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附载体极薄铜箔的剥离机制
1
作者
殷光茂
韩俊青
+2 位作者
杨祥魁
王浩然
武玉英
《精密成形工程》
北大核心
2024年第8期11-18,共8页
目的研究一种极薄铜箔制备过程中所需要的新型剥离层结构,以此来实现极薄铜箔的顺利剥离。方法利用两步电沉积法制备了可剥离的极薄铜箔,利用EBSD分析了“载体铜箔-剥离层-极薄铜箔”结构的附载体铜箔截面晶粒分布规律,利用聚焦离子束技...
目的研究一种极薄铜箔制备过程中所需要的新型剥离层结构,以此来实现极薄铜箔的顺利剥离。方法利用两步电沉积法制备了可剥离的极薄铜箔,利用EBSD分析了“载体铜箔-剥离层-极薄铜箔”结构的附载体铜箔截面晶粒分布规律,利用聚焦离子束技术(FIB)制备了TEM样品,通过HRTEM对“载体铜箔-剥离层-极薄铜箔”结构中剥离层/极薄铜箔、剥离层/载体铜箔的界面微观结构进行了研究。结果与单一Ni剥离层相比,通过两步电沉积法制备的复合剥离层(Ni,Cr-O)具有更好的可剥离性,复合剥离层由有序Ni层和无序Cr-O层组成。复合剥离层中的Ni层与载体铜箔相结合,界面完全共格,形成较强的界面结合;复合剥离层中的无序Cr-O层与极薄铜箔相结合,Cr-O层与极薄铜箔界面原子紊乱,形成较弱的界面结合。对制备的极薄铜箔剥离强度进行测试可知,极薄铜箔与载体铜箔能够剥离,极薄铜箔与剥离层之间的剥离强度约为0.01N/mm。结论利用载体铜箔-剥离层、极薄铜箔-剥离层结合界面的差异化实现了界面结合的差异化,复合剥离层内有序和无序的结构分布调控了载体铜箔与剥离层、极薄铜箔与剥离层之间的界面结合,使剥离层与极薄铜箔之间的结合弱于剥离层与载体铜箔之间的结合,有助于极薄铜箔与剥离层分离,同时剥离层与载体铜箔之间不会分离,进而获得可洁净剥离的极薄铜箔。
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关键词
极薄铜箔
剥离层
界面
载体铜箔
剥离强度
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职称材料
一种提升PCB载流能力的设计方法
被引量:
1
2
作者
付可心
曾敏华
《工业控制计算机》
2023年第6期136-137,共2页
随着电子信息行业的不断发展,电子设备功能日渐多元,设备功率越来越高,设备电流也越来越大。此类设备的电路板设计要求具有较大的载流能力,基于此类需求,提出了一种通过优化PCB中铜箔路径来提升PCB载流能力的设计。
关键词
PCB
载流
铜箔
过孔
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职称材料
超薄铜箔的制备工艺研究
被引量:
9
3
作者
邓庚凤
何桂荣
+1 位作者
黄崛起
徐鹏
《有色金属(冶炼部分)》
CAS
北大核心
2014年第2期50-53,60,共5页
以载体支撑可剥离超薄铜箔的制备工艺为研究对象,用SEM考察电沉积时间、搅拌方式、电流密度及溶液温度等对铜箔表面形态的影响.结果表明,采用超声波搅拌,溶液温度45~50℃,电流密度15A/dm2,在载体亮面电沉积6 s的最佳工艺条件下,可以得...
以载体支撑可剥离超薄铜箔的制备工艺为研究对象,用SEM考察电沉积时间、搅拌方式、电流密度及溶液温度等对铜箔表面形态的影响.结果表明,采用超声波搅拌,溶液温度45~50℃,电流密度15A/dm2,在载体亮面电沉积6 s的最佳工艺条件下,可以得到厚度小于5μm超薄铜箔层.
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关键词
载体
可剥离箔
超薄铜箔
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职称材料
超薄铜箔在HDI的应用
4
作者
翁毅志
王晓玲(编译)
《覆铜板资讯》
2005年第6期34-40,共7页
本文详细介绍了超薄铜箔的结构和制造方法,并对两种结构的超薄铜箔在HDI线路板的应用作了对比,研究了蚀刻速率和剥离强度特性以及图形电镀、激光钻孔的工艺,为超薄铜箔的实际应用提供了可靠的依据。
关键词
超薄铜箔
激光钻孔
载体铜箔
电解铜箔
压延铜箔
蚀刻速率
图形电镀
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职称材料
不同超薄铜箔制作精细线路的研究——针对MSAP工艺
被引量:
1
5
作者
陈华丽
林辉
《印制电路信息》
2018年第A02期88-94,共7页
随着物联网时代&即时顾客定制化时代的到来,系统级封装(SIP,system in package)很好地解决了集成电路产业面临到的矛盾:可以用较低的成本进一步实现集成技术的提升,所以系统级封装被认为是下一代封装技术的主流。近两年随着智能...
随着物联网时代&即时顾客定制化时代的到来,系统级封装(SIP,system in package)很好地解决了集成电路产业面临到的矛盾:可以用较低的成本进一步实现集成技术的提升,所以系统级封装被认为是下一代封装技术的主流。近两年随着智能手机大量采用SIP系统模组:BGA的封装ball pitch进一步缩小到0.35mm或0.30mm,原有HDI的布线密度己无法满足要求,必须采用30μm/30μm的布线密度才能实现,这种线路采用掩蔽工艺无法实现,必须采用MSAP(modified semi-additive process)工艺。文章针对MSAP(modified semi-additive process)工艺采用不同的超薄铜箔试验细线路制作能力:即便超薄铜箔厚度只差2μm-3μm,制作线路级别也有很大的差别。经过试验,结合电迁移老化的可靠性测试和不同线路级别的线宽公差来看:2μm薄铜箔可以实现30μm/30μm线路制作,而5μm只能实现45μm/45μm的线路制作,接近现有tenting工艺的制作水平。这意味着.对于MSAP(modified semiadditive process)而言,精度控制等级会进一步提升且需要严格控制,否则,失之毫厘则谬以千里。
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关键词
改良型半加成工艺
铜载体超薄铜箔
超细线路
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职称材料
高密度超精细线路印制板用铜箔
6
作者
蔡积庆
《印制电路信息》
2003年第12期36-40,共5页
概述了附载体极薄铜箔和附树脂极薄铜箔制造工艺,特别适用于制造高密度超精细线路的多层板。
关键词
附载体极薄铜箔
附树脂极薄铜箔
制造工艺
线路印制板
剥离层
多层板
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职称材料
题名
附载体极薄铜箔的剥离机制
1
作者
殷光茂
韩俊青
杨祥魁
王浩然
武玉英
机构
山东大学材料液固结构演变与加工教育部重点实验室
山东金宝电子有限公司
出处
《精密成形工程》
北大核心
2024年第8期11-18,共8页
基金
国家重点研发计划(2021YFB3400800)
山东省泰山学者青年计划。
文摘
目的研究一种极薄铜箔制备过程中所需要的新型剥离层结构,以此来实现极薄铜箔的顺利剥离。方法利用两步电沉积法制备了可剥离的极薄铜箔,利用EBSD分析了“载体铜箔-剥离层-极薄铜箔”结构的附载体铜箔截面晶粒分布规律,利用聚焦离子束技术(FIB)制备了TEM样品,通过HRTEM对“载体铜箔-剥离层-极薄铜箔”结构中剥离层/极薄铜箔、剥离层/载体铜箔的界面微观结构进行了研究。结果与单一Ni剥离层相比,通过两步电沉积法制备的复合剥离层(Ni,Cr-O)具有更好的可剥离性,复合剥离层由有序Ni层和无序Cr-O层组成。复合剥离层中的Ni层与载体铜箔相结合,界面完全共格,形成较强的界面结合;复合剥离层中的无序Cr-O层与极薄铜箔相结合,Cr-O层与极薄铜箔界面原子紊乱,形成较弱的界面结合。对制备的极薄铜箔剥离强度进行测试可知,极薄铜箔与载体铜箔能够剥离,极薄铜箔与剥离层之间的剥离强度约为0.01N/mm。结论利用载体铜箔-剥离层、极薄铜箔-剥离层结合界面的差异化实现了界面结合的差异化,复合剥离层内有序和无序的结构分布调控了载体铜箔与剥离层、极薄铜箔与剥离层之间的界面结合,使剥离层与极薄铜箔之间的结合弱于剥离层与载体铜箔之间的结合,有助于极薄铜箔与剥离层分离,同时剥离层与载体铜箔之间不会分离,进而获得可洁净剥离的极薄铜箔。
关键词
极薄铜箔
剥离层
界面
载体铜箔
剥离强度
Keywords
ultra-thin
copper
foil
stripping
layer
interface
carrier
copper
foil
stripping
strength
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
一种提升PCB载流能力的设计方法
被引量:
1
2
作者
付可心
曾敏华
机构
研祥智能科技股份有限公司研发中心
国家特种计算机工程技术研究中心
出处
《工业控制计算机》
2023年第6期136-137,共2页
文摘
随着电子信息行业的不断发展,电子设备功能日渐多元,设备功率越来越高,设备电流也越来越大。此类设备的电路板设计要求具有较大的载流能力,基于此类需求,提出了一种通过优化PCB中铜箔路径来提升PCB载流能力的设计。
关键词
PCB
载流
铜箔
过孔
Keywords
PCB
carrier
copper
foil
via
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
超薄铜箔的制备工艺研究
被引量:
9
3
作者
邓庚凤
何桂荣
黄崛起
徐鹏
机构
江西理工大学冶金与化学工程学院
出处
《有色金属(冶炼部分)》
CAS
北大核心
2014年第2期50-53,60,共5页
基金
国家青年自然科学基金资助项目(51104072)
文摘
以载体支撑可剥离超薄铜箔的制备工艺为研究对象,用SEM考察电沉积时间、搅拌方式、电流密度及溶液温度等对铜箔表面形态的影响.结果表明,采用超声波搅拌,溶液温度45~50℃,电流密度15A/dm2,在载体亮面电沉积6 s的最佳工艺条件下,可以得到厚度小于5μm超薄铜箔层.
关键词
载体
可剥离箔
超薄铜箔
Keywords
carrier
foil
peelable
foil
ultra-thin
copper
foil
分类号
TF01 [冶金工程—冶金物理化学]
下载PDF
职称材料
题名
超薄铜箔在HDI的应用
4
作者
翁毅志
王晓玲(编译)
机构
咸阳
出处
《覆铜板资讯》
2005年第6期34-40,共7页
文摘
本文详细介绍了超薄铜箔的结构和制造方法,并对两种结构的超薄铜箔在HDI线路板的应用作了对比,研究了蚀刻速率和剥离强度特性以及图形电镀、激光钻孔的工艺,为超薄铜箔的实际应用提供了可靠的依据。
关键词
超薄铜箔
激光钻孔
载体铜箔
电解铜箔
压延铜箔
蚀刻速率
图形电镀
Keywords
Ultra
thin
copper
foil
Laser
drill
carrier
copper
foil
Electrodeposited(E.D)
copper
foil
Rolled
copper
foil
Etch
rate
Pattern
plating
分类号
TN405.94 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN41
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职称材料
题名
不同超薄铜箔制作精细线路的研究——针对MSAP工艺
被引量:
1
5
作者
陈华丽
林辉
机构
汕头超声印制板公司
出处
《印制电路信息》
2018年第A02期88-94,共7页
文摘
随着物联网时代&即时顾客定制化时代的到来,系统级封装(SIP,system in package)很好地解决了集成电路产业面临到的矛盾:可以用较低的成本进一步实现集成技术的提升,所以系统级封装被认为是下一代封装技术的主流。近两年随着智能手机大量采用SIP系统模组:BGA的封装ball pitch进一步缩小到0.35mm或0.30mm,原有HDI的布线密度己无法满足要求,必须采用30μm/30μm的布线密度才能实现,这种线路采用掩蔽工艺无法实现,必须采用MSAP(modified semi-additive process)工艺。文章针对MSAP(modified semi-additive process)工艺采用不同的超薄铜箔试验细线路制作能力:即便超薄铜箔厚度只差2μm-3μm,制作线路级别也有很大的差别。经过试验,结合电迁移老化的可靠性测试和不同线路级别的线宽公差来看:2μm薄铜箔可以实现30μm/30μm线路制作,而5μm只能实现45μm/45μm的线路制作,接近现有tenting工艺的制作水平。这意味着.对于MSAP(modified semiadditive process)而言,精度控制等级会进一步提升且需要严格控制,否则,失之毫厘则谬以千里。
关键词
改良型半加成工艺
铜载体超薄铜箔
超细线路
Keywords
MSAP
process
Ultra
Thin
foil
With
carrier
copper
foil
Ultra-Fine
Line
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
高密度超精细线路印制板用铜箔
6
作者
蔡积庆
机构
南京无线电八厂
出处
《印制电路信息》
2003年第12期36-40,共5页
文摘
概述了附载体极薄铜箔和附树脂极薄铜箔制造工艺,特别适用于制造高密度超精细线路的多层板。
关键词
附载体极薄铜箔
附树脂极薄铜箔
制造工艺
线路印制板
剥离层
多层板
Keywords
carrier
-coated
copper
foil
high
density
and
superfine
pattern
multilayer
board
stripping
layer
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN04
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
附载体极薄铜箔的剥离机制
殷光茂
韩俊青
杨祥魁
王浩然
武玉英
《精密成形工程》
北大核心
2024
0
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职称材料
2
一种提升PCB载流能力的设计方法
付可心
曾敏华
《工业控制计算机》
2023
1
下载PDF
职称材料
3
超薄铜箔的制备工艺研究
邓庚凤
何桂荣
黄崛起
徐鹏
《有色金属(冶炼部分)》
CAS
北大核心
2014
9
下载PDF
职称材料
4
超薄铜箔在HDI的应用
翁毅志
王晓玲(编译)
《覆铜板资讯》
2005
0
下载PDF
职称材料
5
不同超薄铜箔制作精细线路的研究——针对MSAP工艺
陈华丽
林辉
《印制电路信息》
2018
1
下载PDF
职称材料
6
高密度超精细线路印制板用铜箔
蔡积庆
《印制电路信息》
2003
0
下载PDF
职称材料
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