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掺杂SnO_2薄膜作为电热材料的研究——成膜工艺条件探讨 被引量：2
1
作者 沈岳年 刘文生 +2 位作者 刘淑萍 胡瑞生 秦继卫 《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-32,共4页
以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600～620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间... 以石英管作为衬底材料,以SnCl4、SbCl3的混合乙醇溶液作为喷涂液,在600～620℃高温下用化学热喷涂法在石英管表面制作SnO2电热膜.工艺实践表明:30min是最佳喷涂时间,可获最高功率密度25W/cm2;喷涂时间过短,SnO2膜过薄而功率小;喷涂时间大于30min,由于"硅扩散"破坏SnO2的能级简并结构,不仅导电性劣化,而且电阻率温度系数逐渐由正变负,导致不能用作电热材料. 展开更多
关键词 电热材料 成膜工艺条件 SnO2电热膜 化学热喷涂 硅扩散 石英管 半导体薄膜
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