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改进型晶圆预对准算法
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作者 王石磊 李朋 陈胜华 《科学与信息化》 2024年第3期123-126,共4页
随着半导体生产工艺的升级,在晶圆处理过程中需要对晶圆圆心进行更加准确的定位。传统的晶圆预对准系统采用的回转半径法、质心法以及圆最小二乘法无法有效避免测量误差引入的异常采样点问题。因此,本文在圆最小二乘法基础上,提出一种... 随着半导体生产工艺的升级,在晶圆处理过程中需要对晶圆圆心进行更加准确的定位。传统的晶圆预对准系统采用的回转半径法、质心法以及圆最小二乘法无法有效避免测量误差引入的异常采样点问题。因此,本文在圆最小二乘法基础上,提出一种增加权重的改进型晶圆预对准算法,即在剔除干扰点的同时增加权重函数,在确定晶圆圆心坐标的同时,尽可能减少异常采样点对拟合结果的影响。 展开更多
关键词 半导体生产 晶圆预对准 圆最小二乘法 权重函数
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