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金属有机物化学气相沉积颗粒物污染及在线氯气清洗工艺研究
1
作者
杨超普
方文卿
李晓龙
《广东化工》
CAS
2024年第9期25-27,20,共4页
近耦合喷淋MOCVD在硅衬底GaN基LED外延生长中优势显著。外延中反应室内颗粒物污染直接影响着晶体质量。通过自主设计加工全316L不锈钢近耦合MOCVD喷头,在近耦合喷淋MOCVD上首次实现了在线氯气清洗并完成工艺优化。利用激光尘埃粒子计数...
近耦合喷淋MOCVD在硅衬底GaN基LED外延生长中优势显著。外延中反应室内颗粒物污染直接影响着晶体质量。通过自主设计加工全316L不锈钢近耦合MOCVD喷头,在近耦合喷淋MOCVD上首次实现了在线氯气清洗并完成工艺优化。利用激光尘埃粒子计数器对硅衬底GaN基LED外延过程中,不同工艺、反应室不同位置颗粒物数量随时间变化、粒径分布进行研究。验证了近耦合喷淋MOCVD在线氯气清洗可行且效果良好。发现抹灰工艺会产生大量颗粒物,10min颗粒物难以稳定。颗粒物污染主要来自加热器,且加热器处颗粒物粒径较大。该结果可为外延工艺优化及相关设备开发提供参考。
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关键词
金属有机物化学气相沉积
外延生长
氯气清洗
颗粒物污染
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职称材料
氯碱企业控制氯气微量水分工艺研究
2
作者
董晓政
《中国氯碱》
CAS
2022年第10期1-5,共5页
离子膜电解槽产生的湿氯气夹带大量的水分和热量,经过氯气和水分的物料平衡计算,找出去除氯气中水分的关键节点,经过工艺技术和设备改造,并在充分利用氯气余热与一次盐水换热的基础上进一步优化工艺,确保夏季高温时段稳定运行。
关键词
离子膜电解槽
湿氯气
氯气干燥
阳极液放净槽
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职称材料
碱性氯化法处理高浓度含CN^-高炉煤气洗涤水工程实践
被引量：
6
3
作者
赵国庆
杜有录
李立锋
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期73-75,共3页
采用碱性氯化法处理高浓度含CN- 的高炉煤气洗涤水 ,通过试验验证是可行的 ,应用后运行结果表明 :CN- 的去除率平均达到 94%以上 。
关键词
碱性氯化法
钢铁工业
废水处理
煤气洗净水
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职称材料
题名
金属有机物化学气相沉积颗粒物污染及在线氯气清洗工艺研究
1
作者
杨超普
方文卿
李晓龙
机构
商洛学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
南昌大学
出处
《广东化工》
CAS
2024年第9期25-27,20,共4页
基金
陕西省教育厅专项科研计划项目(20JK0615)
商洛学院重点培育项目(22KYPY03)
商洛学院博士启动基金(21SKY127)。
文摘
近耦合喷淋MOCVD在硅衬底GaN基LED外延生长中优势显著。外延中反应室内颗粒物污染直接影响着晶体质量。通过自主设计加工全316L不锈钢近耦合MOCVD喷头,在近耦合喷淋MOCVD上首次实现了在线氯气清洗并完成工艺优化。利用激光尘埃粒子计数器对硅衬底GaN基LED外延过程中,不同工艺、反应室不同位置颗粒物数量随时间变化、粒径分布进行研究。验证了近耦合喷淋MOCVD在线氯气清洗可行且效果良好。发现抹灰工艺会产生大量颗粒物,10min颗粒物难以稳定。颗粒物污染主要来自加热器,且加热器处颗粒物粒径较大。该结果可为外延工艺优化及相关设备开发提供参考。
关键词
金属有机物化学气相沉积
外延生长
氯气清洗
颗粒物污染
Keywords
MOCVD
epitaxial
growth
chlorine
gas
cleaning
particle
pollution
分类号
TQ052.4 [化学工程]
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职称材料
题名
氯碱企业控制氯气微量水分工艺研究
2
作者
董晓政
机构
甘肃北方三泰化工有限公司
出处
《中国氯碱》
CAS
2022年第10期1-5,共5页
文摘
离子膜电解槽产生的湿氯气夹带大量的水分和热量,经过氯气和水分的物料平衡计算,找出去除氯气中水分的关键节点,经过工艺技术和设备改造,并在充分利用氯气余热与一次盐水换热的基础上进一步优化工艺,确保夏季高温时段稳定运行。
关键词
离子膜电解槽
湿氯气
氯气干燥
阳极液放净槽
Keywords
ion-exchange
membrane
electrolyzer
wet
chlorine
gas
chlorine
gas
drying
anode
liquid
cleaning
tank
分类号
TQ124.416 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
碱性氯化法处理高浓度含CN^-高炉煤气洗涤水工程实践
被引量：
6
3
作者
赵国庆
杜有录
李立锋
机构
包头钢铁集团公司安环部
出处
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期73-75,共3页
文摘
采用碱性氯化法处理高浓度含CN- 的高炉煤气洗涤水 ,通过试验验证是可行的 ,应用后运行结果表明 :CN- 的去除率平均达到 94%以上 。
关键词
碱性氯化法
钢铁工业
废水处理
煤气洗净水
Keywords
alkali
chlorin
ation
process,blast
furnace
gas
cleaning
effluents
and
CN
-
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属有机物化学气相沉积颗粒物污染及在线氯气清洗工艺研究
杨超普
方文卿
李晓龙
《广东化工》
CAS
2024
0
下载PDF
职称材料
2
氯碱企业控制氯气微量水分工艺研究
董晓政
《中国氯碱》
CAS
2022
0
下载PDF
职称材料
3
碱性氯化法处理高浓度含CN^-高炉煤气洗涤水工程实践
赵国庆
杜有录
李立锋
《环境工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
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职称材料
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