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±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计
被引量：
2
1
作者
虎勇
李绍荣
+5 位作者
郭威
蒋婷
郭小伟
邹力
任颖慧
梁杰
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期444-450,共7页
微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速...
微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构,通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析,保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明,该结构实现了模态分离避免了模态干扰,且交叉灵敏度均小于0.3%,有效地降低了交叉串扰。
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关键词
电容式加速度计
高精度
MEMS
三质量块
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职称材料
电容式微加速度计闭环检测电路
被引量：
5
2
作者
宋星
房建成
盛蔚
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期384-388,共5页
针对硅微惯性器件中的微小差分电容检测,提出了一种应用于三明治结构差分电容式微机械加速度计的闭环检测电路.通过等电势屏蔽法,相干解调技术和增加激励信号对称性等技术屏蔽杂散电容,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测电路的微弱...
针对硅微惯性器件中的微小差分电容检测,提出了一种应用于三明治结构差分电容式微机械加速度计的闭环检测电路.通过等电势屏蔽法,相干解调技术和增加激励信号对称性等技术屏蔽杂散电容,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测电路的微弱信号辨识能力;静电力平衡闭环检测克服了开环输出信号的非线性缺陷,实现了高线性度、高分辨率的电容检测.设计的闭环检测电路具有电路简单、线性度好、抗干扰性强和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计量程可达±15g,电容分辨率可达10-16F.
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关键词
微机械电容式加速度计
电容检测
微弱信号检测
锁相放大
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职称材料
题名
±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计
被引量：
2
1
作者
虎勇
李绍荣
郭威
蒋婷
郭小伟
邹力
任颖慧
梁杰
机构
雅砻江流域水电开发有限公司
电子科技大学光电科学与工程学院
电子科技大学长三角研究院(湖州)
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期444-450,共7页
基金
雅砻江官地水力发电厂基于MEMS智能传感器的水工边坡风险实时监测试验研究科研项目的支持。
文摘
微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构,通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析,保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明,该结构实现了模态分离避免了模态干扰,且交叉灵敏度均小于0.3%,有效地降低了交叉串扰。
关键词
电容式加速度计
高精度
MEMS
三质量块
Keywords
capacitive
accelerometers
high
accuracy
MEMS
three
mass
blocks
分类号
TP73 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
电容式微加速度计闭环检测电路
被引量：
5
2
作者
宋星
房建成
盛蔚
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期384-388,共5页
基金
国防基础科研资助项目(D2120060013)
国家自然科学基金资助项目(60736025)
文摘
针对硅微惯性器件中的微小差分电容检测,提出了一种应用于三明治结构差分电容式微机械加速度计的闭环检测电路.通过等电势屏蔽法,相干解调技术和增加激励信号对称性等技术屏蔽杂散电容,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测电路的微弱信号辨识能力;静电力平衡闭环检测克服了开环输出信号的非线性缺陷,实现了高线性度、高分辨率的电容检测.设计的闭环检测电路具有电路简单、线性度好、抗干扰性强和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计量程可达±15g,电容分辨率可达10-16F.
关键词
微机械电容式加速度计
电容检测
微弱信号检测
锁相放大
Keywords
MEMS
（
micro
electro
mechanical
system）
capacitive
accelerometers
capacit
ance
detection
weak
signal
detection
phase-locked-loop
amplify
分类号
TP221 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计
虎勇
李绍荣
郭威
蒋婷
郭小伟
邹力
任颖慧
梁杰
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
2
下载PDF
职称材料
2
电容式微加速度计闭环检测电路
宋星
房建成
盛蔚
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
5
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职称材料
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