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阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术
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作者 王瑞 韩建 +5 位作者 肖东 叶慧琪 唐靓 郝俊 翟洋 郝志博 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第18期111-119,共9页
共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响... 共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响,并基于干涉测量原理,提出了一种基于迈克耳孙干涉系统,利用白光和双波长测量技术相结合的光栅拼接位移误差检测调整方法。通过对比不同调整量下干涉条纹位移变化的模拟计算结果与纳米位移平台实验结果,分析了傅里叶分析算法的计算精度,进而实现了位移误差的精确调整。实验计算结果表明,白光双波长测量技术实现的拼接光栅位移误差Δz小于6 nm,可满足大尺寸拼接光栅的共相检测要求。 展开更多
关键词 测量 拼接光栅 共相调整 纵向位移误差 调整精度
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