期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于FA/OⅡ螯合剂的复配清洗液去除Cu-BTA的研究 被引量：1
1
作者 张师浩 檀柏梅 +2 位作者 王亚珍 王淇 田思雨 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第10期782-789,共8页
在减少清洗液对晶圆表面腐蚀的前提下,尽可能地去除表面残留的苯并三唑(BTA)是Cu互连化学机械抛光(CMP)后清洗的研究重点。选择了两种非离子表面活性剂聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100)和脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20)与质量分数为0.02%的F... 在减少清洗液对晶圆表面腐蚀的前提下,尽可能地去除表面残留的苯并三唑(BTA)是Cu互连化学机械抛光(CMP)后清洗的研究重点。选择了两种非离子表面活性剂聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100)和脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20)与质量分数为0.02%的FA/OⅡ螯合剂复配成碱性清洗剂,研究其对Cu表面BTA的去除效果,对其作用机理进行了分析。接触角和电化学测试结果表明,两种清洗剂均改善了Cu表面Cu-BTA的去除效果。其中FA/OⅡ螯合剂与质量分数为0.22%的Triton X-100复配清洗Cu表面后,接触角降为37.75°,腐蚀电流密度增大到2.424×10-6 A/cm2;与质量分数为0.25%的AEO-20复配清洗Cu表面后,接触角降为32.5°,腐蚀电流密度增大到2.657×10-6 A/cm2;当AEO-20与FA/OⅡ复配清洗液pH值为10.5时,几乎不影响BTA的去除效果,但Cu表面的粗糙度降至5.59 nm。 展开更多
关键词 复配清洗剂 Cu苯并三唑(BTA) FA/OⅡ螯合剂 聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100) 脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20) 碱性清洗剂
下载PDF
复方治癣洗液的研制与临床应用
2
作者 张武标 张武强 《儿科药学杂志》 CAS 2005年第5期16-17,19,共3页
目的:制备复方治癣洗液并观察疗效。方法:建立复方治癣洗液制备、质量控制与临床应用观察等方法。结果:复方治癣洗液用于治疗各型手足癣总有效率达92.7%。结论:复方治癣洗液质量可控,疗效确切。
关键词 复方治癣洗液 制备 临床应用
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部