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基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿 被引量:62
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作者 艾晨光 褚明 +2 位作者 孙汉旭 张延恒 叶平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2479-2484,共6页
为了修正关节测试平台中由圆光栅安装偏心所产生的测量误差,建立了圆光栅偏心测角误差补偿模型并对安装偏心检测方法进行研究。首先,根据圆光栅测角与偏心参数间的几何关系,推导出圆光栅测量误差补偿模型。然后,描述了采用双读数头对比... 为了修正关节测试平台中由圆光栅安装偏心所产生的测量误差,建立了圆光栅偏心测角误差补偿模型并对安装偏心检测方法进行研究。首先,根据圆光栅测角与偏心参数间的几何关系,推导出圆光栅测量误差补偿模型。然后,描述了采用双读数头对比接收正弦信号间相位差,检测偏心参数的方法和原理;通过合成信号的李萨茹图形,检测出关节测试平台内圆光栅的偏心距及偏心方向。最后,根据所推导的偏心测角误差补偿公式对测试系统进行修正。对比实验结果表明:修正后的圆光栅测角精度大幅提高,测量精度提高了近5倍,满足关节测试平台的测量精度要求。 展开更多
关键词 角度测量 圆光栅 系统误差补偿 偏心距检测 偏心方向检测
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高精密伺服转台控制系统的设计 被引量:32
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作者 黄令龙 郭阳宽 +3 位作者 蒋培军 李晟 李庆祥 陈张玮 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期1054-1056,共3页
该文设计并研制了高精密伺服转台的控制系统。该控制系统采用圆光栅作为转台位移检测工具,采用了数字位置环和模拟电流环共同组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该转台运... 该文设计并研制了高精密伺服转台的控制系统。该控制系统采用圆光栅作为转台位移检测工具,采用了数字位置环和模拟电流环共同组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该转台运行1.148h过程中位置伺服精度在±1″范围内,控制系统速度阶跃响应时间小于50ms;运动稳定,速度变化范围小于±10%,满足高精密伺服转台位置伺服的精度要求。 展开更多
关键词 导航系统 高精密伺服转台 前馈控制 圆光栅
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运动偏心对圆光栅副测量的影响及误差补偿 被引量:23
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作者 郭阳宽 李玉和 +2 位作者 李庆祥 巩娟 陈张玮 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期178-181,共4页
研究了一种由长光栅演变而来的新型圆光栅副存在运动偏心时的正常工作条件和由运动偏心所造成测量误差的补偿方法。阐述了该圆光栅的组成结构和工作原理;推导了其莫尔条纹曲线的表达式;着重研究了运动偏心对圆光栅测量影响的分析方法,... 研究了一种由长光栅演变而来的新型圆光栅副存在运动偏心时的正常工作条件和由运动偏心所造成测量误差的补偿方法。阐述了该圆光栅的组成结构和工作原理;推导了其莫尔条纹曲线的表达式;着重研究了运动偏心对圆光栅测量影响的分析方法,即莫尔条纹随运动偏心变化的定量分析方法;推导了由于偏心引起的测量误差的补偿公式;通过实例分析证明,对精密测量圆光栅进行偏心误差补偿是十分必要的。研究结果表明,偏心较小时,由于不影响系统正常工作,因此会掩盖这种误差的存在,通过理论分析及补偿可确保这种新型圆光栅的测量精度。 展开更多
关键词 角度测量仪 圆光栅副 运动偏心 测量误差 误差补偿
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提高圆光栅测角系统精度的读数头设计 被引量:27
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作者 苏东风 续志军 +2 位作者 贾继强 刘波 李大伟 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第7期653-657,共5页
为了有效提高圆光栅测角系统精度,从布置方式及数据处理方式两方面设计了读数头。提出了通过对主光栅刻划误差进行谐波分析来合理布置读数头的方法,经分析采用四均布读数头的布置方式,可以减少主光栅刻划误差82.6%的谐波分量。与传统的... 为了有效提高圆光栅测角系统精度,从布置方式及数据处理方式两方面设计了读数头。提出了通过对主光栅刻划误差进行谐波分析来合理布置读数头的方法,经分析采用四均布读数头的布置方式,可以减少主光栅刻划误差82.6%的谐波分量。与传统的模拟量相加数据处理方式相比,数字量相加数据处理方式可以更有效提高测角系统的测角精度和可靠性。分别检测了圆光栅测角系统在单读数头结构和采用数字量相加的四均布读数头结构时的精度,采用单读数头结构时的测角精度为1.15″,采用数字量相加的四均布读数头结构时的测角精度为0.33″。因此相比较单读数头结构和模拟量相加数据处理方式,四均布读数头和数字量相加数据处理方式能更有效的提高圆光栅测角系统的测角精度。 展开更多
关键词 圆光栅 谐波 四均布读数头 数字量相加 精度
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转台工作面角位置测量装置误差分析与补偿 被引量:15
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作者 杨华晖 冯伟利 +2 位作者 刘福 周军 马征 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1184-1189,共6页
针对特定转台轴端角位置检测误差不能反映实际产品工作面空间角位置的问题,介绍了一种以圆光栅和水平电容传感器作为测角元件的转台工作面空间角位置定位测量装置。以提高空间测角精度为目的,重点对装置各项误差因素进行归类分析。除光... 针对特定转台轴端角位置检测误差不能反映实际产品工作面空间角位置的问题,介绍了一种以圆光栅和水平电容传感器作为测角元件的转台工作面空间角位置定位测量装置。以提高空间测角精度为目的,重点对装置各项误差因素进行归类分析。除光栅和传感器分别存在的分系统测角误差外,测量装置还存在转轴与测量基面不平行、传感器敏感轴与测量基面不平行等误差项。为修正测角系统误差,根据圆光栅旋转面、传感器敏感轴、转轴轴系、测量基面的空间几何关系建立数学模型,分析系统误差影响因素。最后利用分度误差在0.3″高精度转台对校准装置进行标定,并利用径向基函数(RBF)神经网络建立误差补偿模型,对系统测角精度进行修正,使系统最大误差值由13.75″下降至2.9″,满足了3″以内的测角精度需求。 展开更多
关键词 角位置 圆光栅 水平电容传感器 误差补偿 神经网络
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非对径安装双读数头圆光栅偏心测角误差修正 被引量:11
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作者 王笑一 王永军 +2 位作者 雷贤卿 邓四二 卢继敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期1103-1114,共12页
圆光栅安装偏心引起的测角误差是影响圆光栅角度测量精度的关键因素,而对圆光栅安装偏心引起的测角误差进行修正是提高圆光栅测角精度的有效方法。本文分析了圆光栅安装偏心与测角误差之间的关系,建立了基于双读数头的圆光栅偏心测角误... 圆光栅安装偏心引起的测角误差是影响圆光栅角度测量精度的关键因素,而对圆光栅安装偏心引起的测角误差进行修正是提高圆光栅测角精度的有效方法。本文分析了圆光栅安装偏心与测角误差之间的关系,建立了基于双读数头的圆光栅偏心测角误差理论模型,提出了一种基于非对径安装双读数头的圆光栅偏心测角误差修正方法。仿真及实测试验表明,在双读数头非对径安装时,新方法对读数头安装误差和圆光栅偏心误差造成的测角误差的修正效果明显优于双读数头均值法。试验中,当两读数头对径安装误差约为4°时,新方法修正后的测角误差为均值法修正后测角误差的二分之一以下,其中仿真试验中由均值法修正后测角误差为1.785″,新方法修正后的测角误差为0.720″。 展开更多
关键词 圆光栅 双读数头 测角误差 误差修正
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圆光栅配合自准直仪测量主轴径向运动误差 被引量:10
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作者 娄志峰 郝秀朋 +1 位作者 刘力 王晓东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期2053-2061,共9页
提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆光栅、读数头、环形平面镜以及激光自准直仪组成。首先,将圆光栅及环形平面镜安装在主轴上,并在双顶尖装... 提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆光栅、读数头、环形平面镜以及激光自准直仪组成。首先,将圆光栅及环形平面镜安装在主轴上,并在双顶尖装置中将光栅安装偏心误差和平面镜与主轴不垂直误差进行标定。然后,将主轴安装在转台上,双读数头对径安装,自准直仪安装在平面镜下方。在主轴回转过程中,双读数头圆光栅可以测得主轴径向运动误差,自准直仪可以测得主轴径向运动误差方向上的偏摆角误差。最后,根据主轴上一点的径向运动误差及其在此方向上的偏摆角误差便可以计算出主轴轴向各个点的径向回转误差。设计了比对实验,结果表明在主轴径向回转误差为±12μm时,本方法与传统单向法比对残差在1μm以内。本文提出的主轴径向回转误差测量方法可以应用到精密主轴回转类装置中,实现在线检测主轴径向回转误差的目的。此外,该方法无需采用标准球,不受轴表面粗糙度、圆度等的影响。 展开更多
关键词 圆光栅 双读数头 自准直仪 径向运动误差 误差分离
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圆光栅编码器测角误差源及频谱分析 被引量:10
8
作者 任曦 杜升平 +1 位作者 陈科 王继红 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第17期163-170,共8页
为提高圆光栅编码器测角精度、满足角秒甚至亚角秒级的精度测量需求,分析了影响其角度测量精度的误差来源,针对性地提出了多读数头读数平均法的补偿方法,进而控制误差源。根据圆光栅测角原理,分析了光栅系统刻化误差、读数头细分误差、... 为提高圆光栅编码器测角精度、满足角秒甚至亚角秒级的精度测量需求,分析了影响其角度测量精度的误差来源,针对性地提出了多读数头读数平均法的补偿方法,进而控制误差源。根据圆光栅测角原理,分析了光栅系统刻化误差、读数头细分误差、光栅安装偏心误差、安装形变误差、轴晃误差等误差来源,从频域的角度分析了各个误差的频谱,根据误差源分析,可采用多读数头读数平均法的补偿方法。实验结果表明,在偏心误差约为15″、光栅形变误差约为1.5″的条件下,采用4读数头平均法实测的测角误差优于0.8″,大幅提高了圆光栅测角精度。 展开更多
关键词 测量 圆光栅 误差源分析 谐波误差 误差补偿 傅里叶分析
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关节臂坐标测量机圆光栅偏心误差建模及修正研究 被引量:9
9
作者 郑大腾 谢世坤 +2 位作者 罗志扬 张晶 周太平 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2016年第10期1568-1574,共7页
在不增加关节臂坐标测量机硬件成本的基础上,为了提高测量精度,提出了包含圆光栅偏心误差的测量模型方案。分析了关节臂坐标测量机圆光栅偏心状况,通过圆光栅偏心误差实验对第1、2关节处圆光栅偏心误差模型参数进行了辨识,建立了包含前... 在不增加关节臂坐标测量机硬件成本的基础上,为了提高测量精度,提出了包含圆光栅偏心误差的测量模型方案。分析了关节臂坐标测量机圆光栅偏心状况,通过圆光栅偏心误差实验对第1、2关节处圆光栅偏心误差模型参数进行了辨识,建立了包含前两关节圆光栅偏心误差的测量模型。使用自制的标准杆组件对两种测量模型进行了标定实验,并运用LM算法进行了参数标定。结果表明不包含圆光栅偏心误差测量模型的关节臂坐标测量机的测量误差为0.083 4 mm,而包含两关节圆光栅偏心误差的关节臂坐标测量机测量误差为0.065 0 mm。经过圆光栅偏心误差修正后,其测量精度提高了22%,同时也论证了圆光栅偏心误差是制约关节臂坐标测量机测量精度的影响因素之一。 展开更多
关键词 关节臂坐标测量机 圆光栅 偏心误差 标定算法 测量精度
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圆光栅测角系统误差分析与修正 被引量:8
10
作者 张文颖 朱浩然 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期399-403,共5页
为了提高测角系统的测量精度,基于误差的特性和表现形式,从谐波角度对测角系统中的刻划误差、光电信号误差、偏心误差、倾斜误差和变形导致的误差建立相应的数学模型,并对偏心误差和倾斜误差进行仿真分析。搭建了金属圆光栅测角系统,对... 为了提高测角系统的测量精度,基于误差的特性和表现形式,从谐波角度对测角系统中的刻划误差、光电信号误差、偏心误差、倾斜误差和变形导致的误差建立相应的数学模型,并对偏心误差和倾斜误差进行仿真分析。搭建了金属圆光栅测角系统,对系统中的误差进行了分析和修正。实验结果表明:测角系统测角误差为134.2″,修正后误差为32.23″,圆光栅测角系统误差分析为后续的误差补偿提供了理论基础。 展开更多
关键词 圆光栅 测角系统 偏心误差 误差分析
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精密减速器角位移测量系统设计 被引量:8
11
作者 路遥环 裘祖荣 +1 位作者 尤悦 薛洁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期14-20,共7页
为了实现对精密减速器输入端和输出端角位移的精密测量,建立精密减速器角位移测量系统。对该系统的机械结构、角度测量及标定方法、基于非线性最小二乘法的误差补偿模型进行研究。通过"立式筒状"结构和圆光栅角度传感器"... 为了实现对精密减速器输入端和输出端角位移的精密测量,建立精密减速器角位移测量系统。对该系统的机械结构、角度测量及标定方法、基于非线性最小二乘法的误差补偿模型进行研究。通过"立式筒状"结构和圆光栅角度传感器"前置"避免了传统检测仪的弱刚度结构和轴系形变对角度测量造成的影响。使用光电自准直仪与24面棱体结合的方式离散标定圆光栅角度传感器的角位移测量误差,研究基于谐波分析的误差补偿方法,对角坐标进行补偿,进一步消除误差。实验结果显示,通过优化检测仪的结构设计,角位移测量精度达到±7″;误差补偿后,角位移最终测量精度达到±2″,满足减速器角位移测量的高精度要求,对类似测角系统也有参考价值。 展开更多
关键词 角位移测量 结构设计 圆光栅 测量误差 补偿模型
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Angle measurement error and compensation for pitched rotation of circular grating 被引量:6
12
作者 陈希军 王振桓 +1 位作者 王政邦 曾庆双 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2011年第3期11-15,共5页
As circular grating is not vertical to the shaft,the angle measurement error of the circular grating is analyzed.Based on the moire fringe equations in pitched condition,the mathematic model of the angle measurement e... As circular grating is not vertical to the shaft,the angle measurement error of the circular grating is analyzed.Based on the moire fringe equations in pitched condition,the mathematic model of the angle measurement error is derived.The paper comes to the conclusion that the nonorthogonal angle between the circular grating and the shaft leads to the second harmonic error of the angle measurement,and the correctness of the result is proved by the experimental data.The method of the error compensation is presented,and the angle measurement accuracy of the circular grating is improved by the error compensation. 展开更多
关键词 circular grating nonorthogonal angle moire fringe second-harmonic error
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Angle measurement error and compensation for decentration rotation of circular gratings 被引量:4
13
作者 陈希军 王振桓 曾庆双 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2010年第4期536-539,共4页
As the geometric center of circular grating does not coincide with the rotation center,the angle measurement error of circular grating is analyzed. Based on the moire fringe equations in decentration condition,the mat... As the geometric center of circular grating does not coincide with the rotation center,the angle measurement error of circular grating is analyzed. Based on the moire fringe equations in decentration condition,the mathematical model of angle measurement error is derived. It is concluded that the decentration between the centre of circular grating and the center of revolving shaft leads to the first-harmonic error of angle measurement. The correctness of the result is proved by experimental data. The method of error compensation is presented,and the angle measurement accuracy of the circular grating is effectively improved by the error compensation. 展开更多
关键词 circular grating DECENTRATION moire fringe first-harmonic error
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偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号的影响研究 被引量:5
14
作者 白冰 朱维斌 +1 位作者 黄垚 薛梓 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2022年第1期1-10,共10页
转台测角系统偏心偏斜会改变莫尔信号特征,并进一步影响转台定位精度。针对偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号的影响开展研究。首先分析转台测角系统工作原理,阐述转台圆光栅莫尔信号特征分离方法原理;针对圆光栅莫尔信号特征误差源进行分析... 转台测角系统偏心偏斜会改变莫尔信号特征,并进一步影响转台定位精度。针对偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号的影响开展研究。首先分析转台测角系统工作原理,阐述转台圆光栅莫尔信号特征分离方法原理;针对圆光栅莫尔信号特征误差源进行分析,分别建立偏心和偏斜对莫尔信号特征的影响模型,明确莫尔信号特征谐波阶次与偏心、偏斜关系;基于FPGA开发莫尔信号特征分离电路,并以自制电路板为实验平台,验证了莫尔信号特征分离方法可行性和分离电路功能有效性;搭建偏心、偏斜测试平台验证偏心偏斜对转台圆光栅莫尔信号影响模型的准确性,实验结果表明,偏心、偏斜分别与莫尔信号特征一次、二次谐波呈线性关系,非线性误差为3.88%和2.08%。 展开更多
关键词 转台测角系统 偏心 偏斜 圆光栅 莫尔信号
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圆光栅精度及均匀性研究 被引量:3
15
作者 陈林 冯伟亭 《光学仪器》 1995年第1期11-16,共6页
圆光栅已经普遍用于高精度角度仪器作为定位基准,然而要研制得到超高精度圆光栅,必须要精度高,均匀性好,两者缺一不可[1],本文研究达到二者全优。
关键词 圆光栅 分度误差 精度 均匀性 角度仪器 定位基准
全文增补中
圆光栅闭环反馈回转关节高精度补偿方法研究 被引量:5
16
作者 杨新刚 黄玉美 +2 位作者 刘鸿雁 刘秀臣 芮宏斌 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第23期2782-2786,共5页
从提高位置精度出发,采用了基于圆光栅全闭环反馈的回转关节控制方案。在分析传统运动精度补偿方法的基础上,结合激光干涉仪回转轴校准系统对位置精度的检测结果,建立了一种综合考虑大周期误差及小周期误差的三次封闭样条与三角函数相... 从提高位置精度出发,采用了基于圆光栅全闭环反馈的回转关节控制方案。在分析传统运动精度补偿方法的基础上,结合激光干涉仪回转轴校准系统对位置精度的检测结果,建立了一种综合考虑大周期误差及小周期误差的三次封闭样条与三角函数相叠加的回转运动误差补偿模型,从而使定点误差测量结果能够应用到整个行程区间的准确补偿。在兼顾精度和效率的基础上提出了相应的无累积误差的补偿算法以提高误差补偿精度并进行了实验,使补偿后的残留误差标准差减小了47.4%,表明该方法可有效提高回转关节位置精度。 展开更多
关键词 圆光栅 补偿算法 位置精度 误差模型 校准系统
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精密减速器检测仪自动标定系统设计 被引量:4
17
作者 裘祖荣 尤悦 +3 位作者 路遥环 薛洁 胡文川 方林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第10期47-51,88,共6页
针对圆光栅安装偏心、倾斜等因素造成的减速器检测仪测角系统精度降低问题,提出了采用多面棱体结合光电自准直仪对角度传感器进行自动标定及数据处理方法。利用一种可膨胀结构安装多面棱体,使多面棱体与检测仪中的圆光栅能够同轴、同步... 针对圆光栅安装偏心、倾斜等因素造成的减速器检测仪测角系统精度降低问题,提出了采用多面棱体结合光电自准直仪对角度传感器进行自动标定及数据处理方法。利用一种可膨胀结构安装多面棱体,使多面棱体与检测仪中的圆光栅能够同轴、同步转动。通过上位机控制电机驱动测量轴系旋转,实现标定数据自动采集。数据处理后自动建立补偿模型。结果表明:标定后的精密减速器检测仪角度测量精度可从7.6″提高到1″。 展开更多
关键词 圆光栅 多面棱体 光电自准直仪 结构设计 自动标定 数据处理
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环形光栅光学扫描全息系统的OTF和PSF 被引量:4
18
作者 刘守渔 梁万国 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期41-42,共2页
美国弗吉尼亚工业学院和州立大学T.C.Poon 等人提出了光学扫描全息术,在该技术中记录时利用实时菲涅耳波带板扫描物体,但由于菲涅耳波带板边缘稀、中间密,不能充分地利用系统的分辨率,而环形光栅的边缘和中间的稀密程度一... 美国弗吉尼亚工业学院和州立大学T.C.Poon 等人提出了光学扫描全息术,在该技术中记录时利用实时菲涅耳波带板扫描物体,但由于菲涅耳波带板边缘稀、中间密,不能充分地利用系统的分辨率,而环形光栅的边缘和中间的稀密程度一样,为此提出了环形光栅光学扫描全息术。根据线性系统理论得到系统的光学传递函数为实时环形光栅像强度分布函数的付里叶变换;系统的点扩散函数为δ函数。文中给出了理论和计算机仿真结果。 展开更多
关键词 环形光栅 光学扫描 全息系统 OTF PSF
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基于VMD的圆光栅测角误差补偿方法
19
作者 张栋 韦宝琛 +1 位作者 廖忠骏 岳义 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第3期44-49,共6页
针对圆光栅测角系统误差数据,提出了一种基于变分模态分解(VMD)的误差重构与补偿方法。首先,采用VMD算法将误差数据自适应地分解为多个模态分量(IMF),基于各IMF的相关因子值表征其含噪声程度,选择符合条件的IMF重构系统误差,再溯源分析... 针对圆光栅测角系统误差数据,提出了一种基于变分模态分解(VMD)的误差重构与补偿方法。首先,采用VMD算法将误差数据自适应地分解为多个模态分量(IMF),基于各IMF的相关因子值表征其含噪声程度,选择符合条件的IMF重构系统误差,再溯源分析系统误差的主要谐波阶次,建立误差补偿模型。实验结果表明:利用此方法可将圆光栅测角误差的平均值、峰峰值和标准差分别补偿至-0.029″(补偿百分比:90.73%)、1.14″(补偿百分比:51.07%)和0.29″(补偿百分比:57.35%),加入随机误差后也能准确识别误差主要成分。 展开更多
关键词 圆光栅 变分模态分解 误差重构 误差补偿
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立体光栅测角传感器系统研究 被引量:3
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作者 张文颖 朱浩然 李楠 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第23期135-140,共6页
为了解决测角传感器精度和径向尺寸之间难以调和的矛盾,从辐通量和莫尔条纹的角度,详细推导和分析了端面光栅轴系误差和柱面光栅轴系误差,并建立了误差模型。基于轴系误差分析,设计了一款结合端面光栅和柱面光栅的立体光栅测角传感器,... 为了解决测角传感器精度和径向尺寸之间难以调和的矛盾,从辐通量和莫尔条纹的角度,详细推导和分析了端面光栅轴系误差和柱面光栅轴系误差,并建立了误差模型。基于轴系误差分析,设计了一款结合端面光栅和柱面光栅的立体光栅测角传感器,并搭建了立体光栅测角传感器实验系统。实验结果表明,当读数头呈均匀分布时,立体光栅测角传感器的误差为6.75";当读数头呈非均匀分布时,立体光栅测角传感器的误差为4.33"。研究结果为轴系误差的抑制提供了新方法,为小型化、高精度测角传感器的研制提供了参考。 展开更多
关键词 测量 测角传感器 轴系误差 角度测量 误差分析 圆光栅
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