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题名半导体器件内部缺陷标注与检测方法研究
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作者
白宇
王珺
冉红雷
安胜彪
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机构
河北科技大学信息科学与工程学院
中国电子科技集团公司第十三研究所
国家半导体器件质量检验检测中心
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出处
《计算机工程》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期245-253,共9页
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基金
国家自然科学基金(61902108)
河北省自然科学基金(F2019208305)。
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文摘
半导体器件封装过程中出现的内部空洞缺陷会直接影响电子设备的性能。针对半导体器件X射线内部图像空洞缺陷中尺度不一、难标注、难定位及噪声干扰等问题,提出半自动标注方法和基于U-Net的器件内部空洞缺陷检测方法。半自动标注方法使用阈值分割初步定位缺陷区域,生成缺陷的外接矩形框,然后人工对矩形框进行精细化修改和完善,作为提示输入到分段任意模型(SAM)中,得到高精度的分割结果。半自动标注方法能够节省标注时间且提高标签质量,克服标注难题。针对经典U-Net方法泛化性较差的问题,提出一种改进的U-Net方法(EFU-Net)。首先在编码器中引入边缘位置增强(EPE)模块,通过结合Sobel滤波器和坐标注意力机制加强对图像边缘信息的感知,有效整合位置信息,以提高特征提取的准确性;然后引入特征融合控制(FFC)模块替代传统的跳跃连接,融合高层特征、低层特征和预测掩码3个特征,并利用多层并行空洞卷积和注意力门控机制实现更有针对性和高质量的特征融合。在半导体器件数据集上的实验结果表明,EFU-Net的Dice系数和MIoU分别达到70.71%、77.23%,与U-Net方法相比,分别提升了14和7.71个百分点,具有更好的分割性能。
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关键词
缺陷检测
语义分割
半自动标注
边缘位置增强
注意力机制
特征融合控制
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Keywords
defect detection
semantic segmentation
semi-automatic annotation
edge position Enhancement(EPE)
attention mechanism
Feature Fusion control(FFC)
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于智能PI算法的自动纠偏系统的研究
被引量：2
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作者
张恒新
王如跃
吕柏权
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机构
上海大学机电工程与自动化学院
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出处
《仪表技术》
2009年第12期8-10,共3页
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文摘
论述自动纠偏控制系统的硬件设计、软件编程和系统仿真。文章以带钢卷取纠偏为例,研究的边缘位置控制系统主要是由光电传感器、全数字智能PI控制器、液压站及卷取机组成的计算机位置控制系统。光电传感器采集位置信号后经计算机处理,再将处理后的信号经放大传给液压装置,最后推动卷取机进行带钢纠偏。仿真结果表明,此自动纠偏系统具有很好的动态和稳态性能。
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关键词
自动纠偏
光电传感器
边缘位置控制
智能PI算法
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Keywords
automatic deviation
photoelectric sensor
edge position control
intelligent PI algorithm
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分类号
TP31
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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题名铝带材位置自动控制技术的应用研究
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作者
高显功
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机构
东北轻合金有限责任公司
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出处
《有色金属加工》
CAS
2003年第3期39-41,38,共4页
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文摘
介绍三种铝带材位置自动对中(对齐)控制系统,分析了位置采样方法、输出信号离散的原因、系统的动态特性及不利的现场因素,提出了开发设计及应用时应予以重视和解决的问题。
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关键词
铝带材
自动对中控制
自动对齐控制
位置采样
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Keywords
aluminum strip
automatic center position control
automatic edge position control
position sampling
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分类号
TG334.9
[金属学及工艺—金属压力加工]
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