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题名TFT-LCD产业中GOA单元不良的研究
被引量：2
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作者
张小祥
颉芳霞
刘正
郭总杰
袁剑峰
邵喜斌
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机构
北京京东方显示技术有限公司
江南大学江苏省食品先进制造装备技术重点实验室
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出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期387-392,共6页
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文摘
通过对TFT-LCD制造过程中GOA单元不良原因的研究,提出了改善GOA单元不良的方法。分析表明静电放电(ESD)的发生在于电容瞬间释放的电流过大,导致过细的金属线熔化;沟道桥接和开裂的发生在于显影效应,显影方向以及图案密度,导致局部区域沟道光刻胶厚度偏厚和偏薄。采用静电分散释放的连线设计,ESD的发生率从5.4%降低到0.04%以下。GOA单元两侧增加测试图样(Dummy Pattern)的设计防止沟道桥接的发生,减压干燥(VCD)抽气曲线的调整和软烘(Soft Bake)底部温度的优化措施防止沟道开裂的发生,沟道桥接和开裂的发生率从13.4%降低到1.22%以下。
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关键词
静电放电
沟道桥接
沟道开裂
显影效应
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Keywords
GOA
gate driver on array
electro-static discharge
channel bridge
channel open
development effect
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分类号
TB31
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响
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作者
高杨
白竹川
刘婷婷
袁明权
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
西南科技大学信息工程学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第11期684-688,共5页
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基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016)
四川省教育厅重大培育项目"硅基微型电渗泵三维阵列流动传热分析及优化设计"(07ZZ038)
+1 种基金
教育部访问学者基金
西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33)
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文摘
开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件。开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系。首先理论分析了微通道的长度、宽度和高度对开通道电渗流性能的影响,得出了各参数对电渗流性能的影响趋势。应用MEMS CAD软件Coventorware对微通道尺寸的影响进行了数值仿真分析,结果表明:数值仿真得出的结论与理论分析相一致,高深宽比微通道的电渗泵,减小宽度W和深度H有助于提高开通道电渗泵的压力,但流量也随之减小,设计时宽度和深度需折衷取值;长度L只对流量有影响,对压力无影响,通过优化设计微通道的几何尺寸可以使开通道电渗泵的压力和流量性能得以提高。
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关键词
微电子机械系统
微流体
电渗泵
微通道
开通道
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Keywords
MEMS
micro fluidics
electroosmotic pump
micro-channel open channel
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分类号
O35
[理学—流体力学]
TH703
[理学—力学]
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