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抗高过载MEMS器件双层异质防护结构的仿真研究 被引量：1
1
作者 冯登虎 石云波 +3 位作者 赵锐 陈玉楠 张鹏 闫晓朋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第11期15-18,共4页
针对MEMS器件的缓冲防护,建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型。通过数值仿真,外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2︰1的双层防护结构缓冲性能最佳。其响应加速度峰值比可达到0.47,... 针对MEMS器件的缓冲防护,建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型。通过数值仿真,外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2︰1的双层防护结构缓冲性能最佳。其响应加速度峰值比可达到0.47,误差小于4.60%。通过对MEMS器件的防护结构进行优化设计,为双层粘弹性材料用于MEMS器件抗高过载防护结构的研究和应用提供了理论基础和技术支持。 展开更多
关键词 MEMS器件 双层异质 缓冲吸能 粘弹性材料 二阶系统
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