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单粒子瞬变中的双极放大效应研究 被引量:5
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作者 刘征 陈书明 +2 位作者 梁斌 刘必慰 赵振宇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期649-654,共6页
采用三维数值模拟的方法对比研究了单个NMOS晶体管和反相器链中的单粒子瞬变(single event transient,SET)电流脉冲,发现深亚微米工艺下双极放大电流在单管的SET电流脉冲中占主要成分,而在反相器链的SET模拟中不明显,分析二者的区别解... 采用三维数值模拟的方法对比研究了单个NMOS晶体管和反相器链中的单粒子瞬变(single event transient,SET)电流脉冲,发现深亚微米工艺下双极放大电流在单管的SET电流脉冲中占主要成分,而在反相器链的SET模拟中不明显,分析二者的区别解释了源/体结偏压的形成过程和放大机理,并证明了双极放大效应受源/体结偏压影响的结论.在此基础上分析了NMOS管中源极的正向电流及其机理,发现台阶区的源极正向电流主要是由扩散作用形成的. 展开更多
关键词 单粒子瞬变 双极放大 混合模拟 台阶区电流
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Fin width and height dependence of bipolar amplification in bulk FinFETs submitted to heavy ion irradiation 被引量:3
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作者 于俊庭 陈书明 +1 位作者 陈建军 黄鹏程 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期650-655,共6页
FinFET technologies are becoming the mainstream process as technology scales down. Based on a 28-nm bulk p- FinFET device, we have investigated the fin width and height dependence of bipolar amplification for heavy-io... FinFET technologies are becoming the mainstream process as technology scales down. Based on a 28-nm bulk p- FinFET device, we have investigated the fin width and height dependence of bipolar amplification for heavy-ion-irradiated FinFETs by 3D TCAD numerical simulation. Simulation results show that due to a well bipolar conduction mechanism rather than a channel (fin) conduction path, the transistors with narrower fins exhibit a diminished bipolar amplification effect, while the fin height presents a trivial effect on the bipolar amplification and charge collection. The results also indicate that the single event transient (SET) pulse width can be mitigated about 35% at least by optimizing the ratio of fin width and height, which can provide guidance for radiation-hardened applications in bulk FinFET technology. 展开更多
关键词 fin width and height bipolar amplification single event transient bulk FinFET
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Analysis of single-event transient sensitivity in fully depleted silicon-on-insulator MOSFETs 被引量:3
3
作者 Jing-Yan Xu Shu-Ming Chen +2 位作者 Rui-Qiang Song Zhen-Yu Wu Jian-Jun Chen 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2018年第4期108-113,共6页
Based on 3 D-TCAD simulations, single-event transient(SET) effects and charge collection mechanisms in fully depleted silicon-on-insulator(FDSOI) transistors are investigated. This work presents a comparison between28... Based on 3 D-TCAD simulations, single-event transient(SET) effects and charge collection mechanisms in fully depleted silicon-on-insulator(FDSOI) transistors are investigated. This work presents a comparison between28-nm technology and 0.2-lm technology to analyze the impact of strike location on SET sensitivity in FDSOI devices. Simulation results show that the most SET-sensitive region in FDSOI transistors is the drain region near the gate. An in-depth analysis shows that the bipolar amplification effect in FDSOI devices is dependent on the strike locations. In addition, when the drain contact is moved toward the drain direction, the most sensitive region drifts toward the drain and collects more charge. This provides theoretical guidance for SET hardening. 展开更多
关键词 Single-event transient Charge COLLECTION bipolar amplification Fully depleted SILICON-ON-INSULATOR
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The modulation effect of substrate doping on multi-node charge collection and single-event transient propagation in 90-nm bulk complementary metal-oxide semiconductor technology 被引量:2
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作者 秦军瑞 陈书明 +3 位作者 刘必慰 刘征 梁斌 杜延康 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期517-524,共8页
Variation of substrate background doping will affect the charge collection of active and passive MOSFETs in complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) technologies, which are significant for charge sharing, thus... Variation of substrate background doping will affect the charge collection of active and passive MOSFETs in complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) technologies, which are significant for charge sharing, thus affecting the propagated single event transient pulsewidths in circuits. The trends of charge collected by the drain of a positive channel metal-oxide semiconductor (PMOS) and an N metal-oxide semiconductor (NMOS) are opposite as the substrate doping increases. The PMOS source will inject carriers after strike and the amount of charge injected will irlcrease as the substrate doping increases, whereas the source of the NMOS will mainly collect carriers and the source of the NMOS can also inject electrons when the substrate doping is light enough. Additionally, it indicates that substrate doping mainly affects the bipolar amplification component of a single-event transient current, and has little effect on the drift and diffusion. The change in substrate doping has a much greater effect on PMOS than on NMOS. 展开更多
关键词 substrate doping charge collection single event transient propagation bipolar amplification
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Effect of body biasing on single-event induced charge collection in deep N-well technology
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作者 丁一 胡建国 +1 位作者 秦军瑞 谭洪舟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期612-616,共5页
As the device size decreases, the soft error induced by space ions is becoming a great concern for the reliability of integrated circuits(ICs). At present, the body biasing technique is widely used in highly scaled ... As the device size decreases, the soft error induced by space ions is becoming a great concern for the reliability of integrated circuits(ICs). At present, the body biasing technique is widely used in highly scaled technologies. In the paper, using the three-dimensional technology computer-aided design(TCAD) simulation, we analyze the effect of the body biasing on the single-event charge collection in deep N-well technology. Our simulation results show that the body biasing mainly affects the behavior of the source, and the effect of body biasing on the charge collection for the nMOSFET and pMOSFET is quite different. For the nMOSFET, the RBB will increase the charge collection, while the FBB will reduce the charge collection. For the pMOSFET, the effect of RBB on the SET pulse width is small, while the FBB has an adverse effect. Moreover, the differenceof the effect of body biasing on the charge collection is compared in deep N-well and twin well. 展开更多
关键词 body biasing ELECTRON HOLE bipolar amplification
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0.13μm部分耗尽SOI工艺反相器链SET脉宽传播 被引量:1
6
作者 上官士鹏 朱翔 +3 位作者 陈睿 马英起 李赛 韩建伟 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期2193-2198,共6页
基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(PD-SOI)工艺,设计了一款片上反相器链(DFF)单粒子瞬态(SET)脉宽测试电路并流片实现,SET脉宽测试范围为105~3150 ps,精度为±52.5 ps。利用重离子加速器和脉冲激光模拟单粒子效应试验装置对器件进行了... 基于0.13μm部分耗尽绝缘体上硅(PD-SOI)工艺,设计了一款片上反相器链(DFF)单粒子瞬态(SET)脉宽测试电路并流片实现,SET脉宽测试范围为105~3150 ps,精度为±52.5 ps。利用重离子加速器和脉冲激光模拟单粒子效应试验装置对器件进行了SET脉宽试验。采用线性能量传输(LET值)为37.6 MeV·cm^2/mg的86Kr离子触发了反相器链的三级脉宽传播,利用脉冲激光正面测试器件触发了相同级数的脉宽,同时,激光能量值为5500pJ时触发了反相器链的双极放大效应,脉宽展宽32.4%。通过对比激光与重离子的试验结果,以及明确激光到达有源区的有效能量的影响因子,建立了激光有效能量与重离子LET值的对应关系,分析了两者对应关系偏差的原因。研究结果可为其他种类芯片单粒子效应试验建立激光有效能量与重离子LET值的对应关系提供参考。 展开更多
关键词 部分耗尽绝缘体上硅(PD-SOI) 重离子加速器 脉冲激光 有效能量 脉冲宽度 双极放大
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65nm体硅CMOS工艺器件尺寸对其脉冲削减效应的影响
7
作者 李鹏 赵振宇 +1 位作者 郑超 张民选 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期33-38,共6页
利用电路级模拟方法,在65nm体硅CMOS工艺条件下研究了器件尺寸对其脉冲削减效应的影响.结果表明,当被动反相器的尺寸改变时,脉冲削减效应的变化趋势与其内部双极放大效应的强弱有关.在双极放大效应较强时,脉冲削减效应随尺寸的增加而增... 利用电路级模拟方法,在65nm体硅CMOS工艺条件下研究了器件尺寸对其脉冲削减效应的影响.结果表明,当被动反相器的尺寸改变时,脉冲削减效应的变化趋势与其内部双极放大效应的强弱有关.在双极放大效应较强时,脉冲削减效应随尺寸的增加而增强;反之,则其脉冲削减效应随尺寸的增加而减弱. 展开更多
关键词 电荷共享 脉冲削减 双极放大 电路级模拟
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22nm全耗尽型绝缘体上硅器件单粒子瞬态效应的敏感区域
8
作者 张博翰 梁斌 +1 位作者 刘小年 方亚豪 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期146-152,共7页
基于3D-TCAD模拟,研究了22 nm全耗尽型绝缘体上硅(fully depleted silicon-on-insulator,FDSOI)器件单粒子瞬态(single-event transient,SET)效应的敏感性区域。对比了使用单管和使用反相器来研究器件SET敏感性区域的方法,从而分析实际... 基于3D-TCAD模拟,研究了22 nm全耗尽型绝缘体上硅(fully depleted silicon-on-insulator,FDSOI)器件单粒子瞬态(single-event transient,SET)效应的敏感性区域。对比了使用单管和使用反相器来研究器件SET敏感性区域的方法,从而分析实际电路中重离子轰击位置对22 nm FDSOI器件SET敏感性的影响,并从电荷收集机制的角度进行了解释。深入分析发现寄生双极放大效应对重粒子轰击位置敏感是造成器件不同区域SET敏感性不同的原因。而单管漏极接恒压源造成漏极敏感性增强是导致单管与反相器中器件SET敏感区域不同的原因。修正了FDSOI工艺下器件SET敏感性区域的研究方法,与单管相比,采用反相器进行仿真,结果更符合实际情况,这将为器件SET加固提供理论指导。 展开更多
关键词 单粒子瞬态 电荷收集 双极放大效应 敏感区域 全耗尽型绝缘体上硅
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基于优化模型的纳米器件逻辑单元单粒子瞬态仿真研究
9
作者 王坦 丁李利 +3 位作者 罗尹虹 赵雯 张凤祁 徐静妍 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1119-1126,共8页
空间辐射诱发的单粒子瞬态(SET)是航天电子系统可靠性的主要威胁。本文分析了现有电荷注入仿真模型的不足,提出了一种改进的结合灵敏体和双极扩散机制的电荷收集模型,综合考虑了寄生双极放大效应和电荷共享效应,可针对不同角度、不同线... 空间辐射诱发的单粒子瞬态(SET)是航天电子系统可靠性的主要威胁。本文分析了现有电荷注入仿真模型的不足,提出了一种改进的结合灵敏体和双极扩散机制的电荷收集模型,综合考虑了寄生双极放大效应和电荷共享效应,可针对不同角度、不同线性能量传输值(LET)的重离子入射版图不同位置,计算获取SET平均脉宽及敏感截面分布。该方法已集成于项目组自研TREES软件,并针对商用65 nm工艺库中的多种逻辑单元开展了相关仿真计算。结果表明,该方法可在物理版图设计阶段评估单粒子瞬态截面及脉宽分布,为版图屏蔽SET设计加固提供基础参考数据。 展开更多
关键词 空间辐射 单粒子瞬态 电路级仿真 电荷共享 寄生双极放大
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Simulation analysis of heavy-ion-induced single-event response for nanoscale bulk-Si FinFETs and conventional planar devices 被引量:2
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作者 YU JunTing CHEN ShuMing +1 位作者 CHEN JianJun HUANG PengCheng 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期459-466,共8页
FinFET technologies are becoming the mainstream process as technology scales down.Based on 28-nm bulk-Si FinFETs and
关键词 charge collection bipolar amplification reversed bipolar effect single-event effect(SEE) single-event transient(SET) FinFET planar device
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Temperature dependence of the P-hit single event transient pulse width in a three-transistor inverter chain 被引量:3
11
作者 Chen Shu-Ming Chen Jian-Jun 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第1期340-345,共6页
A comparison of the temperature dependence of the P-hit single event transient (SET) in a two-transistor (2T) inverter with that in a three-transistor (3T) inverter is carried out based on a three-dimensional nu... A comparison of the temperature dependence of the P-hit single event transient (SET) in a two-transistor (2T) inverter with that in a three-transistor (3T) inverter is carried out based on a three-dimensional numerical simulation. Due to the significantly distinct mechanisms of the single event change collection in the 2T and the 3T inverters, the temperature plays different roles in the SET production and propagation. The SET pulse will be significantly broadened in the 2T inverter chain while will be compressed in the 3T inverter chain as temperature increases. The investigation provides a new insight into the SET mitigation under the extreme environment, where both the high temperature and the single event effects should be considered. The 3T inverter layout structure (or similar layout structures) will be a better solution for spaceborne integrated circuit design for extreme environments. 展开更多
关键词 temperature dependence single event transient parasitic bipolar amplification effect charge sharing collection
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New insight into the parasitic bipolar amplification effect in single event transient production 被引量:1
12
作者 Chen Jian-Jun Chen Shu-Ming +1 位作者 Liang Bin Deng Ke-Feng 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第1期334-339,共6页
In this paper, a new method is proposed to study the mechanism of charge collection in single event transient (SET) production in 90 nm bulk complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology. We find that ... In this paper, a new method is proposed to study the mechanism of charge collection in single event transient (SET) production in 90 nm bulk complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology. We find that different from the case in the pMOSFET, the parasitic bipolar amplification effect (bipolar effect) in the balanced inverter does not exist in the nMOSFET after the ion striking. The influence of the suhstrate process on the bipolar effect is also studied in the pMOSFET. We find that the bipolar effect can be effectively mitigated by a buried deep P+-well layer and can be removed by a buried SO2 layer. 展开更多
关键词 parasitic bipolar amplification effect bipolar effect) single event transient substrateprocess
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90nm CMOS工艺下p^+深阱掺杂浓度对电荷共享的影响 被引量:4
13
作者 刘凡宇 刘衡竹 +2 位作者 刘必慰 梁斌 陈建军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期461-468,共8页
基于3维TCAD器件模拟,研究了90nmCMOS双阱工艺下p+深阱掺杂对电荷共享的影响.研究结果表明:改变p+深阱的掺杂浓度对PMOS管之间的电荷共享的影响要远大于NMOS管;通过增加p+深阱的掺杂浓度可以有效抑制PMOS管之间的电荷共享.这一结论可用... 基于3维TCAD器件模拟,研究了90nmCMOS双阱工艺下p+深阱掺杂对电荷共享的影响.研究结果表明:改变p+深阱的掺杂浓度对PMOS管之间的电荷共享的影响要远大于NMOS管;通过增加p+深阱的掺杂浓度可以有效抑制PMOS管之间的电荷共享.这一结论可用于指导电荷共享的加固. 展开更多
关键词 电荷共享 单粒子效应 p+深阱掺杂 双极晶体管效应
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带有n+深阱的三阱CMoS工艺中寄生NPN双极效应及其对电荷共享的影响 被引量:4
14
作者 刘必慰 陈建军 +1 位作者 陈书明 池雅庆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期360-366,共7页
基于三维TCAD器件模拟,研究了带有n^+深阱的90 nm三阱CMOS器件在重离子辐照下产生的电荷共享效应.研究结果表明在重离子辐照时,n^+深阱会导致寄生的NPN双极型晶体管触发,显著增强NMOS间的电荷共享,其放大因子达到双阱工艺中寄生PNP晶体... 基于三维TCAD器件模拟,研究了带有n^+深阱的90 nm三阱CMOS器件在重离子辐照下产生的电荷共享效应.研究结果表明在重离子辐照时,n^+深阱会导致寄生的NPN双极型晶体管触发,显著增强NMOS间的电荷共享,其放大因子达到双阱工艺中寄生PNP晶体管放大因子的2—4倍.进而分别研究了n阱接触和P阱接触对寄生NPN双极放大的影响,结果表明增大P阱接触的面积和减小n阱接触的距离将抑制NPN晶体管的放大作用,而增大n阱接触的面积将增强NPN的放大作用. 展开更多
关键词 电荷共享 单粒子效应 n^+深阱 寄生双极型晶体管
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Parasitic bipolar amplification in a single event transient and its temperature dependence 被引量:2
15
作者 刘征 陈书明 +2 位作者 陈建军 秦军瑞 刘蓉容 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期607-612,共6页
Using three-dimensional technology computer-aided design (TCAD) simulation, parasitic bipolar amplification in a single event transient (SET) current of a single transistor and its temperature dependence are studi... Using three-dimensional technology computer-aided design (TCAD) simulation, parasitic bipolar amplification in a single event transient (SET) current of a single transistor and its temperature dependence are studied. We quantify the contributions of different current components in a SET current pulse, and it is found that the proportion of parasitic bipolar amplification in total collected charge is about 30% in both ]30-nm and 90-nm technologies. The temperature dependence of parasitic bipolar amplification and the mechanism of the SET pulse are also investigated and quantified. The results show that the proportion of charge induced by parasitic bipolar increases with rising temperature, which illustrates that the parasitic bipolar amplification plays an important role in the charge collection of a single transistor. 展开更多
关键词 single event transient parasitic bipolar amplification funnel-aided drift temperature dependence
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CMOS器件单粒子效应电荷收集机理 被引量:2
16
作者 董刚 封国强 +1 位作者 陈睿 韩建伟 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期839-843,共5页
针对90 nm CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺,采用三维数值模拟方法,研究了反相器中NMOS(Negative channel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管与PMOS(Positive channel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管的单粒子瞬变... 针对90 nm CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺,采用三维数值模拟方法,研究了反相器中NMOS(Negative channel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管与PMOS(Positive channel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管的单粒子瞬变(SET,Single Event Transient)电流脉冲,深入分析了PMOSFET(Positive channel-Metal-Oxide-Semiconductor FieldEffect Transistor)与NMOSFET(Negative channel-Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)发生单粒子效应时电荷输运过程和电荷收集机理.研究结果表明,由于电路耦合作用,反相器中晶体管的电荷收集与单个晶体管差异显著;反相器中PMOS晶体管电荷收集过程中存在寄生双极放大效应,NMOS晶体管中不存在寄生双极放大效应;由于双极放大效应,90 nm工艺下PMOS晶体管产生的SET电压脉冲比NMOS晶体管产生的电压脉冲持续时间更长,进而导致PMOS晶体管的SET效应更加敏感.研究结果为数字电路SET的精确建模、进行大规模集成电路SET效应模拟提供了参考依据. 展开更多
关键词 单粒子瞬变 重离子 寄生双极放大效应 反相器 电荷收集 CMOS工艺
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28nm MOSFET器件的单粒子效应 被引量:1
17
作者 张龙涛 曹艳荣 +5 位作者 任晨 马毛旦 吕航航 吕玲 郑雪峰 马晓华 《现代应用物理》 2022年第1期116-124,共9页
利用SILVACO TCAD软件构建了28 nm MOSFET器件的3维结构,创建了单粒子的迁移率和载流子等仿真物理模型,仿真模拟了重离子入射位置、LET值、入射角度及器件的漏极掺杂浓度、漏极偏置电压对28 nm MOSFET器件单粒子效应的影响,分析了重离... 利用SILVACO TCAD软件构建了28 nm MOSFET器件的3维结构,创建了单粒子的迁移率和载流子等仿真物理模型,仿真模拟了重离子入射位置、LET值、入射角度及器件的漏极掺杂浓度、漏极偏置电压对28 nm MOSFET器件单粒子效应的影响,分析了重离子入射引起器件双极放大效应。仿真结果表明:MOSFET器件对单粒子效应敏感的位置是临近轻掺杂的漏极,通过提取耗尽区电势,发现不同位置单粒子漏极瞬态电流的峰值与电势的大小基本保持一致;漏极瞬态电流峰值随着LET值和漏极偏置电压的增大而增大,而随着器件的漏极掺杂浓度的增大而减小;漏极瞬态电流峰值随着粒子入射角度的增大而增大,这是器件内部电离面积的变化引起的。另外,单粒子效应会导致MOSFET体内的寄生晶体管导通,使大量电子从源极流入漏极,产生的电流与单粒子电离形成的电流叠加使电路节点电压突变,导致电路功能紊乱,研究表明双极放大增益可达3.3。 展开更多
关键词 MOSFET 单粒子效应 TCAD仿真 瞬态电流 双极放大增益
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Experimental verification of the parasitic bipolar amplification effect in PMOS single event transients
18
作者 何益百 陈书明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期775-779,共5页
The contribution of parasitic bipolar amplification to SETs is experimentally verified using two P-hit target chains in the normal layout and in the special layout. For PMOSs in the normal layout, the single-event cha... The contribution of parasitic bipolar amplification to SETs is experimentally verified using two P-hit target chains in the normal layout and in the special layout. For PMOSs in the normal layout, the single-event charge collection is composed of diffusion, drift, and the parasitic bipolar effect, while for PMOSs in the special layout, the parasitic bipolar junction transistor cannot turn on. Heavy ion experimental results show that PMOSs without parasitic bipolar amplification have a 21.4% decrease in the average SET pulse width and roughly a 40.2% reduction in the SET cross-section. 展开更多
关键词 single event effect single event transient parasitic bipolar amplification heavy ion experiments
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双阱CMOS器件单粒子瞬态效应机理研究 被引量:2
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作者 张准 贺威 +4 位作者 骆盛 贺凌翔 曹建民 刘毅 王坤 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期135-140,共6页
介绍了一种65nm双阱CMOS工艺设计的六管SRAM单元的抗辐射性能。通过三维有限元数值模拟的方法,分析了SRAM单元的单粒子瞬态效应在NMOS管中的电荷收集过程和瞬态脉冲电流的组成部分,并提出一种高拟合度的临界电荷计算方案。双阱器件共享... 介绍了一种65nm双阱CMOS工艺设计的六管SRAM单元的抗辐射性能。通过三维有限元数值模拟的方法,分析了SRAM单元的单粒子瞬态效应在NMOS管中的电荷收集过程和瞬态脉冲电流的组成部分,并提出一种高拟合度的临界电荷计算方案。双阱器件共享电荷诱发的寄生双极放大效应对相邻PMOS管的稳定性有着显著的影响,高线性能量传输提高了器件单粒子翻转的敏感性。电学特性表明,全三维器件数值仿真的方法能够有效评估因内建电势突变产生的瞬态脉冲电流。该方法满足器件仿真对精确度的要求。 展开更多
关键词 单粒子瞬态 电荷收集 寄生双极放大效应 三维器件仿真
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90纳米CMOS双阱工艺下STI深度对电荷共享的影响 被引量:1
20
作者 刘衡竹 刘凡宇 +1 位作者 刘必慰 梁斌 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期136-139,共4页
基于3维TCAD器件模拟,研究了90nm CMOS双阱工艺下STI对电荷共享的影响。研究结果表明:增大STI深度能有效抑制NMOS电荷共享,且550nm为抑制电荷共享的有效深度,超过这个深度收集的电荷量几乎保持不变;而对于PMOS,STI深度的增加使电荷共享... 基于3维TCAD器件模拟,研究了90nm CMOS双阱工艺下STI对电荷共享的影响。研究结果表明:增大STI深度能有效抑制NMOS电荷共享,且550nm为抑制电荷共享的有效深度,超过这个深度收集的电荷量几乎保持不变;而对于PMOS,STI深度的增加使电荷共享线性减小。这对于电荷共享加固具有重要指导意义。 展开更多
关键词 电荷共享 单粒子效应 浅沟槽隔离(STI) 双极效应
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