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基于虚拟科氏力相位特性的硅MEMS陀螺自动模态匹配及闭环检测 被引量：1
1
作者 彭友福 赵鹤鸣 +4 位作者 卜峰 程梦梦 喻磊 徐大诚 郭述文 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第3期110-117,共8页
介绍了一种基于虚拟科氏力相位特性的自动模态匹配方法,该方法能提高开环检测时陀螺的标度因子、降低其零偏不稳定性。同时,为了增大模态匹配时的可检测输入角速度范围,采用力平衡反馈闭环,将科氏输出位移控制在一个幅度较小且稳定的振... 介绍了一种基于虚拟科氏力相位特性的自动模态匹配方法,该方法能提高开环检测时陀螺的标度因子、降低其零偏不稳定性。同时,为了增大模态匹配时的可检测输入角速度范围,采用力平衡反馈闭环,将科氏输出位移控制在一个幅度较小且稳定的振动状态。通过Simulink模型进行仿真,并在基于FPGA的数字控制电路中对本课题组的十六边型盘式谐振陀螺(cobweb-like DRG)进行实验。实验结果表明,使用该方法实现模态匹配后,开环检测时,陀螺的标度因子和零偏不稳定性分别从未匹配状态下的13 mV/[(°)·s]^-1、13.5°/h提高到了158 mV/[(°)·s]^-1、1.1°/h;自动模态匹配与闭环同时工作时,标度因子为76 mV/[(°)·s]^-1,零偏不稳定性为2.3°/h,可检测输入角速度范围为±31°/s。 展开更多
关键词 硅MEMS陀螺 自动模态匹配 相位特性 频率调谐 力平衡闭环检测 虚拟科氏力 正交刚度校正
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