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不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响 被引量：16
1
作者 曹水良 梁志红 尹平河 《暨南大学学报（自然科学与医学版）》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期357-360,共4页
利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节... 利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富,更清晰;能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显,可以有效消除荷电现象和各种假象. 展开更多
关键词 场发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象
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场发射扫描电镜荷电现象的研究及参数优化 被引量：12
2
作者 高翔 朱紫瑞 +1 位作者 孙伟 郭娟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1008-1012,共5页
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较... 扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较差样品,如陶瓷、倍他环糊精、Si O2、细菌等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象,从而提高了图像质量,获得了更为真实的显微结构信息。 展开更多
关键词 场发射扫描电子显微镜 荷电现象 低加速电压 二次电子
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探针电流对场发射扫描电镜图像的影响 被引量：5
3
作者 邓子华 陈红梅 尹伟 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第8期25-28,共4页
通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小... 通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小,分辨率增高,景深增加,有利于减弱荷电现象,但是探针电流过小,噪声增大,聚焦困难,图像分辨率反而下降。实验表明,结合样品的特征,灵活地选择探针电流能显著地提高电镜图像质量。 展开更多
关键词 场发射扫描电镜 探针电流 分辨率 景深 荷电现象
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荷电控制电子枪特性的测量 被引量：2
4
作者 邓晨晖 王岩 +1 位作者 刘俊标 韩立 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期847-852,共6页
扫描电子显微镜在科研和实际工作中扮演着越来越重要的角色,在集成电路行业常常被用来测量器件的关键尺寸。集成电路器件在进行表征时容易形成电荷积累,电荷积累会严重干扰检测系统的图像质量而影响测量器件尺寸的精度。使用荷电控制电... 扫描电子显微镜在科研和实际工作中扮演着越来越重要的角色,在集成电路行业常常被用来测量器件的关键尺寸。集成电路器件在进行表征时容易形成电荷积累,电荷积累会严重干扰检测系统的图像质量而影响测量器件尺寸的精度。使用荷电控制电子枪是一种常见且有效消除电荷积累的方式,荷电控制电子枪的特性直接影响着成像质量和检测效率。目前国内缺少有效针对荷电控制电子枪性能评价的研究,本文提出了一种法拉第杯小孔扫描测量方法并搭建了一套测试平台,在该平台上对自主研制的电子枪进行了束斑大小、束流密度分布和发散角等电子束特性测量,这将为对荷电控制电子枪的优化设计和安装调试起到了指导作用。 展开更多
关键词 荷电现象 荷电控制电子枪 束斑测量 法拉第杯小孔扫描法
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C_(60)与含受电子生色基团聚合物的电荷转移现象 被引量：2
5
作者 邱健 姚光庆 +1 位作者 周锡煌 李福绵 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第3期367-370,共4页
Ｃ６０与含受电子生色基团聚合物的电荷转移现象邱健姚光庆周锡煌李福绵（北京大学化学与分子工程学院北京１００８７１）关键词Ｃ６０，聚［Ｎ（４氰基苯基）丙烯酰胺］，电荷转移现象，荧光光谱随着对球壳烯性质的深入认识，球... Ｃ６０与含受电子生色基团聚合物的电荷转移现象邱健姚光庆周锡煌李福绵（北京大学化学与分子工程学院北京１００８７１）关键词Ｃ６０，聚［Ｎ（４氰基苯基）丙烯酰胺］，电荷转移现象，荧光光谱随着对球壳烯性质的深入认识，球壳烯与电子给、受体的电荷转移现象日... 展开更多
关键词 电荷转移现象 荧光光谱 碳60 P(CPAA) 聚合物
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用磁荷观点解释单极感应现象
6
作者 赵强 刘萍 《物理与工程》 2017年第5期44-46,共3页
本文首先利用磁荷观点计算了旋转磁铁端面上的磁流,然后利用磁流的安培环路定理求出单极感应发电机回路中的电动势,并且指出回路中的电动势与回路的形状无关。利用磁荷观点还克服了使用相对论观点时对磁铁旋转速度过度限制、对磁铁端面... 本文首先利用磁荷观点计算了旋转磁铁端面上的磁流,然后利用磁流的安培环路定理求出单极感应发电机回路中的电动势,并且指出回路中的电动势与回路的形状无关。利用磁荷观点还克服了使用相对论观点时对磁铁旋转速度过度限制、对磁铁端面磁场过度简化以及计算复杂的缺点。 展开更多
关键词 磁荷观点 单极感应现象 电动势 磁流 对称性
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