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电子束曝光机束闸电路
被引量：
1
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作者
张明
《微细加工技术》
2000年第4期6-8,35,共4页
介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。
关键词
电子束曝光机
束闸电路
开关电路
下载PDF
职称材料
题名
电子束曝光机束闸电路
被引量：
1
1
作者
张明
机构
山东工业大学自动化系
出处
《微细加工技术》
2000年第4期6-8,35,共4页
文摘
介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。
关键词
电子束曝光机
束闸电路
开关电路
Keywords
electron
beam
exposure
machine
beam
blanking
circuit
switch
circuit
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束曝光机束闸电路
张明
《微细加工技术》
2000
1
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职称材料
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