重整 H-C-O体系质量及化学平衡衡算图 析碳控制 热力学分析
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柴油车自由加速法的质控方法分析 被引量:1
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作者 李景明 《广州环境科学》 2019年第1期5-10,共6页
本文根据柴油车的排放特点以及自由加速法的测试特点,分析了自由加速法排气检测过程存在的质控问题。结合自由加速法的测试流程,以保障检测质量为基础,分析了自由加速法的质控节点,并针对检测过程存在的质控问题提出了相应的质量控制措... 本文根据柴油车的排放特点以及自由加速法的测试特点,分析了自由加速法排气检测过程存在的质控问题。结合自由加速法的测试流程,以保障检测质量为基础,分析了自由加速法的质控节点,并针对检测过程存在的质控问题提出了相应的质量控制措施与办法,以有效保障柴油车自由加速法排气检测结果的准确、可靠,以进一步确保机动车排气监管工作的公正、有效开展。 展开更多
关键词 自由加速法 质量控制 积碳 吹拂
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关于H-C-O体系析碳状态分布图的开发与应用
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作者 沈峰满 丁智敏 +2 位作者 王硕 张严 郑海燕 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期122-129,共8页
针对冶金领域的富氢直接还原气体制备、竖炉直接还原过程、高炉煤气循环利用以及化工领域的天然气制氢等涉及CH_(4)-H_(2)-CO-H_(2)O-CO_(2)体系尤其是更具广泛代表性的H-C-O体系的析碳共性问题,建立一种便捷、快速、易操作、普适性强... 针对冶金领域的富氢直接还原气体制备、竖炉直接还原过程、高炉煤气循环利用以及化工领域的天然气制氢等涉及CH_(4)-H_(2)-CO-H_(2)O-CO_(2)体系尤其是更具广泛代表性的H-C-O体系的析碳共性问题,建立一种便捷、快速、易操作、普适性强地判断体系是否析碳的方法十分必要。在“H-C-O体系质量与化学平衡衡算图”基础上,基于多相、多反应共存体系的平衡原理,确定了包括体系温度、总压、体系内n_(H_(2))/n_(CO)比值等各种操作条件下对应的临界析碳点坐标(nO/nC,nH/nC),连接相同参数的临界析碳点得到对应的临界析碳曲线,构建了“H-C-O体系析碳状态分布图”,开发了一种可准确把握生产状态、确定体系是否发生析碳的新方法,建立了H-C-O体系析碳状态分布理论,为选择控制析碳工艺参数提供了理论基础;为了解决制作“H-C-O体系析碳状态分布图”时存在计算较繁杂的不足,开发了“H-C-O体系析碳状态分布图”分析专用软件,并结合已知的生产实践以及文献数据,验证了“H-C-O体系析碳状态分布图”的合理性和实用性。研究表明,论文提出的确定体系是否发生析碳的新方法普适性广、包容性强,“H-C-O体系析碳状态分布图”不仅能简捷、快速、准确地判别某给定条件下体系是否会发生析碳问题,而且可以给出既能防止体系析碳又能最大限度降低天然气制氢工序能耗和成本的努力方向,为实际生产降本、降耗、稳定、顺行提供有效的指导。 展开更多
关键词 H-C-O体系质量与化学平衡衡算图 临界析碳曲线 H-C-O体系析碳状态分布图 析碳控制 分析专用软件
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Controlling the Diameter of Single-Walled Carbon Nanotubes by Improving the Dispersion of the Uniform Catalyst Nanoparticles on Substrate 被引量:1
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作者 Junjun Chen Xiangju Xu +1 位作者 Lijie Zhang Shaoming Huang 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2015年第4期353-359,共7页
To have uniform nanoparticles individually dispersed on substrate before single-walled carbon nanotubes(SWNTs)growth at high temperature is the key for controlling the diameter of the SWNTs.In this letter,a facile app... To have uniform nanoparticles individually dispersed on substrate before single-walled carbon nanotubes(SWNTs)growth at high temperature is the key for controlling the diameter of the SWNTs.In this letter,a facile approach to control the diameter and distribution of the SWNTs by improving the dispersion of the uniform Fe/Mo nanoparticles on silicon wafers with silica layer chemically modified by 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane under different conditions is reported.It is found that the dispersion of the catalyst nanoparticles on Si wafer surface can be improved greatly from hydrophilic to hydrophobic,and the diameter and distribution of the SWNTs depend strongly on the dispersion of the catalyst on the substrate surface.Well dispersion of the catalyst results in relatively smaller diameter and narrower distribution of the SWNTs due to the decrease of aggregation and enhancement of dispersion of the catalyst nanoparticles before growth.It is also found that the diameter of the superlong aligned SWNTs is smaller with more narrow distribution than that of random nanotubes. 展开更多
关键词 Single-walled carbon nanotube Diameter control Chemical modification Chemical vapor deposition Catalyst nanoparticles
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含铌钢碳氮化物二相粒子在控轧控冷工艺中析出规律研究 被引量:1
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作者 王立群 刘微 陈新旺 《冶金标准化与质量》 2005年第1期31-34,共4页
针对含Nb微合金化钢 ,模拟安钢中板现有生产工艺 ,利用透射电镜技术 ,研究在试验室条件下 ,通过对试样进行单道次及多道次金属再结晶区和未再结晶区的控制轧制 ,探讨控轧控冷工艺对Nb碳氮化物第二相粒子析出规律的影响 ,并结合安钢轧制... 针对含Nb微合金化钢 ,模拟安钢中板现有生产工艺 ,利用透射电镜技术 ,研究在试验室条件下 ,通过对试样进行单道次及多道次金属再结晶区和未再结晶区的控制轧制 ,探讨控轧控冷工艺对Nb碳氮化物第二相粒子析出规律的影响 ,并结合安钢轧制工艺现状 。 展开更多
关键词 微合金化钢 控轧控冷工艺 碳氮化物 析出
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