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基于SiC材料的空间相机非球面反射镜结构设计 被引量:65
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作者 张学军 李志来 张忠玉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期577-582,共6页
针对空间相机中优质轻型光学反射镜对材料提出的要求,详细讨论了设计基于SiC材料空间反射镜的一系列问题,包括径厚比的选择、支撑点数量、轻量化结构形式、材料特性匹配等,提出了一种背部半封闭、三角形孔的轻量化形式,并设计制造了Φ60... 针对空间相机中优质轻型光学反射镜对材料提出的要求,详细讨论了设计基于SiC材料空间反射镜的一系列问题,包括径厚比的选择、支撑点数量、轻量化结构形式、材料特性匹配等,提出了一种背部半封闭、三角形孔的轻量化形式,并设计制造了Φ600 mm轻量化SiC反射镜实验件。抛光后反射镜面形精度优于λ/20 rms。为验证重力变形的影响,将反射镜分别旋转了90°和180°,用Zygo干涉仪检验,3个方向检测结果误差均小于λ/100 rms。在此基础上设计完成了某空间相机中的SiC非球面主镜、次镜、第三镜,结果表明基于SiC材料的反射镜在重力变形、谐振频率、热变形等方面均能满足使用要求,而且与玻璃材料相比,在很大程度上降低了重量。 展开更多
关键词 碳化硅 空间相机 反射镜 非球面
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磁流变抛光技术的研究现状及其发展 被引量:22
2
作者 康桂文 《机床与液压》 北大核心 2008年第3期173-175,182,共4页
磁流变液是近年来得到广泛重视的一种新型的智能材料,应用磁流变抛光技术对光学材料进行确定性加工得到了越来越多的重视。本文对国内外磁流变抛光技术的研究概况进行了综述。介绍了磁流变抛光技术在光学加工中的应用,分析了其中应重点... 磁流变液是近年来得到广泛重视的一种新型的智能材料,应用磁流变抛光技术对光学材料进行确定性加工得到了越来越多的重视。本文对国内外磁流变抛光技术的研究概况进行了综述。介绍了磁流变抛光技术在光学加工中的应用,分析了其中应重点解决的问题,并对磁流变抛光技术的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 磁流变液 磁流变抛光 非球面
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含有非球面的宽波段大相对孔径星敏感器光学系统设计 被引量:24
3
作者 巩盾 田铁印 王红 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期188-193,共6页
星敏感器一般由光学系统和光电传感器两部分组成,其中光学系统是最主要的组成部分。星敏感器光学系统的技术指标与成像质量要求较高,并且其体积与重量需严格限制,设计难度较大。在满足体积要求的前提下选择最佳系统结构,合理分配光焦度... 星敏感器一般由光学系统和光电传感器两部分组成,其中光学系统是最主要的组成部分。星敏感器光学系统的技术指标与成像质量要求较高,并且其体积与重量需严格限制,设计难度较大。在满足体积要求的前提下选择最佳系统结构,合理分配光焦度以减小系统的高级像差与畸变,同时使系统为远心光路;采用特殊色散玻璃校正系统较宽波段范围的色差,并加入非球面以提高系统成像质量。结果表明光学系统各视场实测调制传递函数大于0.344(奈奎斯特频率处),实验室静态传递函数大于0.2(奈奎斯特频率处),成像弥散斑80%的能量集中在直径为23μm区域内,相对畸变小于0.1%,满足技术指标与成像质量要求。 展开更多
关键词 光学设计 星敏感器 消色差 非球面
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碳化硅基底改性硅表面的磁流变抛光 被引量:17
4
作者 白杨 张峰 +2 位作者 李龙响 郑立功 张学军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期308-315,共8页
为克服传统抛光方法在硅改性的碳化硅表面抛光存在的不足,采用磁流变抛光在精抛光阶段实现面形误差高效去除和快速收敛。基于实际应用中的对磁流变抛光液的需求,提出了磁流变液的性能要求,并配制了适合改性硅表面抛光的磁流变抛光液,检... 为克服传统抛光方法在硅改性的碳化硅表面抛光存在的不足,采用磁流变抛光在精抛光阶段实现面形误差高效去除和快速收敛。基于实际应用中的对磁流变抛光液的需求,提出了磁流变液的性能要求,并配制了适合改性硅表面抛光的磁流变抛光液,检测所配制的抛光液体的流变特性和分散稳定性,证明了液体具有良好的性能。对口径为130 mm(有效口径为120 mm)的硅改性的同轴非球面碳化硅工件进行实际抛光。经过两个周期约3 h的抛光,面形误差均方根(RMS)从0.051λ(λ=632.8 nm)快速收敛至0.012λ,粗糙度Ra达0.618 nm。验证了所配制的磁流变抛光液满足碳化硅基底改性硅表面的抛光需求,证明了磁流变抛光技术在镜面硅改性后精抛光阶段具有独特的优势。 展开更多
关键词 材料 表面改性硅 碳化硅 精抛光 磁流变抛光 非球面
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小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差 被引量:15
5
作者 张健 代雷 +1 位作者 王飞 王立朋 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期194-200,共7页
研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双... 研究了高精度非球面中频误差的抑制方法和磨头抑制特性等问题,提出了一种小磨头自适应抛光抑制中频误差的方法。将铣磨后中频误差明显的非球面进行预抛光,以去除亚表面损伤。使用气囊抛光方法将非球面面形精抛到较高精度。使用自研的双柔性自适应抛光磨头进行多轮抛光抑制精抛后非球面表面残留的中频误差,并使用计算全息(CGH)进行面形检测,直到Zernike残差不再收敛。使用此方法成功抛光了一块口径为150mm、最大偏离度为0.183mm的熔石英非球面。通过3轮中频误差抑制,面形方均根值(RMS)从预抛光后的76nm收敛至4.5nm;相应地,Zernike残差RMS由精抛后的22.72nm收敛至3.46nm。实验结果表明,该方法可以实现非球面中频误差的快速有效抑制。 展开更多
关键词 光学制造 中频误差抑制 小磨头自适应抛光 Zernike残差 非球面
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多波长激光扩束系统的设计 被引量:13
6
作者 李良钰 李常春 +5 位作者 李银柱 戴亚平 刘诚 程笑天 朱健强 王仕璠 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期714-716,共3页
在ICF高功率激光驱动器中 ,用双胶合透镜代替扩束望远系统中的较大透镜 ,或用两反射镜做成反射式扩束系统 ,两种情形都能对多种波长进行扩束 ,达到了设计要求。
关键词 激光扩束系统 双胶合透镜 像差 非球面 多波长激光
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磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究 被引量:7
7
作者 康桂文 张飞虎 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第5期77-79,82,共4页
磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有... 磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法。由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差。抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工。研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17μm降低到0.07μm。 展开更多
关键词 磁流变抛光 非球面 确定性光学加工
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大口径轻质非球面反射镜制造技术研究 被引量:6
8
作者 宋淑梅 陈亚 +3 位作者 吕学峰 姚春 张红 姚国安 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期246-248,251,共4页
研制某卡塞格林光学系统的关键技术之一是通光口径超过1000mm的轻质抛物面主反射镜。该反射镜相对口径为1/2,减重率为65%,是目前国内最大口径的轻质非球面反射镜。成功地解决了大口径轻质镜坯的制造和大口径轻质非球面镜的加工与检测方... 研制某卡塞格林光学系统的关键技术之一是通光口径超过1000mm的轻质抛物面主反射镜。该反射镜相对口径为1/2,减重率为65%,是目前国内最大口径的轻质非球面反射镜。成功地解决了大口径轻质镜坯的制造和大口径轻质非球面镜的加工与检测方面的难题。通过对高比刚度轻质镜的设计和进行CAD工程分析以及选用合理的光学材料,采用计算机控制的数控钻铣技术制造出了反射镜镜坯。在经典光学加工技术的基础上,摸索到了针对大口径轻质镜的支撑、加工与检测方面的技术。检测结果表明,该反射镜的研制达到了各项设计指标,其面形精度的均方根值RMS=0 029λ(λ=633nm)。 展开更多
关键词 轻质 非球面 反射镜 制造
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Computer Controlled Polishing of the Off-axis Aspheric Mirrors 被引量:4
9
作者 ZHANG Xue jun,WENG Zhi cheng,ZHANG Zhong yu, WANG Quan dou,ZHANG Feng (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130022, China) 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第5期467-473,共7页
In this paper, the manufacturing and testing procedures to make large off-axis aspherical mirrors are presented. The difficulties in polishing and testing for both circular aperture and rectangular aperture mirrors ar... In this paper, the manufacturing and testing procedures to make large off-axis aspherical mirrors are presented. The difficulties in polishing and testing for both circular aperture and rectangular aperture mirrors are previewed, and a possible solution is given. The two mirrors have been polished by means of CCOS, and the final accuracy is 25nm rms for 770mm×210mm rectangular mirror and 20nm rms for φ600mm circular mirror. These results just meet the optical tolerances specified by the designer, and the manufacturing and testing procedures presented here show good ability to make the large off-axis aspherical mirrors. 展开更多
关键词 asphere computer-controlled POLISHING OPTICAL TESTING
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子孔径拼接检测非球面的初步研究 被引量:3
10
作者 王孝坤 张学军 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期673-677,681,共6页
使用子孔径拼接技术可以无需补偿器、大口径的辅助镜、全息图等辅助元件实现对大口径、大偏离量、高陡度非球面甚至离轴非球面的检验,而且可以同时获得中高频的相位信息,大大地提高了测量精度,降低了成本。在总结了常用检测非球面方法... 使用子孔径拼接技术可以无需补偿器、大口径的辅助镜、全息图等辅助元件实现对大口径、大偏离量、高陡度非球面甚至离轴非球面的检验,而且可以同时获得中高频的相位信息,大大地提高了测量精度,降低了成本。在总结了常用检测非球面方法优缺点的基础上提出了利用圆形子孔径、环形子孔径检测非球面的基本原理,并对其步骤的实现、数学模型的建立和拼接算法的开发进行了分析和研究。结果表明,子孔径拼接检测技术可以作为补偿检验以外的另一种定量测试非球面的手段,可以和其它检测方法相互验证,从而确保检测的准确性和可靠性。 展开更多
关键词 非球面 圆形子孔径 环形子孔径 拼接 最小二乘拟合
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碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测 被引量:7
11
作者 李俊峰 《中国光学》 EI CAS 2014年第2期287-292,共6页
为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hin... 为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验,提出了应用双摆轴极坐标快速非球面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先,描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备;然后,介绍了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔,并对其控制精度进行了分析;最后,针对Φ158mm的凸非球面,给出了双摆轴加工的检验结果,并对检测精度进行了分析。实验结果表明:应用双摆轴加工工艺在使低频误差快速收敛的同时,可以有效抑制中频误差,其低频误差的控制精度可以稳定地达到λ/30(λ=633 nm);应用测杆装调Hindle检测光路的控制极限误差为±0.065 mm,两个光学间隔参数的公差分别为±0.22 mm和±0.30 mm。应用双摆轴加工技术实现了凸非球面的快速加工与全频段质量控制,采用Hindle检测凸非球面得到面形精度为0.022λ(RMS,@633 nm),满足光学设计技术指标要求。 展开更多
关键词 双摆轴 非球面 Hindle检测 测杆
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空间光学系统先进制造技术进展——从非球面到自由曲面 被引量:3
12
作者 张学军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期156-171,共16页
以中国科学院长春光学精密机械与物理研究所的相关研究成果为代表,系统总结了我国近十几年来在光学反射镜材料,非球面光学系统设计、加工与检测,空间相机集成与测试等方面取得的最新进展,结合典型在轨应用实例,展现技术进步带来的优势,... 以中国科学院长春光学精密机械与物理研究所的相关研究成果为代表,系统总结了我国近十几年来在光学反射镜材料,非球面光学系统设计、加工与检测,空间相机集成与测试等方面取得的最新进展,结合典型在轨应用实例,展现技术进步带来的优势,同时也展望了光学系统先进制造技术的发展趋势。 展开更多
关键词 光学设计 空间相机 非球面 自由曲面 先进制造
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非球面元件精密铣磨加工技术研究 被引量:6
13
作者 许金凯 张学军 于化东 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期761-765,共5页
通过对Φ42 mm和Φ82 mm口径非球面光学零件精密铣磨成型过程的加工特点和加工误差因素的分析,在工艺中引入刀具与工件变形、刀具半径误差等因素,结合经典Hertz接触理论建立了刀具与工件变形量及刀具半径误差和补偿理论模型,并且应用在... 通过对Φ42 mm和Φ82 mm口径非球面光学零件精密铣磨成型过程的加工特点和加工误差因素的分析,在工艺中引入刀具与工件变形、刀具半径误差等因素,结合经典Hertz接触理论建立了刀具与工件变形量及刀具半径误差和补偿理论模型,并且应用在精密铣磨成型过程中,通过实验,Φ42 mm口径非球面光学零件经一次精密铣磨成型后元件面形精度PV值为1.91μm,RMS值达到0.288μm;Φ82 mm口径非球面光学零件经一次精密铣磨成型后元件面形精度PV值为1.60μm,RMS值达到0.385μm,完全满足加工精度要求,加工时间节省了50%以上。实验验证了理论分析及误差补偿方法的正确性,实现了精密光学非球面元件的快速精密铣磨成型加工。 展开更多
关键词 非球面 面形精度 精密铣磨 参数补偿
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固着磨料工艺加工碳化硅反射镜表面质量研究 被引量:5
14
作者 王旭 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第9期2474-2479,共6页
主要研究内容是对固着磨料工艺加工的碳化硅反射镜光学表面进行高频频段的评价。从微观模型入手对表面粗糙度进行了计算机仿真,并将模拟结果与实测结果进行了对比,针对使用不同规格的丸片加工碳化硅反射镜,其表面粗糙度的结果实验值与... 主要研究内容是对固着磨料工艺加工的碳化硅反射镜光学表面进行高频频段的评价。从微观模型入手对表面粗糙度进行了计算机仿真,并将模拟结果与实测结果进行了对比,针对使用不同规格的丸片加工碳化硅反射镜,其表面粗糙度的结果实验值与理论值的偏差比分别为5.97%,3.19%,3.59%,37.37%,并详细分析了出现偏差的可能原因。最后使用分形理论分析了固着磨料工艺加工后获得的光学表面,由此得出固着磨料工艺很容易快速获得较为光滑的光学表面,非常适合于快速表面成形及在较大面形误差的情况下获得较低的表面粗糙度。 展开更多
关键词 固着磨料 碳化硅 非球面 高频 分形
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用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 被引量:5
15
作者 高松涛 武东城 于长淞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第9期64-71,共8页
目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻... 目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻物镜中的一偶次高次非球面,论述了计算全息图(CGH)相位与空间频率的关系,以及相位与空间频率的计算方法;采用点光源照明模式,详细分析了CGH设计时的关键参数的选择方法和避免CGH非工作衍射级次的干扰的方法;采用所选定的设计参数,加工制作了CGH,并用此CGH完成了对非球面的高精度检测。经过多轮加工检测迭代,最终非球面的收敛精度的均方根(RMS)达到了0.46nm。 展开更多
关键词 测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪
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全视场外差移相双波长干涉面形检测技术 被引量:4
16
作者 樊国翔 李杨 +2 位作者 张文喜 伍洲 吕彤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期122-130,共9页
双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移... 双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移机械移相技术,可以同时保证不同波长的移相精度,简化移相的复杂度,且可以方便实现多步移相。提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术,并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统,测试了在边缘最高偏离顶点球13μm的非球面以及高度为(1.3±0.1)μm的台阶,经过实验验证其非球面面形PV测试精度为λ/3.53 (λ=633 nm),面形PV测试重复精度为λ/77.38,面形RMS测试精度为λ/14.16,面形RMS测试重复精度为λ/919.10,台阶高度测试精度为λ/16.19,测试重复精度为λ/311.85。 展开更多
关键词 面形检测技术 全视场外差 双波长干涉 非球面 移相
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子孔径拼接检测浅度非球面 被引量:5
17
作者 王宁 贾辛 邢廷文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2525-2530,共6页
子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了... 子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面,用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真,验证了数学模型及拼接算法的可行性,同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。 展开更多
关键词 子孔径拼接 非球面 光学检测 误差 仿真
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轴对称非球面精密磨削误差补偿 被引量:5
18
作者 许金凯 张学军 +1 位作者 于化东 谢丹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第5期894-900,共7页
在光学系统中应用非球面元件可以增加光学设计的灵活性,改善光学系统成像质量,提高光学性能,极大地减小光学系统的外形尺寸和质量。通过深入分析轴对称非球面精密磨削成型过程的加工特性,以及工艺过程中的刀具与工件弹性变形、刀具半径... 在光学系统中应用非球面元件可以增加光学设计的灵活性,改善光学系统成像质量,提高光学性能,极大地减小光学系统的外形尺寸和质量。通过深入分析轴对称非球面精密磨削成型过程的加工特性,以及工艺过程中的刀具与工件弹性变形、刀具半径误差、轴向对刀误差等主要加工误差因素的成因,建立了刀具与工件变形量模型、刀具半径误差补偿理论模型及轴向对刀误差校正方法,并将其运用到非球面精密磨削成型与抛光加工过程中。由实验可知:通过误差补偿与校正,加工时间节省了60%以上,Φ51.5mm口径非球面抛光后的面形精度PV值为0.15μm(0.237λ),RMS值达到0.023μm(0.036λ),满足加工精度要求。实验验证了理论分析及误差补偿方法的正确性,实现了轴对称非球面光学零件的快速加工与检测。 展开更多
关键词 非球面 精密磨削 误差补偿 面形精度
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Bridging the Divide Between Iterative Optical Polishing and Automation
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作者 David Walker Juan I.Ahuir‑Torres +11 位作者 Yasemin Akar Paul A.Bingham Xun Chen Michal Darowski Oliver Fähnle Philippe Gambron Frankie F.Jackson Hongyu Li Luke Mason Rakesh Mishra Abdullah Shahjalal Guoyu Yu 《Nanomanufacturing and Metrology》 EI 2023年第3期69-90,共22页
Several recent business reports have described the global growth in demand for optical and photonic components,paralleled by technical reports on the growing shortage of skilled manufacturing staff to meet this demand... Several recent business reports have described the global growth in demand for optical and photonic components,paralleled by technical reports on the growing shortage of skilled manufacturing staff to meet this demand.It is remarkable that producing ultraprecision surfaces remains so dependent on people,in contrast to other sectors of the economy,e.g.,car manufacturing.Clearly,training can play some role,but ultimately,only process automation can provide the solution.This paper explores why automation is a challenge and summarizes multidisciplinary work aiming to assemble the building blocks required to realize automation. 展开更多
关键词 Optics PHOTONICS POLISHING Glass Ultraprecision ABRASIVES asphere Free-form DETERMINISTIC
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基于双回转相位板的非球面子孔径测量技术 被引量:3
20
作者 宋兵 陈善勇 王贵林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期114-119,共6页
子孔径拼接技术与补偿检验技术的结合能够增加干涉仪的横向和垂直动态测量范围,适用于大口径、大非球面度的非球面的面形测量。利用一对相向回转的Zernike相位板作为近零位补偿器,产生可变的像差,补偿不同非球面在不同离轴位置的子孔径... 子孔径拼接技术与补偿检验技术的结合能够增加干涉仪的横向和垂直动态测量范围,适用于大口径、大非球面度的非球面的面形测量。利用一对相向回转的Zernike相位板作为近零位补偿器,产生可变的像差,补偿不同非球面在不同离轴位置的子孔径像差,使其剩余像差减小到干涉仪的垂直动态测量范围内。通过计算两个待测非球面的子孔径像差,求解Zernike相位板的相位函数;同时结合四台阶刻蚀工艺和载频技术,成倍提高衍射效率并隔离干扰衍射级次的影响。以同温层红外线天文台(SOFIA)望远镜的凸双曲面次镜和凹非球面反射镜为例,验证了该近零位补偿器实现不同非球面的子孔径像差补偿的能力,表明其具有良好的面形适应性。 展开更多
关键词 测量 双回转相位板 近零位补偿器 非球面
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