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爆炸喷涂的研究进展及发展趋势 被引量：7
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作者 李俊辰 付俊波 +2 位作者 何勇 郭双全 冯云彪 《热加工工艺》 北大核心 2020年第14期20-24,共5页
在阐述爆炸喷涂设备的基本原理、工作过程、结构的基础上,介绍了爆炸喷涂的特点及影响涂层质量的主要因素。对近年来爆炸喷涂材料及其运用进行了列举。最后从工艺研究、设备研制、自动化实现等方面阐述了爆炸喷涂的发展方向。
关键词 爆炸喷涂 涂层质量 影响因素 发展方向
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立式冷壁反应器中化学气相淀积TiN涂层 Ⅰ.淀积参数对反应速率和涂层质量的影响
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作者 丁平 盛明慧 +3 位作者 丛德滋 韩杰 陈良恒 袁渭康 《华东化工学院学报》 CSCD 1990年第3期255-260,共6页
在立式冷壁CVD反应器中,用TiCl_4-H_2N_2和TiCl_4-H_2N_2-Ar为反应物源,在YT15硬质合金刀片上淀积TiN涂层。研究了淀积参数对淀积薄膜质量和淀积速率的影响。得到的TiN_x涂层外观光洁,呈金黄色,x为0.8～1.6,淀积速率15～60m^(-6)/h,显... 在立式冷壁CVD反应器中,用TiCl_4-H_2N_2和TiCl_4-H_2N_2-Ar为反应物源,在YT15硬质合金刀片上淀积TiN涂层。研究了淀积参数对淀积薄膜质量和淀积速率的影响。得到的TiN_x涂层外观光洁,呈金黄色,x为0.8～1.6,淀积速率15～60m^(-6)/h,显微硬度1800～2200HV,淀积反应为扩散过程控制;表观活化能为46.5kJ/mol。实验表明,TiN在冷壁反应器中的淀积速率远大于在热壁反应器中的淀积速率。 展开更多
关键词 化学气相淀积 氮化钛 涂层 反应器
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